液状体喷出方法、配线衬底、滤色器及有机el发光元件的制法的制作方法

专利名称：液状体喷出方法、配线衬底、滤色器及有机el发光元件的制法的制作方法
技术领域：
本发明涉及含有功能性材料的液状体的喷出方法、配线衬底的制造方法、滤色器 的制造方法、有机EL发光元件的制造方法。
背景技术：
作为含有功能性材料的液状体的喷出方法，已知在衬底上形成所期望的膜图形的 方法(专利文献1)。该膜图形形成方法，包括检测工序和控制处理工序，检测工序在所期望 的膜图形的形成之前从液滴喷头喷出功能性材料的液滴并检测其喷落状态，控制处理工序 根据由检测工序检测的液滴喷落状态来检测液滴喷头的各喷嘴的喷出特性，根据该喷出特 性作成控制液滴喷头的喷出的控制信号。另外，还具备根据所述控制信号控制液滴喷头的 喷出并形成所述所期望的膜图形的膜图形形成处理。并且，在所述检测工序中，向载置所述 衬底的载物台上供给所述液滴所含有的溶剂或分散剂、或它们的蒸气。因而，在载物台上预 先存在溶剂或分散剂、或它们的蒸气，因此，能够抑制从用于检查而喷落的液滴中蒸发必要 以上的溶剂或分散剂从而导致喷落状态变化的情况。从而，能够更准确地检测喷落状态，根 据该喷落状态检测液滴喷头的各喷头的喷出特性，因此，能够在控制处理工序中生成适当 的控制信号，在膜图形形成处理中形成高精度的膜图形。
专利文献1 :特开2006-15243号公报 所述膜图形形成方法中，作为液滴喷头的各喷嘴的喷出特性，以液滴的喷落位置 和喷落直径为着眼点。不过，没有明确公布根据被检测的喷落位置和喷落直径如何生成驱 动液滴喷头的控制信号。特别是当由于飞行弯曲而使喷落位置偏离时，由于飞行弯曲产生 的喷落位置偏离的方向不一定为一定，在如何解决这个问题方面仍是不明确的。
另外，在这种所谓的液滴喷出法(喷墨方式)中，作为产生飞行弯曲的原因，认为 是由于例如喷嘴的局部堵塞、在喷嘴的开口部周边附着液状体和异物等造成的影响。从而， 为了预防飞行弯曲，而进行吸引去除喷嘴内的异物和液状体(加盖)、或者擦拭形成有喷嘴 的喷嘴板表面并清除异物(擦去)等使液滴喷头恢复的恢复动作(再生动作)。不过，即使 进行这种恢复动作也还是存在不能完全清除原因、有可能产生飞行弯曲这样的问题。

发明内容
本发明正是考虑所述问题而产生的，其目的在于提供能够驱动控制喷头、使液滴 高精度喷落的液状体的喷出方法、适用了该液状体的喷出方法的配线衬底的制造方法、滤 色器的制造方法、有机EL发光元件的制造方法。 本发明的液状体的喷出方法，其使具有多个喷嘴的喷头和衬底对置配置，与使所 述喷头和所述衬底相对移动的主扫描同步，在所述衬底上作为液滴喷出含有功能性材料的 液状体，所述液状体的喷出方法的特征在于，具备喷出工序，所述喷出工序根据从多个喷嘴 喷出的液滴的喷落位置信息，使多个喷嘴中规定的喷嘴改变喷出定时而进行喷出。
根据该方法，在喷出工序中，根据从多个喷嘴喷出的液滴的喷落位置信息，使多个
喷嘴中规定的喷嘴改变喷出定时而进行喷出。从而，根据所述喷落位置信息，特定需要修正
喷落位置的规定喷嘴，使其他喷嘴改变喷出定时，从而，能够使液滴高精度喷落。 再有，其特征在于，还具备驱动所述喷头，取得从多个喷嘴喷出的液滴的喷落位置
信息的工序。根据该方法，由于具备取得所述喷落位置信息的工序，因此，能够取得最新的
喷落位置信息，将其反映给喷出工序。 其特征在于，还具备配置图形生成工序，配置图形生成工序相对于通过所述主扫 描在衬底上配置液滴的第一配置图形，生成根据喷落位置信息在主扫描的方向上对飞行弯 曲进行了修正的第二配置图形，喷出工序中，根据第二配置图形，使产生了飞行弯曲的喷嘴 改变喷出定时而喷出液滴。 根据该方法，在喷出工序中，根据在配置图形生成工序中修正的第二配置图形，使 产生了飞行弯曲的喷嘴改变喷出定时进行喷出。从而，预先考虑液滴相对于衬底的濡湿性 等物性和具有喷头的液滴喷出装置的描绘精度等而作成第一配置图形，与之相对，如果生 成修正了飞行弯曲的第二配置图形，则能够至少在主扫描方向上高精度地控制液滴的喷落 位置。 优选，所述配置图形生成工序中，第二配置图形在主扫描中的往动和复动中分开 生成，飞行弯曲在主扫描方向上的修正在往动和复动中以不同方式进行。根据该方法，考虑 由于主扫描的往动和复动而产生的喷落位置的变动，生成第二配置图形，因此，能够更高精 度地控制液滴的喷落位置。 另外，其特征在于，所述飞行弯曲在主扫描方向上的喷出定时的修正，按照向衬底 喷出液滴的喷出分辨率的单位进行。根据该方法，喷出定时的修正按照喷出分辨率的单位 进行，因此，能够高精细地进行喷出控制。 另外，所述飞行弯曲在主扫描方向上的喷出定时的修正，也可以按照使衬底沿主 扫描的方向移动的移动机构的移动分辨率的单位进行。根据该方法，喷出定时的修正按照 移动分辨率的单位进行，因此，能够高精细地进行喷出控制。 本发明的其他液状体的喷出方法，其使具有多个喷嘴的喷头和衬底对置配置，与 使喷头和衬底相对移动的主扫描同步，在衬底上作为液滴喷出含有功能性材料的液状体， 所述液状体的喷出方法的特征在于，具备喷出工序，喷出工序根据从多个喷嘴喷出的液滴 的喷落位置信息，使多个喷嘴中规定的喷嘴改变喷出速度而进行喷出。 根据该方法，在喷出工序中，根据从多个喷嘴喷出的液滴的喷落位置信息，使多个
喷嘴中规定的喷嘴改变喷出速度而进行喷出。从而，根据所述喷落位置信息，特定需要修正
喷落位置的规定喷嘴，使其他喷嘴改变喷出速度，从而，能够使液滴高精度喷落。 再有，其特征在于，还具备驱动所述喷头，取得从多个喷嘴喷出的液滴的喷落位置
信息的工序。根据该方法，由于具备取得所述喷落位置信息的工序，因此，能够取得最新的
喷落位置信息，将其反映给喷出工序。 其特征在于，还具备配置图形生成工序，配置图形生成工序相对于通过所述主扫 描在衬底上配置液滴的第一配置图形，生成根据喷落位置信息在主扫描的方向上对飞行弯 曲进行了修正的第二配置图形，喷出工序中，根据第二配置图形，使产生了飞行弯曲的喷嘴 改变喷出速度而喷出液滴。
根据该方法，在喷出工序中，根据在配置图形生成工序中修正的第二配置图形，使 产生了飞行弯曲的喷嘴改变喷出速度进行喷出。从而，预先考虑液滴相对于衬底的濡湿性 等物性和具有喷头的液滴喷出装置的描绘精度等而作成第一配置图形，与之相对，如果生 成修正了飞行弯曲的第二配置图形，则能够至少在主扫描方向上高精度地控制液滴的喷落 位置。 优选，所述配置图形生成工序中，第二配置图形在主扫描中的往动和复动中分开 生成，飞行弯曲在主扫描方向上的修正在往动和复动中以不同方式进行。根据该方法，考虑 由于主扫描的往动和复动而产生的喷落位置的变动，生成第二配置图形，因此，在喷出工序 中，能够更高精度地控制液滴的喷落位置。 另外，所述本发明的液状体的喷出方法，其特征在于，在所述衬底上具有由隔壁部 划分的多个喷出区域，在喷出工序中，根据喷落位置信息而使产生了飞行弯曲的喷嘴改变 喷出定时进行喷出，使从该喷嘴喷出的液滴至少一部分不喷落在隔壁部上，或使液滴不喷 落在隔壁部附近。 另外，所述本发明的液状体的喷出方法，其特征在于，在所述衬底上具有由隔壁部 划分的多个喷出区域，在喷出工序中，根据喷落位置信息而使产生了飞行弯曲的喷嘴改变 喷出速度进行喷出，使从该喷嘴喷出的液滴的至少一部分不喷落在隔壁部上，或使液滴不 喷落在隔壁部附近。 根据这些方法，能够进行控制，使得必要量的液滴喷落在任意一个由隔壁部划分 的各喷出区域。 本发明的配线衬底的制造方法，其是在衬底上具有由导电性材料构成的配线的配 线衬底的制造方法，其特征在于，包括描绘工序，其采用所述发明的液状体的喷出方法，向 衬底上作为液滴喷出描绘含有导电性材料的液状体；干燥烧成工序，其将喷出描绘的液状 体干燥、烧成，形成配线。 根据该方法，由于描绘工序采用所述发明的液状体的喷出方法，因此，即使具有产 生了飞行弯曲的喷嘴，也能够修正从该喷嘴喷出的液滴的喷落位置，使含有导电性材料的 液状体的液滴高精度地喷落。从而，在干燥烧成后，能够形成形状稳定的配线。即，可制造 具有高精细配线的配线衬底。 本发明的滤色器的制造方法，其是在衬底上利用隔壁部划分形成的多个着色区域 上具有至少三色的着色层的滤色器的制造方法，其特征在于，包括描绘工序，其采用所述 发明的液状体的喷出方法，向多个着色区域作为液滴喷出描绘含有着色层形成材料的至少 三色的液状体；干燥工序，其将喷出描绘的液状体干燥，形成至少三色的所述着色层。
