单晶炉零压报警装置的制作方法

文档序号:8207146阅读:304来源:国知局
专利名称:单晶炉零压报警装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种报警装置,尤其是一种单晶炉零压报警装置。
背景技术
目前在单晶硅设备领域里,CZ80及以前的晶体生长设备,因为在单晶 生产需要有一个持续的加热的过程,在生产时为了保证硅是液态,炉内就 要稳定在1400'C左右的高温。如果停止加热在十分钟硅就会凝固,而固态 的硅比液态的硅体积大百分之十,很快将石英坩埚胀坏,使其不能再继续 生产,造成损失。所以能够在在最短的时间内发现加热停了就显得尤为重 要。

实用新型内容
为解决现有技术中存在的不足,本实用新型提供了一种能够及时感知 加热电压并在该电压为零时即可报警的单晶炉零压报警装置。
为实现上述目的,本实用新型的单晶炉零压报警装置,包括延时继电 器及与延时继电器信号输出端相连的报警器,其特征在于该装置还包括 电压信号采样;模块、降压电阻、稳压管及控制控制继电器,所述的电压信 号采样模块与单晶炉加热电压表并联,其信号输出端经降压电阻、与降压 电阻信号输出端的稳压管与控制继电器的信号输入端相连,控制继电器的 信号输出端与延时继电器的信号输入端相连。
此外,在延时继电器与供电电源之间连接有复位开关。
采用上述技术方案,能够将原来生产过程中,由于相偏引起无加热故 障不报警的现象克服。在第一时间让操作者得知加热停止,并使操作者可 以在第一时间处理和修复好设备,保证生产降低损失,避免晚发现而造成的单晶拉方、结晶提断,闷炉。以下结合附图及具体实施方式
对本实用新型作更进一步详细说明
图l是本实用新型的整体结构示意图;具体实施方式


图1所示可知,本实用新型的单晶炉零压报警装置,包括延时继电 器1及与延时继电器1信号输出端相连的报警器2,电压信号采样模块3、 降压电阻4、稳压管5及控制继电器6,所述的电压信号采样模块3与单晶 炉加热电压表并联,其信号输出端经降压电阻4、与降压电阻4信号输出端 的稳压管5与控制继电器6的信号输入端相连,控制继电器6的信号输出 端与延时继电器1的信号输入端相连。在延时继电器1与供电电源7之间 连接有复位开关8。
使用时,装置的电信号是与加热电压表并联得到电信号,经过降压电 阻4分压后,在经过稳压管5稳压得到相对稳定电压送到控制继电器6,继 电器6线圏通电后吸合,使继电器6常闭端断开,延时继电器l常开端继 续保持断开,报警器2也就不会得到电流不报警。相反如果加热停止就没 有了电流送到控制继电器6,继电器6停止吸合,控制继电器6常闭端接通 使延时继电器1通电,在经过相应延时后吸合,延时继电器1的常开端闭 合,使报警器2通电报警。可以先按下复位开关8,暂时停止报警,待加热 恢复正常后4艮警真正停止。
权利要求1、一种单晶炉零压报警装置,包括延时继电器(1)及与延时继电器(1)信号输出端相连的报警器(2),其特征在于该装置还包括电压信号采样模块(3)、降压电阻(4)、稳压管(5)及控制继电器(6),所述的电压信号采样模块(3)与单晶炉加热电压表并联,其信号输出端经降压电阻(4)、与降压电阻(4)信号输出端的稳压管(5)与控制继电器(6)的信号输入端相连,控制继电器(6)的信号输出端与延时继电器(1)的信号输入端相连。
2、 根据权利要求l所述的单晶炉零压报警装置,其特征在于在延时 继电器(1)与供电电源(7)之间连接有复位开关(8)。
专利摘要本实用新型涉及一种报警装置,尤其是一种单晶炉零压报警装置。该装置包括延时继电器(1)及与延时继电器(1)信号输出端相连的报警器(2),电压信号采样模块(3)、降压电阻(4)、稳压管(5)及控制控制继电器(6),所述的电压信号采样模块(3)与单晶炉加热电压表并联,其信号输出端经降压电阻(4)、与降压电阻(4)信号输出端的稳压管(5)与控制继电器(6)的信号输入端相连,控制继电器(6)的信号输出端与延时继电器(1)的信号输入端相连。采用上述技术方案,克服了相偏引起无加热故障。使操作者可以在第一时间处理和修复好设备,保证生产降低损失。避免晚发现而造成的单晶拉方、结晶提断,闷炉。
文档编号C30B35/00GK201362756SQ200920101828
公开日2009年12月16日 申请日期2009年3月10日 优先权日2009年3月10日
发明者张在存, 董朝海, 鲁立宁 申请人:宁晋松宫电子材料有限公司
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1