专利名称：一种恒温拉晶炉的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种电炉，具体地说是涉及用于半导体碲化铋结晶、拉晶过程中使用 的恒温炉子。
背景技术：
在半导体致冷器的生产过程中，晶棒需要在恒温的条件下制备，现有的炉子是这 样的用电炉丝绕制在炉腔周围，由于电阻丝闪烁，造成温度不稳定，而影响使用。
发明内容
本发明的目的就是针对上述缺点，提供一种温度稳定的拉晶炉。本发明的技术方案是这样实现的拉晶炉，包括拉晶炉本体和电阻丝，电阻丝靠近 炉腔内部的壁，其特征是炉腔内还具有一层不锈钢圈。所述的不锈钢圈外部还具有小孔。本发明的有益效果是具有炉腔内部温度恒定，不会因为电阻丝的闪烁出现温度 变化的缺点；另一方面，由于具有一个不锈钢圈，具有保护炉腔和电阻丝的的优点。
图1是本发明环保型恒温拉晶炉的横切面结构示意图其中；1、晶炉本体2、电阻丝挂具本体3、不锈钢圈4、小孔
具体实施例方式下面结合附图对本发明作进一步的描述。如图1所示，拉晶炉，包括拉晶炉本体1和电阻丝2，电阻丝2靠近炉腔内部的壁， 其特征是炉腔内还具有一层不锈钢圈3。这个不锈钢圈靠近炉腔的壁，电炉丝在不锈钢圈 的外部。作为一种技术方案，所述的不锈钢圈3外部还具有小孔4。不锈钢圈具有平衡电炉丝的闪烁的这作用，也就保持了温度的恒定。在炉腔内部具有碰撞、污染炉壁和炉腔的情况下，不锈钢圈还具有保护作用。
权利要求
1.一种恒温拉晶炉，包括拉晶炉本体和电阻丝，电阻丝靠近炉腔内部的壁，其特征是 炉腔内还具有一层不锈钢圈。
2.根据权利要求1所述的拉晶炉，其特征是所述的不锈钢圈外部还具有小孔。
全文摘要
本发明涉及一种电炉，具体地说是涉及用于半导体碲化铋结晶、拉晶过程中使用的恒温炉子。拉晶炉，包括拉晶炉本体和电阻丝，电阻丝靠近炉腔内部的壁，其特征是炉腔内还具有一层不锈钢圈。所述的不锈钢圈外部还具有小孔。它具有炉腔内部温度恒定，不会因为电阻丝的闪烁出现温度变化的缺点；另一方面，由于具有一个不锈钢圈，具有保护炉腔和电阻丝的优点。
文档编号C30B29/46GK102094234SQ200910227478
公开日2011年6月15日 申请日期2009年12月15日 优先权日2009年12月15日
发明者陈建卫, 陈建民, 陈燕青, 陈磊 申请人:河南鸿昌电子有限公司