根据该方法，由于描绘工序采用所述发明的液状体的喷出方法，因此，即使具有产 生了飞行弯曲的喷嘴，也能够修正从该喷嘴喷出的液滴的喷落位置，使含有着色层形成材 料的液状体的液滴高精度地喷落。从而，能够降低由于飞行弯曲引起的喷出不均和混色等。 即，可制造色彩不均少的具有稳定品质的滤色器。 本发明的有机EL元件的制造方法，其是在衬底上利用隔壁部划分形成的多个发 光层形成区域上具有有机EL发光层的有机EL元件的制造方法，其特征在于，包括描绘工 序，其采用所述发明的液状体的喷出方法，向发光层形成区域作为液滴喷出描绘至少含有 发光层形成材料的液状体；干燥工序，其将喷出描绘的液状体干燥，形成所述有机EL发光层。 根据该方法，由于描绘工序采用所述发明的液状体的喷出方法，因此，即使具有产 生了飞行弯曲的喷嘴，也能够修正从该喷嘴喷出的液滴的喷落位置，使含有发光层形成材 料的液状体的液滴高精度地喷落。从而，能够降低由于飞行弯曲引起的喷出不均。即，可制 造发光不均和亮度不均少的具有稳定品质的有机EL元件。


图1是表示液滴喷出装置的结构的概略立体图。 图2(a)是表示液滴喷头向滑架的配置的概略图，(b)是喷嘴的配置图。 图3(a)是表示液滴喷头结构的概略分解立体图，(b)是表示喷嘴部结构的截面图。 图4是表示液状体喷出装置的电气构成的框图。 图5是表示喷出控制的控制信号的图，(a)是表示喷出定时控制的一例的图，(b)
是表示喷出速度控制的一例的图。 图6是表示配线衬底的概略俯视图。 图7是表示配线衬底的制造方法的流程图。 图8(a)及(b)是表示液滴的喷落位置的检测方法的图。 图9(a)是表示位映像的图，(b)是表示(a)的修正后的位映像的图。 图10是表示液晶显示装置结构的概略分解立体图。 图11是表示液滴喷头向滑架的配置的概略俯视图。 图12(a) (e)是表示滤色器的制造方法的概略截面图。 图13是表示有机EL显示装置的结构的概略截面图。 图14(a) (f)是表示作为有机EL元件的发光元件部的制造方法的概略截面图。
图中2a-作为移动机构的主扫描移动台，50-作为喷头的液滴喷头，52-喷嘴， 80R、80G、80B-含有着色层形成材料的液状体，IOOR、 IOOG、 100B-含有发光层形成材料的液 状体，301-作为配线的输入配线，303-作为配线的输出配线，504、618-隔壁部，505、505R、 505G、505B-着色层，603-作为有机EL元件的发光元件部，617b、617R、617G、617B-作为有机 EL发光层的发光层，A-作为喷出区域的着色区域或发光层形成区域，W-衬底。
具体实施例方式
本实施方式关于采用能够以液滴形式喷出液状体的液滴喷出装置，在衬底上喷出 描绘含有功能性材料的液状体的液状体喷出方法，以配线衬底的制造方法、滤色器的制造 方法、有机EL元件的制造方法为例进行了说明。还有，说明中使用的各图与实际尺寸不同， 进行了适宜的縮小放大。 首先，关于液滴喷出装置，根据图1 图5进行说明。图1是表示液滴喷出装置的 结构的概略立体图。 如图1所示，液滴喷出装置1具备1对导轨2、通过设置在导轨2内部的气动滑板 和直线马达(未图示)沿主扫描方向(X轴方向)移动的主扫描移动台2a。另外，还具备在 导轨2上方与导轨2正交地设置的1对导轨3、通过设置在导轨3内部的气动滑板和直线马达(未图示)沿副扫描方向移动的副扫描移动台3a。 在主扫描移动台2a上，经由e台6设有用于载置作为喷出对象物的衬底W的载物台5。载物台5能够吸附固定衬底W，并且，利用e台6能够使衬底W内的基准轴准确对正主扫描方向、副扫描方向。 副扫描移动台3a具备经由旋转机构7吊设的滑架8。另外，滑架8包括具备多个液滴喷头50(参照图2)的喷头组件9、用于向液滴喷头50供给液状体的液状体供给机构(未图示)和用于进行液滴喷头50的电驱动控制的控制电路衬底40(参照图4)。
沿着导轨2铺设有线位移传感器(未图示)。在主扫描移动台2a上，在面向线位移传感器的位置安装有编码器(未图示)。此时，通过线位移传感器使编码器产生O. lym单位的脉冲。从而，能够以移动分辨率0. 1 ii m单位控制载物台5向X轴方向的移动。
除了所述构成以外，还在面向多个液滴喷头50的位置配置有维护机构，其进行搭载在喷头组件9的多个液滴喷头50的喷嘴眼堵塞的消除、喷嘴面的异物和污物的去除等维护，不过，省略了图示。 接下来，关于搭载在喷头组件9上的液滴喷头50，根据图2及图3进行说明。图2(a)是表示液滴喷头向喷头组件的配置的概略图，(b)是喷嘴的配置图。
如图2 (a)所示，液滴喷头50具有所谓2串的喷嘴列52a、52b。从X轴方向(主扫描方向)看，2个喷嘴列52a、52b相互局部重合地在Y轴方向偏离配置，并且6个液滴喷头50在X轴方向并列地搭载在喷头组件9上。 如图2(b)所示，此时，2个喷嘴列52a、52b分别由以等间隔Pl配置的180个喷嘴52构成。喷嘴径约为20 ii m、等间隔Pl约为140 y m。位于各喷嘴列52a、52b两端侧的10个喷嘴52考虑其喷出量的差异而不使用。以这各10个喷嘴52的部分从X轴方向看时重合的方式配置6个液滴喷头50。在1个液滴喷头50上， 一喷嘴列52a与另一喷嘴列52b偏离等间隔P1的一半的喷嘴间距P2设置。从而，各喷嘴列52a、52b的有效喷嘴数为160个，若从X轴方向看则320个喷嘴52以喷嘴间距P2排列。再有，在喷头组件9上配置6个液滴喷头50，以使若从X轴方向看则各320喷嘴52以喷嘴间距P2排列。因而，如果在使喷头组件9和衬底W对置地在X轴方向相对移动的主扫描期间，从6个液滴喷头50的各喷嘴52喷出液滴，那么能够使液滴在Y轴方向等间隔地喷落。 图3(a)是表示液滴喷头结构的概略分解立体图，同图中(b)是表示喷嘴部结构的
截面图。如图3 (a)及(b)所示，液滴喷头50形成为喷嘴板51、腔板53和振动板58依次层
叠接合的结构，喷嘴板51具有喷出液滴D的多个喷嘴52，腔板53具有将分别连通多个喷嘴
52的腔55进行划分的隔壁54，振动板58具有与多个腔55对应的振动部件59。 腔板53具有将与喷嘴52连通的腔55划分的隔壁54，并且，具有用于向该腔55填
充液状体的流路56、57。流路57由喷嘴板51和振动板58夹持，形成的空间发挥储存液状
体的储存室的作用。 液状体从液状体供给机构通过配管供给，通过设置在振动板58上的供给孔58a储存在储存室后，通过流路56向各腔55填充。 如图3(b)所示，振动部件59是由压电元件59c和夹着压电元件59c的一对电极59a、59b构成的压电元件。从外部向一对电极59a、59b施加驱动电压脉冲，从而使接合的振动板58变形。从而，由隔壁54分隔的腔55的体积增加，液状体从储存室被吸引到腔55。并且，若施加驱动电压脉冲结束，则振动板58复原，对填充的液状体加压。从而，成为能够从喷嘴52以液滴D形式喷出液状体的结构。通过控制向压电元件59c施加的驱动电压脉冲，从而，能够对各个喷嘴52进行液状体喷出控制。例如，控制液滴的喷出量、喷出定时、喷出速度等。关于喷出控制的详情后述。 液滴喷头50并不限定于具备压电元件。可以具备利用静电吸附使振动板58变位的机电转换元件、加热液状体使其从喷嘴52以液滴D形式喷出的电热转换元件等。
