专利名称：一体式热屏吊具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种单晶炉中用于悬挂热屏的吊具，特别涉及的是一种集悬吊籽
晶与悬挂热屏两项功能于一体的一体式热屏吊具。
背景技术：
半导体单晶体的生长中，大都是利用切克劳斯基法制造(简称CZ)法。在这种方
法中，将高纯度的多晶硅按一定要求装入石英坩埚内，然后加热石英坩埚，将其中的多晶硅
溶化，接下来将熔硅略微降温，给予一定得过冷度，等熔硅静定后，把一根特制的标准单晶
硅(通常叫籽晶)与熔硅接触金进行引晶，引晶到适当长度后开始放肩(晶棒直径变大)，
稍后即开始转肩，随后即进入等径生长阶段，这一阶段持续时间可以很长，视拉晶的长度而
定，达到设计要求即可收尾，收尾完毕后晶棒冷却，取出单晶体，即完成一次拉晶。 上述拉晶过程中如何提高拉晶效率及降低能耗一直是此领域研究的重点，在已知
的专利文献和实际使用的硅单晶炉中，多采用专用的热屏和专用的热屏吊具，如
图1所示，
专用的热屏吊具1安装在隔离阀2中并延伸进炉盖3内，专用的热屏吊具1上的挂钩11将
热屏4吊起悬挂在炉盖3内。由于用专用的热屏吊具1在化完料后要从隔离阀2中取出，
破坏了炉体的真空，造成炉体漏气而导致无法正常拉晶，而且在取出专用的热屏吊具1换
上籽晶后，再从新稳定这一过程中大约要耗时一个多小时左右，增加了电费、热场成本的支
出，又由于过长的时间，这样会减薄石英坩埚的透明层厚度降低了成功拉出单晶的机会。
实用新型内容本实用新型克服了上述的缺点，而提供一种集悬吊籽晶与悬挂热屏两项功能与一体的一体式热屏吊具。 为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现 —体式热屏吊具，它包括一个位于隔离阀内的本体部分，其特征在于，还包括一专
门用于悬吊籽晶的籽晶夹头和用以悬吊所述热屏的热屏挂钩，籽晶夹头和热屏挂钩安装在
所述本体的底部并延伸进炉盖内。 本实用新型一体式热屏吊具是将籽晶夹头与热屏吊钩有机的结合在一起，而且两项功能都互不干扰。大大的省去了很多的操作步骤，节约了操作的时间，既提高了操作的安全性，又大幅的降低了生产成本。
以下结合附图和具体实施方式
来详细说明本实用新型； 图1为现有热屏吊具的结构及安装示意图。
图2为本实用新型一体式热屏吊具的结构及安装示意图。
具体实施方式为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式
，进一步阐述本实用新型。 参考图l，本实用新型的一体式热屏挂钩，它包括一个位于隔离阀2内的本体100
部分，还包括一专门用于悬吊籽晶5的籽晶夹头110和用以悬吊热屏4的热屏挂钩120，籽
晶夹头110和热屏挂钩120安装在本体100的底部并延伸进炉盖3内。热屏4通过热屏挂
钩120悬挂于炉盖3的上部，而籽晶5通过籽晶夹头110悬挂在热屏4内。 热屏4的使用在太阳能电磁片制造行业中应该是比较普遍的，其作用可以降低单
晶炉的功耗、提高成晶的速度、整流氩气的流向等等。参看图1，以往使用热屏4时，在化料
期间为了不影响装料量通常将热屏4用形状类似与籽晶夹头110的专用的热屏吊具1挂
起，待化完料后再打开上炉体取出该专用的热屏吊具l，装上籽晶继续拉晶，这种做法必须
要破坏炉体真空从隔离阀2上方取出吊具，这样一来破坏了炉体的真空，造成炉体漏气而
导致无法正常拉晶，同时取出热屏吊具换上籽晶5再从新未定这一过程大约需要一个小时
左右，效率及其低下。 采用本实用新型的一体式热屏吊具，化料与拉晶都在单晶炉中进行，省去了打开炉盖重新安装籽晶夹头110的工序，首先化料结束后，下降热屏4，使热屏4到达设定的位置后组装，在硅液温度稳定的同时籽晶夹头110开始预热，这样使热屏4充分发挥了降低单晶炉功耗、提高成晶的速度的功效，这种一体化完成工序，不需打开单晶炉，而且没有破坏炉体的真空使拉晶过程迅速进行。 以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
权利要求一体式热屏吊具，它包括一个位于隔离阀内的本体部分，其特征在于，还包括一专门用于悬吊籽晶的籽晶夹头和用以悬吊所述热屏的热屏挂钩，籽晶夹头和热屏挂钩安装在所述本体的底部并延伸进炉盖内。
专利摘要本实用新型公开了一体式热屏吊具，它包括一个位于隔离阀内的本体部分，其特征在于，还包括一专门用于悬吊籽晶的籽晶夹头和用以悬吊所述热屏的热屏挂钩，籽晶夹头和热屏挂钩安装在所述本体的底部并延伸进炉盖内。本实用新型一体式热屏吊具是将籽晶夹头与热屏吊钩有机的结合在一起，而且两项功能都互不干扰。大大的省去了很多的操作步骤，节约了操作的时间，既提高了操作的安全性，又大幅的降低了生产成本。
文档编号C30B15/32GK201512606SQ20092007306
公开日2010年6月23日 申请日期2009年5月27日 优先权日2009年5月27日
发明者顾燕滨 申请人:上海申和热磁电子有限公司