专利名称：一种新型重锤的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及单晶制备机械领域，尤其是用于直拉法制备桂单晶时装载籽晶用
的一种新型重锤。
背景技术：
在直拉法制备硅单晶时，有时由于设备振动或电机旋转不稳定，会造成籽晶振动或摆动，使得硅单晶出现断棱，尤其是在引晶、放肩、收肩、初级等径等阶段往往由于微小的干扰造成拉晶失败。因此，为提高拉晶成功率，设计一种抗干扰能力强的重锤十分必要。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种新型重锤，可以有效保证籽晶提拉、旋转的平稳，提高拉单晶质量。
为了达到上述目的，本实用新型所采用的技术方案为 —种新型重锤，包括有重锤的锤体，其特征在于所述重锤锤体前端成型有连接轴，连接轴前端连接有钼夹头，所述钼夹头的端头开有籽晶插孔，钼夹头的侧壁上设有籽晶固定销插孔，所述的籽晶固定销插孔与籽晶插孔联通；还包括有软轴连接轴，所述重锤的锤体后端成型有连接环，所述重锤的锤体通过连接环上有内螺纹孔，所述的软轴连接轴前端与连接环上的内螺纹孔旋合连接。[0006] 本实用新型具有以下优点 1)采用钼材料作为籽晶夹具，可以提高重锤的耐高温性能。 2)重力锤采用不锈钢材质，可以在保证重量的前提下降低重锤成本。 3)本实用新型相对较重，抗干扰能力较一般产品增强。 4)采用本重锤装置，可以提高籽晶转速，使得单晶棒径向电阻率分布更均匀。
图1为本实用新型结构示意图。
具体实施方式—种新型重锤，包括有重锤的锤体3，重锤的锤体前端成型有连接轴2，连接轴2前端连接有钼夹头l，钼夹头1的端头开有籽晶插孔7，钼夹头1的侧壁设有籽晶固定销插孔6，籽晶插孔7与籽晶固定销插孔6垂直相交，还包括有软轴连接轴5，重锤的锤体3后端成型有连接环4，软轴连接轴5与连接环4螺纹连接。 本实用新型主体分为两部分，钼夹头1和重锤的锤体3，钼夹头为固定籽晶装置，耐高温；重锤的锤体3主要是增加重锤重力的作用，提高重锤整体的抗干扰能力。[0014] 钼夹头1和重锤的锤体3通过连接轴2连接起来，重锤的锤体3通过连接环4和软轴连接轴5连接，实现重锤的上下以及旋转运动。
3[0015] 籽晶从籽晶插口 7放入重锤中，并向籽晶固定销插口 6插入固定销，固定籽晶。 本实用新型适用于提拉制备4 8英寸的单晶棒。
权利要求一种新型重锤，包括有重锤的锤体，其特征在于所述重锤锤体前端成型有连接轴，连接轴前端连接有钼夹头，所述钼夹头的端头开有籽晶插孔，钼夹头的侧壁上设有籽晶固定销插孔，所述的籽晶固定销插孔与籽晶插孔联通；还包括有软轴连接轴，所述重锤的锤体后端成型有连接环，所述重锤的锤体通过连接环上有内螺纹孔，所述的软轴连接轴前端与连接环上的内螺纹孔旋合连接。
专利摘要本实用新型涉及一种新型重锤，包括有重锤的锤体，重锤锤体前端成型有连接轴，连接轴前端连接有钼夹头，钼夹头的端头开有籽晶插孔，钼夹头的侧部设有籽晶固定销插孔，还包括有软轴连接轴，重锤的锤体后端成型有连接环，重锤的锤体通过连接环与软轴连接轴连接。本实用新型适用于提拉制备4～8英寸的单晶棒。
文档编号C30B15/00GK201495313SQ20092018724
公开日2010年6月2日 申请日期2009年8月31日 优先权日2009年8月31日
发明者刘天贵, 李春雷, 马青, 高熙礼 申请人:合肥景坤新能源有限公司