接下来，参照图4、图5，关于液滴喷头的喷出控制方法进行说明。图4是表示液状体喷出装置的电气构成的框图。液滴喷出装置1具备对整个装置进行综合控制的控制计算机10和用于进行多个液滴喷头50的电驱动控制的控制电路衬底40 。控制电路衬底40经由挠性缆线41与各液滴喷头50电连接。另外，各液滴喷头50与每个喷嘴52(参照图3)上设置的压电元件59相对应，具备移位寄存器(SL)42、闩锁电路(LAT)43、电平移位器(LS)44、开关(SW)45。 液状体喷出装置l的喷出控制如下进行。即，首先控制计算机10将对衬底W(参照图1)上的液状体配置图形进行了数据化而得到的位映像数据(详情后述)向控制电路衬底40传送。然后，控制电路衬底40将位映像数据译码，生成作为每个喷嘴52的ON/OFF (喷出/不喷出)信息的喷嘴数据。喷嘴数据进行串行信号(SI)化，与时钟信号(CK)同步向各移位寄存器42传送。 传送到移位寄存器42的喷嘴数据，以闩锁信号(LAT)向闩锁电路43输入的定时进行闩锁，再经由电平移位器44转换成开关45用的选通信号。S卩，当喷嘴数据为「0N」时，开关45打开，向压电元件59供给驱动信号(COM)，当喷嘴数据为「0FF」时，开关45关闭，不向压电元件59供给驱动信号(COM)。然后，从与「0N」对应的喷嘴52中液状体被液滴化而喷出，喷出的液状体被配置在衬底W上。 这种喷出控制，与喷头组件9和衬底W的相对移动(主扫描)同步，如图5所示周期性进行。 图5是表示喷出控制的控制信号的图，同图中(a)是表示喷出定时控制的一例的图，同图中(b)是表示喷出速度控制的一例的图。 图5(a)所示，驱动信号(COM)形成具有放电脉冲201、充电脉冲202、放电脉冲203的一串脉冲组200-l、200-2…以中间电位204连接的构成。并且，利用1个脉冲组，如下喷出1个液滴。 S卩，利用放电脉冲201，使电位电平上升，并且将液状体吸入腔55(参照图3(b))内。接着，利用陡的充电脉冲202对腔55内的液状体急剧加压，将液状体从喷嘴52压出，液滴化(喷出)。最后利用放电脉冲203，将下降的电位电平恢复到中间电位204，并且抵销由充电脉冲202生成的腔55内的压力振动(固有振动)。 驱动信号(COM)的电压成分Vc、Vh和时间成分(脉冲的斜率和脉冲间的连接间隔等)等，是与喷出量和喷出稳定性等有很大关系的参数，需要预先进行适当的设计。此时，闩锁信号(LAT)的周期，考虑液滴喷头50的固有频率特性，设定为20kHz。另外，主扫描中液滴喷头50和衬底W的相对移动速度(此时，使载物台24沿X轴方向移动的移动速度)设定为200mm/秒。因而，如果喷出分辨率等于相对移动速度除以闩锁周期，那么，喷出分辨率的单位为lOym。即，可按照喷出分辨率的单位对每个喷嘴52设定喷出定时。还有，如果使闩锁脉冲的产生定时，以主扫描移动台2a上设置的编码器输出的脉冲为基准，那么也可以按照移动分辨率的单位控制喷出定时。 喷出控制不仅仅限定于喷出定时的控制，例如，通过改变驱动信号的放电脉冲203的斜率，可改变液滴的喷出速度。具体而言，放电脉冲203的斜率越陡、喷出速度越上升。若喷出速度变化，则液滴的喷出量随之变化，从而，要喷出一定的喷出量，考虑液状体的物性(粘度等)需要设定电压成分Vc、Vh。还有，喷出速度也可以随着改变充电脉冲202的充电时间、中间电位204的电位而变化。 如图5 (b)所示，例如，在1个闩锁周期，生成基准的驱动信号Wl、相对驱动信号Wl改变放电脉冲203斜率的2个驱动信号W2、W3。具体而言，与各驱动信号W1、W2、W3对应的喷出速度V1、V2、V3的关系是V2 < VI < V3。如果生成与各驱动信号Wl、 W2、 W3对应的沟道信号(CH)，并向电平移位器44传送，则可对应于喷嘴数据信号的「ON」，选择喷出速度不同的驱动信号(COM)，喷出液滴。 根据这种液滴喷出装置l，可使喷头组件9与衬底W对置，与由主扫描移动台2a进行的主扫描同步，从配备在喷头组件9上的6个液滴喷头50以高位置精度喷出含有功能性材料的液状体。液滴喷头50的每个喷嘴52，可改变喷出量、喷出定时、喷出速度地以液滴形式喷出液状体。从而，存在即使利用维护机构维护液滴喷头50也不能恢复的例如产生飞行弯曲的喷嘴52时，通过改变对该喷嘴52的喷出控制方法，可修正由于飞行弯曲造成的喷落位置的偏离。从而，能够降低具有该喷嘴52的液滴喷头50的更换频率。
(实施方式l)〈液状体的喷出方法及配线衬底的制造方法> 接下来，关于本发明的液状体的喷出方法，以适用了它的配线衬底的制造为例进行说明。 图6是表示配线衬底的概略俯视图。如图6所示，配线衬底300是平面安装有半导体装置(IC)的电路衬底，由对应于IC输入输出电极(凸起)配置的由导电性材料形成的作为配线的输入配线301及输出配线303、绝缘膜307构成。绝缘膜307避开输入端子部302及输出端子部304，并且以输入配线301和输出配线303的各自一部分在安装区域305内侧露出的方式覆盖多个输出配线301及输出配线303。配线衬底300在作为工件的衬底W上呈矩阵状形成，通过分割衬底W从而取出。衬底W作为绝缘衬底除了使用硬玻璃衬底、陶瓷衬底、玻璃环氧树脂衬底以外，还可以采用挠性树脂衬底。作为分割方法，按照衬底W的材料选择划、刻、激光切割、冲裁等。 本实施方式中，利用使用了所述液滴喷出装置1的液滴喷出法形成由导电性材料构成的配线和由绝缘材料构成的绝缘膜。其目的在于，节约各材料的浪费而形成配线和绝缘膜。与光刻法相比，不需要用于形成图形的曝光用掩膜和显影、蚀刻等工序，因此，不管衬底W尺寸如何都能够简化工序。 图7是表示配线衬底的制造方法的流程图。本实施方式的配线衬底的制造方法具备检测工序(步骤Sl)，其驱动作为喷头的液滴喷头50，取得多个喷嘴52的每个喷嘴所喷出的含有导电性材料的液状体的液滴D的喷落位置信息。另外，还包括配置图形生成工序(步骤S2)、喷出工序(步骤S3)和干燥烧成工序(步骤S4)，配置图形生成工序相对于通过主扫描在衬底W上配置液滴D的作为第一配置图形的位映像数据，生成根据喷落位置信息在主扫描方向上修正了飞行弯曲的作为第二配置图形的修正位映像数据，喷出工序根据修 正位映像数据使多个喷嘴52中产生了液滴D飞行弯曲的喷嘴52改变喷出定时进行喷出， 干燥烧成工序将喷出描绘的液状体干燥、烧成，形成各配线301、303。并且，还具备从液滴喷 头50向形成有各配线301、303的衬底W喷出含有绝缘材料的液状体的工序(步骤S5)和 将喷出的液状体干燥、成膜的工序(步骤S6)。 首先，关于检查工序(步骤S1)进行说明。图8(a)及(b)是表示液滴的喷落位置 的检测方法的图。步骤S1的检查工序中，检测从搭载在喷头组件9上的所有液滴喷头50 的所有喷头52喷出的液滴D的喷落位置。 如图2所示，在喷头组件9上，沿X轴方向以规定间隔偏离的状态配置6个液滴喷 头50。步骤Sl，如图8(a)所示，从多个(6个)液滴喷头50的各喷嘴列1A、1B 喷嘴列 6A、6B的所有喷嘴52向载置在载物台5上的记录纸喷出液滴D。此时，根据配置在喷头组 件9上的6个液滴喷头50的位置信息，移动主扫描移动台2a，使记录纸相对于喷头组件9 沿主扫描方向(X轴方向)移动。另外，对每喷嘴列控制喷出定时，使喷出的液滴D沿记录 纸的Y轴方向喷落在大致直线上。 如果是产生飞行弯曲的喷嘴52，则从该喷嘴52喷出的液滴D例如图8 (b)所示，喷 落在从所述直线上沿X轴方向偏离Axl或Ax2的位置。 用具备CCD等摄像元件的照相机拍摄喷落在记录纸上的液滴D，利用控制计算机 IO处理拍摄的图像信息，从而，取得Axl、 Ax2的值(偏离量)作为喷落位置信息。
即使利用控制计算机10对每个喷嘴列控制喷出定时，从所有喷嘴52喷出的液滴 D也不一定喷落在直线上。特别是，在喷嘴列产生变化的位置喷落位置有时产生偏离。作 为更具体的检测方法，所述照相机的摄像范围只要能够拍摄与至少l个液滴喷头50对应的 喷落位置即可。根据每个液滴喷头50被拍摄的图像信息，通过图像处理来特定所述直线， 对每个喷嘴52运算主扫描方向相对于该直线的偏离量，作为喷落位置信息。或者，也可以 特定与偏离规定值以上喷落的液滴D对应的喷嘴52，将其作为喷落位置信息。将所述照相 机沿Y轴方向逐次偏离，拍摄喷落到记录纸上的液滴D的状态，从而，针对搭载在喷头组件 9上的所有液滴喷头50取得喷落位置信息。设置多个喷头组件9的情况也同样。还有，所 述照相机并不限定于1个，可以在Y轴方向能够移动地分别配置多个照相机进行分散处理。
此时，图8(b)所示的液滴D的喷落位置，沿主扫描方向(X轴方向)偏离，不过，从 产生飞行弯曲的喷嘴52喷出的液滴D的飞行方向不一定是一定的。本实施方式中，从各液 滴喷头50喷出同种液状体，因此，即使喷头位置沿Y轴方向偏离，对液状体的描绘造成的实 质影响也小。从而，如果检测沿主扫描方向的偏离量，就能够有效地进行后述的修正。
另外，此时，隔开间隔地将液滴喷头50和衬底W对置配置，与使衬底W相对于液滴 喷头50往复的主扫描同步，喷出液状体。因而，沿主扫描方向的偏离量，按照相对于往动和 复动中飞行弯曲的方向是顺向还是反向而变化。因此，与主扫描同样分成往动和复动执行 将液滴D喷落在记录纸上的记录动作，拍摄各喷落状态，取得喷落位置信息。然后，转到步 骤S2。 图7的步骤S2是配置图形生成工序。图9(a)是表示原位映像数据的图，图9 (b) 是表示修正后的位映像数据的图。 如图9(a)所示，例如，以主扫描的多个喷嘴列的喷嘴号码为横轴，以主扫描的喷出分辨率的单位为纵轴。由纵轴和横轴划分的区域表示配置液滴D的配置区域。此时，划 网格线的区域是根据配线衬底300的CAD数据作成的原位映像数据。还有，图9(a)表示其 局部。另外，考虑喷落在衬底W上的液滴D的濡湿扩散和液滴喷出装置1的描绘精度等，确 定配置区域的位置和配置区域的数量而作成。还有，纵轴也可以如上所述按照编码器的输 出脉冲的单位而规定配置区域。 如图9(b)所示，步骤S2中，控制计算机10相对于储存在存储器中的原位映像数 据，生成根据步骤l取得的喷落位置信息修正了飞行弯曲的修正位映像数据。如上所述，在 主扫描的往动和复动中分开生成。对应于飞行弯曲的偏离量，使该喷嘴52的液滴D的配置 区域的位置偏离。然后，转到步骤S3。 图7的步骤S3是液状体的喷出工序。步骤S3中，往液滴喷头50中填充含有导电 性材料的液状体，控制计算机10控制主扫描移动台2a、副扫描移动台3a，使喷头组件9和 衬底W相对移动，并且，驱动搭载在喷头组件9上的多个液滴喷头50。该主扫描中，控制计 算机10根据修正位映像数据，使多个喷嘴52中产生液滴D飞行弯曲的喷嘴52改变喷出定 时进行喷出。即，选择在修正了的配置区域配置液滴D的闩锁信号(LAT)，进行喷出，从而， 使液滴D喷落在实质上合适的位置。从而，在衬底W上喷出描绘与各配线301、303对应的 液状体图形。 作为液状体中含有的导电性材料，除了含有例如金、银、铜、铝、钯及镍中至少任意 一种的金属微粒子以外，还可采用它们的氧化物以及导电性聚合物或超电导体的微粒子 等。这些导电性微粒子也可以在表面涂布有机物等使用，以提高分散性。导电性微粒子的 粒径优选为lnm以上1. 0 ii m以下。若大于1. 0 y m，则液滴喷头50的喷嘴52有可能产生眼 堵塞。另外，若小于1线则涂布剂相对于导电性微粒子的体积比增大，所获得的膜中有机物 的比例过多。 作为分散剂，只要能够分散所述导电性微粒子、不引起凝聚即可，并没有特别限 定。例如，除了水以外，还可例示甲醇、乙醇、丙醇、丁醇等醇类，n-庚烷、n-辛烷、癸烷、十二 烷、十四烷、甲苯、二甲苯、异丙基苯、杜烯、茚、二戊烯、四氢萘、十氢萘、环已苯等碳氢系化 合物，还有乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、乙二醇甲基乙基醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二 乙醚、二乙二醇甲基乙基醚、l，2-二甲氧基乙烷、双(2-甲氧基乙基)醚、p-二环氧乙烷等 醚系化合物，再有碳酸丙烯、Y-丁内酯、N-甲基-2吡咯烷酮、二甲基甲酰胺、二甲基亚砜、 环己酮等极性化合物。这些物质中，在微粒子的分散性和分散液的稳定性、还有向液滴喷 出法适用的容易程度方面上，优选水、醇类、碳氢系化合物、醚系化合物，作为更优选的分散 剂，能够举出水、碳氢系化合物。 所述导电性微粒子的分散液的表面张力优选在0. 02N/m以上0. 07N/m以下的范围 内。利用液滴喷出法喷出液状体时，若表面张力小于0. 02N/m，则液状体相对于喷嘴面的濡 湿性增大，从而容易产生飞行弯曲，若大于0. 07N/m，则喷嘴52前端的弯液面形状不稳定， 从而，很难进行喷出量和喷出定时的控制。为了调节表面张力，在不使与衬底W的接触角降 低很大的范围，可以向所述分散液中微量添加氟系、硅系、非离子系等表面张力调节剂。非 离子系表面张力调节剂，有提高液状体向衬底W的濡湿性，改善膜的平整性、防止膜产生微 细凹凸等的作用。所述表面张力调节剂，根据需要，可以含有醇、醚、酯、酮等有机化合物。
所述分散液的粘度优先在lmPa s以上50mPa s以下。当利用液滴喷出法以液滴D形式喷出液状体之际，粘度小于ImPa *s时，喷嘴52周边部由于液状体流出而容易被污 染，另外，粘度大于50mPa s时，喷嘴孔的眼堵塞频率升高，很难进行顺畅的液滴喷出。然 后，转到步骤S4。 图7的步骤S4是干燥 烧成工序。步骤S4中，将喷出的液状体干燥 烧成从而 固化，形成配线301、303。干燥'烧成方法可举出在干燥炉内载置衬底W并在规定的温度下 进行干燥 烧成的分批方式和使其通过干燥炉内的直接方式。作为热源，可举出加热器和 红外线灯等。然后，转到步骤S5。 图7的步骤S5是喷出含有绝缘材料的液状体的工序。步骤S5中，向液滴喷头50 中填充含有绝缘材料的液状体，控制计算机10控制主扫描移动台2a、副扫描移动台3a，使 喷头组件9和衬底W相对移动，并且，驱动搭载在喷头组件9上的多个液滴喷头50。此时， 在绝缘膜形成区域306(参照图6)配置该液状体的位映像数据，根据绝缘膜形成区域306 的CAD数据生成，储存在控制计算机10的存储器中。根据该位映像数据，进行该液状体的 喷出。绝缘膜307，由于不要求以高位置精度形成，因此，此时，可以不进行飞行弯曲的修正。
作为绝缘材料，例如，能够采用具有绝缘性的环氧树脂、氨基甲酸乙酯树脂等高分 子材料。作为溶剂，例如，可举出能够溶解所述材料的碳氢系溶剂。该液状体的物性，与含 有导电性材料的液状体的情况同样，可对应于液滴喷出法进行调节。然后，转到步骤S6。
图7的步骤S6是干燥 成膜工序。步骤S6中，将喷出的液状体干燥从而使其固 化，形成绝缘膜307。还有，作为绝缘材料，也可以采用感光性树脂材料。此时，通过对喷出 的液状体照射紫外线等从而使其固化。 这种配线衬底300的制造方法中，根据进行了飞行弯曲修正的修正位映像数据进 行的液状体的喷出方法，不限定于通过选择闩锁信号(LAT)改变喷出定时的方法。也可以 相对于产生飞行弯曲的喷嘴52，选择喷出速度不同的驱动信号W2、 W3的任意一个，改变喷 出速度喷出液状体。由此，能够期待不仅降低主扫描方向上的喷落位置偏离，也降低沿副扫 描方向(Y轴方向)的喷落位置偏离的效果。 还有，所述检查工序(步骤Sl)及所述配置图形生成工序(步骤S2)，该情况下是 每喷出描绘1个衬底W都实施，不过，也可以在分别喷出描绘多个衬底W的作业的作业开始 前、作业途中分开实施。 所述实施方式1的效果，如下所述。 (1)采用所述实施方式1的液状体的喷出方法的配线衬底300的制造方法，是使 产生飞行弯曲的喷嘴52根据修正的修正位映像数据改变喷出定时进行喷出。因而，能够降 低飞行弯曲的影响，位置精度好地配置液状体，从而能够制造具有稳定形状的配线301、303 的配线衬底300。 (2)采用所述实施方式1的液状体的喷出方法的配线衬底300的制造方法，在步骤 Sl的检查工序中，取得与主扫描同样分成往动和复动而从多个喷嘴52喷出的液滴D的喷落 位置信息。因而，能够取得更准确的喷落位置信息，在液状体的喷出描绘中，能够在衬底W 上以更高位置精度配置液滴D。即，能够制造具有高精细的配线301、303的配线衬底300。
(实施方式2)
〈滤色器的制造方法〉 接下来，作为适用了所述实施方式1的液状体的喷出方法的其他实施方式，以滤色器的制造方法为例进行说明。 首先，关于具有滤色器的作为电光学装置的液晶显示装置进行简单说明。图10是
表示液晶显示装置的结构的概略分解立体图。如图io所示，本实施方式的液晶显示装置 500具有TFT(Thin Film Transistor)透过型液晶显示面板520和照明液晶显示面板520 的照明装置516。液晶显示面板520包括具有作为滤色器的着色层505的对置衬底501、具 有3端子中有1个与像素电极510连接的TFT元件511的元件衬底508和由两衬底501、 508夹持的液晶(未图示)。另外，在成为液晶显示面板520外面侧的两衬底501、508表面， 配置使透过的光偏转的上偏振板514和下偏振板515。 对置衬底501由透明的玻璃等材料形成，在夹着液晶的表面侧由隔壁部504呈矩 阵状划分成多个着色区域，在多个着色区域形成多种(RGB三色)着色层505R、505G、505B。 隔壁部504由被称作黑矩阵的下层堤502和在下层堤502上(图面中是向下)形成的上层 堤503构成，下层堤502由Cr等具有遮光性的金属或其氧化膜构成，上层堤503由有机化 合物构成。另外，对置衬底501具备覆盖隔壁部504和由隔壁部504划分的着色层505R、 505G、505B的作为平坦化层的涂层(OC层)506、和覆盖OC层506而形成的由ITO(Indium Tin Oxide)等透明导电膜构成的对置电极507。各着色层505R、505G、505B用后述的滤色 器的制造方法制造。 元件衬底508由相同的透明玻璃等材料形成，具有在夹着液晶的表面侧经由绝缘 膜509形成矩阵状的像素电极510、对应于像素电极510形成的多个TFT元件511。 TFT元 件511的3端子中没有与像素电极510连接的另2个端子，以相互绝缘的状态与围绕像素 电极510配置成格子状的扫描线512和数据线513连接。 照明装置516作为光源采用白色的LED、 EL、冷阴极管等，只要具备能够将从这些 光源发出的光向液晶显示面板520照射的导光板或扩散板、反射板等的构成，采用哪种光 源都可以。还有，液晶显示面板520作为有源元件不限定于TFT元件，也可以具有TFD(Thin Film Diode)元件，再有，只要在至少一衬底上具备滤色器，则也可以是构成像素的电极相 互交叉配置的无源型液晶显示装置。另外，上下偏振板514、515也可以与以改善视角依存 性为目的等而使用的相位差薄膜等光学功能性薄膜进行组合。
(滤色器的制造方法) 接下来，关于本实施方式的滤色器的制造方法，根据图11、图12进行说明。图11 是表示液滴喷头向喷头组件的配置的概略俯视图，图12(a) (e)是表示滤色器的制造方 法的概略截面图。 首先，关于与制造具有多色着色层的滤色器相适应的液滴喷头50向喷头组件9的 配置进行说明。 如图11所示，将喷出含有着色层形成材料的三种(RGB)液状体的6个液滴喷头 50，在Y轴方向(副扫描方向)并列搭载。另外，在X轴方向(主扫描方向)按照RGB的顺 序并列搭载。并且，喷出不同种类液状体的各喷嘴列52a、52b的端部位置，在相互偏离的状 态下进行搭载。喷头组件9上，把喷出不同种类液状体的3个液滴喷头50作为1个组，使2 个喷头组50A、50B沿X轴方向搭载。此时的偏离量等于，喷嘴列52a和喷嘴列52b的全长 (有效喷嘴320个量)加上1个喷嘴间距P2而得的长度除以喷出的液状体种类的数目而得的值。即，等于((P2X319)+P2)/3 = (P2X320)/3。从而，从X轴方向(主扫描方向)看， 则喷出相同种类液状体的喷头Rl和喷头R2的液滴喷头50的喷嘴52，以喷嘴间距P2配置 成320X2 = 640个连续的状态。喷头Gl和喷头G2、喷头Bl和喷头B2的喷出相同种类液 状体的各液滴喷头50也同样。另外，喷头组50A中，喷出不同种类液状体的喷头Rl和喷头 G1及喷头B1的各喷嘴列52a的端部，相互偏离(P2X320)/3，从而，成为配置在相互偏离最 大的位置的状态。其他组50b中也同样。 基于所述喷头组件9的构成，能够在1次主扫描中，利用搭载在喷头组件9上的多 个液滴喷头50，以喷出相同种类液状体的1个液滴喷头50的描绘宽度在Y轴方向(副扫描 方向)连续的描绘宽度，喷出三种不同的液状体。 本实施方式的滤色器的制造方法，包括在对置衬底501表面形成隔壁部504的工 序和对由隔壁部504划分的着色区域进行表面处理的工序。另外，还包括描绘工序和成膜 工序，描绘工序采用液状体喷出装置l，对表面处理过的着色区域以液滴形式喷出描绘含有 着色层形成材料的三种(三色)液状体，成膜工序将描绘的液状体干燥，形成着色层505。 再有，还具备覆盖隔壁部504和着色层505而形成OC层506的工序和覆盖OC层而形成由 ITO构成的透明对置电极507的工序。描绘工序包括所述实施方式1的液状体的喷出方法 中的检查工序、配置图形生成工序和喷出工序。 在形成隔壁部504的工序中，如图12(a)所示，首先在对置衬底501上形成作为黑 矩阵的下层堤502。下层堤502的材料，能够采用例如Cr、Ni、Al等不透明的金属或它们的 金属氧化物等化合物。作为下层堤502的形成方法，用蒸镀法或溅射法在对置衬底501上 形成由所述材料构成的膜。膜厚对应于选定材料设定保证遮光性的膜厚即可。例如，如果 是Cr，那么，优选是100 200nm。然后，利用光刻法，将与开口部502a(参照图10)对应的 部分以外用抗蚀剂膜覆盖，采用与所述材料对应的酸等蚀刻液蚀刻膜。从而，形成具有开口 部502a的下层堤502。 接着，在下层堤502上形成上层堤503。作为上层堤503的材料，能够采用丙烯酸 系感光性树脂材料。另外，感光性树脂材料优选具有遮光性。作为上层堤503的形成方法， 举出一种方法例如是在形成有下层堤502的对置衬底501表面，用辊涂法或旋涂法等涂布 感光性树脂材料并使其干燥，形成厚度约2ym的感光性树脂层。然后，将以对应于着色区 域A的大小设置有开口部的掩膜，与对置衬底501在规定位置对置，进行曝光*显影，从而形 成上层堤503。从而，在对置衬底501上形成呈矩阵状划分多个着色区域A的隔壁部504。 然后，转到表面处理工序。 表面处埋工序中，进行以02作为处理气体的等离子体处理和以氟气体作为处理气 体的等离子体处理。即，着色区域A被亲液处理，其后，由感光性树脂构成的上层堤503表 面(包括壁面)被疏液处理。然后，转到检查工序。 检查工序中，取得从所有液滴喷头50喷出的液滴的喷落位置信息。此时，对应于 三种(三色)液状体在喷头组件9上配置多个液滴喷头50。从而，控制计算机10驱动控制 主扫描移动台2a和各液滴喷头50，以使同色液状体的液滴喷落在记录纸的Y轴方向的直线 上。关于记录动作，与所述实施方式l的情况同样，在主扫描的往动和复动中分开进行。采 用如上所述具备CCD等摄像元件的照相机，按照每色及每喷嘴列拍摄液滴的喷落状态。从 而，能够按照每色及每喷嘴列取得液滴喷头50的多个喷嘴52的喷落位置信息。
配置图形生成工序中，预先生成在衬底501上划分形成的多个着色区域A配置三 种液状体而形成条状构成的位映像数据，事先储存在控制计算机10的存储器中。换言之， 将主扫描中各着色区域A的配置和喷嘴52的配置反映为位映像数据。然后，在所述检查工 序中，根据按照每色及每喷嘴列取得的喷嘴52的喷落位置信息，生成修正位映像数据。此 时，由于着色区域A由隔壁部504划分形成，从而，优选事先修正原位映像数据，以使液状体 的液滴的至少一部分不喷落在隔壁部504上，或使液状体的液滴不喷落在隔壁部504附近。 这样一来，即使具有产生飞行弯曲的喷嘴52，也能够不溢出着色区域A而使必要量的液滴 喷落。另外，能够降低在配置不同色液状体的着色区域A间产生由于液滴飞行弯曲而造成 的混色。 喷出工序中，如图12(b)所示，对表面处理过的各着色区域A分别以液滴形式喷出 描绘对应的液状体80R、80G、80B。液状体80R含有R(红色)滤色器形成材料，液状体80G 含有G(绿色)滤色器形成材料，液状体80B含有B(蓝色)滤色器形成材料。采用液滴喷 头装置1，向液滴喷头50填充各液状体80R、80G、80B，以液滴形式喷落在着色区域A上。此 时，根据所述修正位映像数据，使产生飞行弯曲的喷嘴52改变喷出定时进行喷出。或者，改 变喷出速度进行喷出。各液状体80R、80G、80B对应于着色区域A的面积赋予必要量，在着 色区域A上濡湿扩散，通过表面张力而隆起。如果采用液滴喷出装置l，则能够大致同时地 喷出描绘三种不同的液状体80R、80G、80B。 接下来，在成膜工序中，如图12(c)所示，将喷出描绘的各液状体80R、80G、80B — 并干燥，去除溶剂成分，将各着色层505R、505G、505B成膜。作为干燥方法，优选是能够均匀 地干燥溶剂成分的减压干燥等方法。然后，转到OC层形成工序。 OC层形成工序中，如图12(d)所示，覆盖着色层505和上层堤503而形成0C层 506。作为0C层506的材料，能够采用透明的丙烯酸系树脂材料。作为形成方法，可举出旋 涂法、胶版印刷等方法。OC层506为了缓和形成有着色层505的对置衬底501的表面凹凸， 使后来在该表面贴膜的对置电极507平整化而设置。另外，为了确保与对置电极507的密 接性，在OC层506上还可以形成Si02等薄膜。然后，转到透明电极形成工序。
透明电极形成工序中，如图12(e)所示，利用溅射法或蒸镀法在真空中将ITO等透 明电极材料成膜，覆盖0C层506而在整个面上形成对置电极507。 这样作成的对置衬底501的着色层505，降低由于液滴飞行弯曲而造成的喷出不 均和混色，在着色区域A上具有大致均匀的膜厚。如果把该对置衬底501和具有像素电极 510及TFT元件511的元件衬底508用粘接剂在规定位置粘接，在两衬底501、508间填充液 晶，则作成由于喷出不均和混色等引起的色彩不均少、具有外观好的显示品质的液晶显示 装置500。 所述实施方式2的效果，如下所述。 (1)所述实施方式2的滤色器的制造方法，在喷出工序中，根据修正位映像数据， 使产生飞行弯曲的喷嘴52改变喷出定时或喷出速度，向由隔壁部504划分的着色区域A以 液滴形式喷出三种(三色)液状体。因而，能够制造在着色区域A上具有大致均匀膜厚的 着色层505的滤色器。 (2)如果采用以所述实施方式2的滤色器的制造方法制造的对置衬底501，制造液 晶显示装置500，则能够提供色彩不均少、具有外观好的显示品质的液晶显示装置500。
(实施方式3)〈有机EL元件的制造方法〉 接下来，作为适用了所述实施方式1的液状体的喷出方法的其他实施方式，以有 机EL元件的制造方法为例进行说明。 首先，关于具有有机EL元件的有机EL显示装置进行简单说明。
图13是表示有机EL显示装置的要部结构的概略截面图。如图13所示，有机EL 显示装置600包括具有作为有机EL元件的发光元件部603的元件衬底601和将元件衬底 601和空间622隔开封闭的密封衬底620。另外，元件衬底601在元件衬底601上具备电路 元件部602，发光元件部603在电路元件部602上重叠形成，被电路元件部602驱动。在发 光元件部603上，作为有机EL发光层的三色发光层617R、617G、617B在各发光层形成区域 A形成，呈条状。元件衬底601以与三色发光层617R、617G、617B对应的3个发光层形成区 域A作为1组像素，该像素呈矩阵状配置在元件衬底601的电路元件部602上。有机EL显 示装置600中，从发光元件部603产生的光向元件衬底601侧射出。 密封衬底620由玻璃或金属构成，经由密封树脂与元件衬底601接合，在被密封的 内侧表面粘贴吸气剂621。吸气剂621吸引侵入到元件衬底601和密封衬底602间的空间 622中的水或氧，防止发光元件部603由于侵入的水或氧而恶化。还有，该吸气剂621也可 以省略。 元件衬底601在电路元件部602上具有多个发光层形成区域A，具备划分多个发光 层形成区域A的隔壁部618、在多个发光层形成区域A上形成的电极613和层叠在电极613 上的空穴注入/输送层617a。另外，还具备发光元件部603，其具有在多个发光层形成区域 A内赋予含有发光层形成材料的三种液状体而形成的发光层617R、617G、617B。隔壁部618 由下层堤618a和将发光层形成区域A作实质划分的上层堤618b构成，下层堤618a向发光 层形成区域A内侧伸出设置，为了防止电极613和各发光层617R、617G、617B直接接触而造 成电短路，利用Si02等无机绝缘材料形成下层堤618a。 元件衬底601由例如玻璃等透明的衬底构成，在元件衬底601上形成由硅氧化膜 构成的基底保护膜606，在该基底保护膜606上形成有由多晶硅构成的岛状半导体膜607。 还有，在半导体膜607上，通过高浓度P离子射入而形成源区域607a及漏区域607b。还有， 没有导入P的部分成为沟道区域607c。再有，还形成覆盖基底保护膜606及半导体膜607 的透明的栅绝缘膜608，在栅绝缘膜608上，形成由Al、 Mo、 Ta、 Ti、 W等构成的栅电极609， 在栅电极609及栅绝缘膜608上形成透明的第一层间绝缘膜611a和第二层间绝缘膜611b。 栅电极609设置在与半导体膜607的沟道区域607c对应的位置。另外，贯通第一层间绝缘 膜611a及第二层间绝缘膜611b，形成分别与半导体膜607的源区域607a、漏区域607b连 接的接触孔612a、612b。并且，由ITO (Indium Tin Oxide)等构成的透明电极613形成规定 形状的图形配置在第二层间绝缘膜611b上(电极形成工序)， 一接触孔612a与该电极613 连接。另外，另一接触孔612b与电源线614连接。这样一来，在电路元件部602上形成与 各电极613连接的驱动用的薄膜晶体管615。还有，在电路元件部602上，也形成保持电容 和开关用的薄膜晶体管，不过，在图13中省略了它们的图示。 发光元件部603具备作为阳极的电极613、顺次层叠在电极613上的空穴注入/ 输送层617a、各发光层617R、617G、617B(总称为发光层617b)、覆盖上层堤618b和发光层617b层叠的阴极604。由空穴注入/输送层617a和发光层617b构成激励发光的功能层 617。还有，如果用透明材料构成阴极604和密封衬底620及吸气剂621，则能够使从密封衬 底620侧发出的光射出。 有机EL显示装置600具有与栅电极609连接的扫描线(省略图示)和与源区域 607a连接的信号线(省略图示)，若根据传送给扫描线的扫描信号使开关用的薄膜晶体管 (省略图示)ON，则此时的信号线的电位保持为保持电容，按照该保持电容的状态，确定驱 动用的薄膜晶体管615的ON OFF状态。然后，经由驱动用的薄膜晶体管615的沟道区域 607c，从电源线614向电极613流通电流，再经由空穴注入/输送层617a和发光层617b向 阴极604流通电流。发光层617b对应于其中流动的电流量而发光。有机EL显示装置600 利用这种发光元件部603的发光机理，能够显示所期望的文字和图像等。另外，由于发光层 617b以使用了液滴喷出装置1的液状体的喷出方法描绘形成，因而，具有很少产生由于描 绘时的喷出不均造成的发光不均、亮度不均等显示不良情况的高显示品质。
(有机EL元件的制造方法) 接下来，关于作为本实施方式的有机EL元件的发光元件部的制造方法，根据图14 进行说明。图14(a) (f)是表示发光元件部的制造方法的概略截面图。还有，图14(a) (f)中，在元件衬底601上形成的电路元件部602省略图示。 本实施方式的发光元件部603的制造方法包括在元件衬底601的与多个发光层 形成区域A对应的位置形成电极613的工序；局部搭在电极613上形成下层堤618a，再在 下层堤618a上形成上层堤618b以实质划分发光层形成区域A的工序。另外，还包括对由 上层堤618b划分的发光层形成区域A进行表面处理的工序；向表面处理过的发光层形成区 域A赋予含有空穴注入/输送层形成材料的液状体，喷出描绘空穴注入/输送层617a的工 序；将喷出的液状体干燥，将空穴注入/输送层617a成膜的工序。另外，还包括对形成有 空穴注入/输送层617a的发光层形成区域A进行表面处理的工序；向表面处理过的发光层 形成区域A喷出描绘含有发光层形成材料的三种液状体的描绘工序；将喷出的三种液状体 干燥，将发光层617b成膜的工序。再有，还具备覆盖上层堤618b和发光层617b而形成阴 极604的工序。各液状体向发光层形成区域A的赋予，采用与所述实施方式2的滤色器的 制造方法相同的液状体的喷出方法。从而，适用图11所示的液滴喷头50向喷头组件9的 配置。 电极(阳极)形成工序中，如图14(a)所示，在已经形成有电路元件部602的元件 衬底601的对应于发光层形成区域A的位置形成电极613。作为形成方法，例如可举出的方 法是在元件衬底601表面，采用ITO等透明电极材料，在真空中经溅射法或蒸镀法形成透明 电极膜，其后，用光刻法只留下必要部分进行蚀刻从而形成电极613。另外，也可以采用如 下方法首先用光致抗蚀剂覆盖元件衬底601，使形成电极613的区域开口而进行曝光*显 影，然后在开口部形成ITO等透明电极膜，去除残留的光致抗蚀剂。然后，转到堤形成工序。
隔壁部形成工序中，如图14(b)所示，覆盖元件衬底601的多个电极613的一部分 而形成下层堤618a。作为下层堤618a的材料，采用作为无机材料的绝缘性的Si02(氧化 硅)。作为下层堤618a的形成方法，例如，可举出以下方法，对应于后面形成的发光层617b， 采用抗蚀剂等掩蔽各电极613的表面。其后，将掩蔽好的元件衬底601投入真空装置中，以 Si02作为靶或原料进行溅射或真空蒸镀，从而形成下层堤618b。之后剥离抗蚀剂等的掩蔽。还有，下层堤618a由Si02形成，从而，只要其膜厚在200nm以下就具有足够的透明性，即使 以后层叠空穴注入/输送层617a及发光层617b也不会阻碍发光。 接下来，在下层堤618a上形成上层堤618b以实质划分发光层形成区域A。作为 上层堤618b的材料，优选相对于含有后述的发光层形成材料的三种液状体100R、100G、 100B溶剂具有耐久性，再有，能够在以氟系气体作为处理气体的等离子体处理的作用下被 疏液化，优选是例如丙烯酸树脂、环氧树脂、感光性聚酰亚胺等之类的有机材料。作为上层 堤618b的形成方法，例如可以列举如下方法在形成有下层堤618a的元件衬底601表面用 辊涂法或旋涂法等涂布感光性的所述有机材料，使其干燥，形成厚度约2 ii m的感光性树脂 层。然后，使以对应于发光层形成区域A的大小设置有开口部的掩膜与对置衬底601在规 定位置对置，进行曝光*显影，由此形成上层堤618b。从而，形成具有下层堤618b和上层堤 618a的隔壁部618。然后，转到表面处理工序。 对发光层形成区域A进行表面处理的工序中，首先以02气体作为处理气体对形成 有隔壁部618的元件衬底601的表面进行等离子体处理。从而，使电极613的表面、下层堤 618a的伸出部及上层堤618b的表面(包括壁面)活性化而进行亲液处理。接着，以CF4等 氟系气体作为处理气体进行等离子体处理。从而，只在由作为有机材料的感光性树脂构成 的上层堤618b的表面，氟系气体反应而进行疏液处理。然后，转到空穴注入/输送层形成 工序。 空穴注入/输送层形成工序中，如图14(c)所示，向空穴注入/输送层形成区域A 赋予含有空穴注入/输送层形成材料的液状体90。作为赋予液状体90的方法，采用具备图 11的喷头组件9的液滴喷出装置1。从液滴喷头50喷出的液状体90以液滴形式在元件衬 底601的电极613上喷落并濡湿扩散。液状体90对应于空穴注入/输送层形成区域A的 面积以液滴形式喷出必要量，通过表面张力形成隆起的状态。然后，转到干燥 成膜工序。
干燥 成膜工序中，用例如灯退火等方法加热元件衬底601，从而使液状体90的 溶剂成分干燥并将其去除，在由电极613的下层堤618a划分的区域形成空穴注入/输送层 617a。本实施方式中，作为空穴注入/输送层形成材料，采用了PEDOT(Polyethylene Dioxy Thiophene :聚乙撑二氧噻吩)。还有，此时，在各发光层形成区域A上形成由相同材料构成 的空穴注入/输送层617a，不过，也可以对应于后面形成的发光层617b，在每个发光层形成 区域A上改变空穴注入/输送层617a的形成材料。然后，转到下一个表面处理工序。
在下一个表面处理工序中，由于采用所述空穴注入/输送层形成材料形成空穴注 入/输送层617a时，其表面相对于三种液状体100R、 100G、 100B具有疏液性，因此，进行表 面处理以至少使发光层形成区域A的区域内再次具有亲液性。作为表面处理方法，可举出 将三种液状体100R、100G、100B中使用的溶剂进行涂布、干燥。作为溶剂的涂布方法，可举 出喷雾法、旋涂法等方法。然后，转到发光层的描绘工序。 发光层的描绘工序中，如图14(d)所示，采用液滴喷出装置1从多个液滴喷头50 向多个发光层形成区域A赋予含有发光层形成材料的三种液状体100R、100G、100B。液状体 100R含有形成发光层617R(红色)的材料，液状体100G含有形成发光层617G(绿色)的材 料，液状体100B含有形成发光层617B (蓝色)的材料。喷落的各液状体100R、 100G、 100B，在 发光层形成区域A上濡湿扩散，截面形状呈圆弧状隆起。作为赋予这些液状体100R、100G、 100B的方法，与实施方式2的滤色器制造方法相同，包括取得液滴喷落位置信息的检查工序；生成通过根据喷落位置信息修正了基于发光层形成区域A的设计数据(CAD数据)的位 映像数据而得到的修正位映像数据的配置图形生成工序；根据修正位映像数据使产生飞行 弯曲的喷嘴52改变喷出定时或喷出速度喷出液滴的喷出工序。喷出工序中，由于采用修正 位映像数据，从而，可进行喷出控制，使得从产生飞行弯曲的喷嘴52喷出的液滴的至少一 部分不溅到隔壁部618上，或液滴不喷落在隔壁部618附近。然后，转到干燥 成膜工序。
干燥*成膜工序中，如图14 (e)所示，使喷出描绘的各液状体100R、 100G、 100B的溶 剂成分干燥并将其去除，进行成膜化以使在各发光层形成区域A的空穴注入/输送层617a 上层叠各发光层617R、617G、617B。作为喷出描绘有各液状体100R、IOOG、 100B的元件衬底 601的干燥方法，优选能够使溶剂的蒸发速度大致一定的减压干燥。然后，转到阴极形成工 序。 阴极形成工序中，如图14(f)所示，覆盖元件衬底601的各发光层617R、617G、617B 和上层堤618b的表面而形成阴极604。作为阴极604的材料，优选组合使用Ca、Ba、Al等金 属或LiF等氟化物。特别是，优选在靠近发光层617R、617G、617B的侧，形成功函数小的Ca、 Ba、LiF的膜，在远离的侧，形成功函数大的Al等的膜。另外，在阴极604上可以层叠Si(^、 SiN等保护层。这样一来，能够防止阴极604的氧化。作为阴极604的形成方法，可举出蒸 镀法、溅射法、CVD法等。特别是在能够防止发光层617R、617G、617B的热所导致的损伤方 面，优选蒸镀法。这样作成的元件衬底601具有喷出描绘时由于飞行弯曲引起的喷出不均少、干 燥 成膜化后的膜厚大致一定的各发光层617R、617G、617B。
所述实施方式3的效果，如下所述。 (1)所述实施方式3的发光元件部603的制造方法，在发光层617b的描绘工序中， 根据修正位映像数据，向元件衬底601的发光层形成区域A以液滴形式喷出描绘各液状体 IOOR、 IOOG、 IOOB。使产生飞行弯曲的喷嘴52改变喷出定时或喷出速度进行喷出，因此，在 发光层形成区域A的适当位置配置液滴。所以，获得喷出描绘时由于飞行弯曲引起的喷出 不均少、干燥 成膜化后的膜厚大致一定的各发光层617R、617G、617B。
(2)如果采用以所述实施方式3的发光元件部603的制造方法制造的元件衬底 601，制造有机EL显示装置600，则各发光层617R、617G、617B的膜厚大致一定，因而，每个发 光层617R、617G、617B的电阻大致一定。从而，若利用电路元件部602向发光元件部603施 加驱动电压使其发光，则降低了由于每个发光层617R、617G、617B的电阻不均而造成的发 光不均和亮度不均等。即，能够提供由于飞行弯曲引起的喷出不均所产生的发光不均和亮 度不均等少、具有外观良好的显示品质的有机EL显示装置600。 以上，关于本发明的实施方式进行了说明，不过，对于所述各实施方式，能够在不 脱离本发明宗旨的范围内加以各种变形。例如，所述各实施方式以外的变形例如下所述。
(变形例1)所述实施方式1的液状体的喷出方法中，根据多个喷嘴52的喷落位置 信息对产生飞行弯曲的喷嘴52进行的喷出控制，并不限定于修正原位映像数据的方法。例 如，也可以在控制电路衬底40中，装入使闩锁信号的产生定时提前或延迟的电路，对其进 行选择而进行控制。(变形例2)所述实施方式1的液状体的喷出方法中，取得喷落位置信息的检查工 序(步骤S1)的实施方法，并不限定于此。例如，也可以根据取得的喷落位置信息特定产生飞行弯曲的喷嘴52，向与该喷嘴52对应的压电元件(振动元件)59施加改变了喷出定时或 喷出速度的驱动信号，再次取得喷落位置信息，如此进行重复。这样一来，能够确认基于变 更的驱动信号进行的喷出控制是否适当，并确认其效果。(变形例3)所述实施方式1的液状体的喷出方法中，液滴喷头50向喷头组件9的 配置，并不限定于此。例如，也可以配置为使液滴喷头50相对于X轴方向倾斜并列。这样 一来，能够使液滴更高精细地在主扫描方向上喷落。(变形例4)所述实施方式1的配线衬底的制造方法中，配线301、303的配置，并不 限定于此。例如，对于在绝缘膜307上层叠配线的多层配线衬底也能够适用本发明的液状 体的喷出方法。(变形例5)所述实施方式2的滤色器的制造方法中，着色层505R、505G、505B的配 置，并不限定于此。例如，关于条型配置以外的镶嵌配置、三角形配置也能够适用本发明的 液状体的喷出方法。(变形例6)所述实施方式2的滤色器的制造方法中，着色层505并不限定于三色。 例如，在除了 RGB三色以外组合了互补色等其他色的多色滤色器中也能够适用本发明的液 状体的喷出方法。(变形例7)所述实施方式3的作为有机EL元件的发光元件部603的制造方法中， 发光元件部603并不限定于多色发光。例如，也可以形成为使发光元件部630进行白色发 光，在密封衬底620侧配置滤色器的构成、或在元件衬底601侧配置滤色器的构成。
(变形例8)所述实施方式1的液状体的喷出方法，不仅仅是金属配线、滤色器、 有机EL元件的制造方法，也能够适用于荧光元件、电子释放元件等各种功能元件的形成方 法。
权利要求
一种液状体的喷出方法，其使具有多个喷嘴的喷头和衬底对置配置，使所述喷头和所述衬底沿主扫描方向相对移动，与所述主扫描方向的喷出定时同步在所述衬底上作为液滴喷出含有功能性材料的液状体，所述液状体的喷出方法的特征在于，包括第一配置位映像图案生成工序，第一配置位映像图案在由所述多个喷嘴的喷嘴列方向和与所述喷嘴列方向交叉的所述主扫描方向构成的平面上展开，在所述第一配置位映像图案生成工序中，以所述衬底的设计信息为基础，生成由用于在所述衬底上配置从所述喷头喷出的所述液滴的多个点构成的所述第一配置位映像图案；修正量算出工序，取得从所述多个喷嘴喷出的所述液滴的喷落位置，作为修正量算出所述喷落位置相对于基准位置在所述主扫描方向上的偏离；第二配置位映像图案生成工序，点是所述第一配置位映像图案的点，在所述第二配置位映像图案生成工序中，使喷出该点的所述喷嘴的所述修正量沿所述主扫描方向移动而生成第二配置位映像图案；喷出工序，基于所述第二配置位映像图案，与所述主扫描方向的所述喷出定时同步作为所述液滴喷出所述液状体。
2. 根据权利要求1所述的液状体的喷出方法，其特征在于，在所述第二配置位映像图案生成工序中，所述移动的方向在所述主扫描方向的往动和 复动中是相反方向。
3. 根据权利要求1或2所述的液状体的喷出方法，其特征在于， 所述修正量是向所述衬底喷出所述液滴的喷出分辨率的单位的整数倍。
4. 根据权利要求1或2所述的液状体的喷出方法，其特征在于，所述喷出定时以使所述衬底沿所述主扫描方向移动的移动机构的移动分辨率的单位 的整数倍进行。
5. —种配线衬底的制造方法，其是在衬底上具有由导电性材料构成的配线的配线衬底 的制造方法，其特征在于，包括描绘工序，其采用权利要求1 4中任意一项所述的液状体的喷出方法，向所述衬底上 作为液滴喷出描绘含有导电性材料的液状体；干燥烧成工序，其将喷出描绘的所述液状体干燥、烧成，形成所述配线。
6. —种滤色器的制造方法，其是在衬底上利用隔壁部划分形成的多个着色区域上具有 至少三色的着色层的滤色器的制造方法，其特征在于，包括描绘工序，其采用权利要求1 4中任意一项所述的液状体的喷出方法，向所述多个着 色区域作为液滴喷出描绘含有着色层形成材料的至少三色的液状体；干燥工序，其将喷出描绘的所述液状体干燥，形成至少三色的所述着色层。
7. —种有机EL元件的制造方法，其是在衬底上利用隔壁部划分形成的多个发光层形 成区域上具有有机EL发光层的有机EL元件的制造方法，其特征在于，包括描绘工序，其采用权利要求1 4中任意一项所述的液状体的喷出方法，向所述多个; 光层形成区域作为液滴喷出描绘至少含有发光层形成材料的液状体；干燥工序，其将喷出描绘的所述液状体干燥，形成所述有机EL发光层。
全文摘要
提供能够驱动控制喷头、使液滴高精度喷落的液状体的喷出方法、适用了该液状体的喷出方法的配线衬底的制造方法、滤色器的制造方法、有机EL发光元件的制造方法。本发明的液状体的喷出方法包括检查工序(步骤S1)，其驱动喷头，取得从多个喷嘴的每个喷嘴喷出的液滴的喷落位置信息；配置图形生成工序(步骤S2)，其相对于通过主扫描在衬底上配置液滴的第一配置图形，生成根据喷落位置信息在主扫描的方向上对飞行弯曲进行了修正的第二配置图形；喷出工序(步骤S3)，其根据第二配置图形，使产生了飞行弯曲的喷嘴改变喷出定时或喷出速度而进行喷出。
文档编号H05B33/10GK101698373SQ200910174039
公开日2010年4月28日 申请日期2007年8月10日 优先权日2006年8月11日
发明者北原强, 宫阪洋一, 牛山佳彦 申请人:精工爱普生株式会社