一种可减小软轴提拉型单晶炉软轴摆动的冲击减振器的制作方法

文档序号:8146892阅读:269来源:国知局
专利名称:一种可减小软轴提拉型单晶炉软轴摆动的冲击减振器的制作方法
技术领域
本实用新型属于单晶材料制造装置技术领域,具体涉及一种可减小软轴提拉型单 晶炉软轴摆动的冲击减振器。
背景技术
软轴提拉型单晶炉采用直拉法制造单晶,它是由软轴带动籽晶边旋转边上升来生 长单晶。实际设备中由于各零件的制造、装配等误差使得悬垂软轴上端与其旋转中心存在 对中偏差,在工作中软轴一单晶系统的旋转运动使得软轴一单晶类似圆锥摆一样摆动,影 响了单晶的生长质量。另外软轴一单晶系统的基频(最小固有频率)较低,且正好在籽晶旋 转工作转速范围内,当籽晶旋转角速度接近软轴一单晶系统的基频时,软轴一单晶系统摆 动量明显增加,使得设备在接近这一转速时无法生产出合格的单晶,只能避开这段工作转 速来生产单晶,从而限制了单晶炉的转速范围,影响了其生产效率。因此,寻找一种结构简单且科学合理的解决办法来减小软轴提拉系统的摆动量, 以提高单晶生长质量和生产效率,一直是单晶炉设备生产厂家亟需解决的问题。
发明内容本实用新型的目的是提供一种可减小软轴提拉型单晶炉软轴摆动的冲击减振器, 解决了现有的单晶炉设备中软轴一单晶系统摆动量明显,对生产效率造成影响的问题。本实用新型所采用的技术方案是,一种可减小软轴提拉型单晶炉软轴摆动的冲击 减振器,包括籽晶夹头,籽晶夹头上开有空腔,空腔内设置有由钢球及调整螺钉构成的减振 机构,调整螺钉对应设置在籽晶夹头的两侧,调整螺钉之间在空腔内设置有可活动的钢球。其中的籽晶夹头长度方向上设置有至少两组减振机构。其中的调整螺钉头部表面每隔60度开有孔,孔内穿入钢丝将调整螺钉固定在籽 晶夹头上。本实用新型的有益效果是,不仅结构简单、装配及拆卸方便,而且可通过振动分 析、力学建模计算或实验来合理调节钢球的运动行程,使得在单晶生长中当籽晶夹头摆动 时,钢球的往复碰撞消耗系统摆动能量,起到冲击减振的作用,使软轴一单晶系统的摆动量 达到最小。

图1是本实用新型冲击减振器一种实施例的结构示意图;图2是本实用新型冲击减振器一种实施例的剖视图。图中,1.籽晶夹头,2.钢球,3.调整螺钉,4.钢丝。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型进行详细说明。[0013]本实用新型可减小软轴提拉型单晶炉软轴摆动的冲击减振器一种实施例的结构, 如图1及图2所示,包括籽晶夹头1,籽晶夹头1上开有空腔,空腔内设置有由钢球2及调整 螺钉3构成的减振机构,减振机构可以设置有多组,本实施例设置为2组,调整螺钉3对应 设置在籽晶夹头1的两侧,对应两个调整螺钉3之间在空腔内设置有可活动的钢球2。调整 螺钉3头部表面每隔60度开有孔,孔内穿入钢丝4将调整螺钉3固定在籽晶夹头1上。本实用新型的工作过程为当籽晶夹头1发生摆动时,钢球2产生往复碰撞以消耗 系统能量,从而减小了软轴型单晶炉软轴摆动量,对称调节调整螺钉3可以控制钢球2运动 的行程,钢丝4防止调整螺钉3转动。
权利要求一种可减小软轴提拉型单晶炉软轴摆动的冲击减振器,其特征在于,包括籽晶夹头(1),籽晶夹头(1)上开有空腔,空腔内设置有由钢球(2)及调整螺钉(3)构成的减振机构,所述的调整螺钉(3)对应设置在籽晶夹头(1)的两侧,调整螺钉(3)之间在空腔内设置有可活动的钢球(2)。
2.根据权利要求1所述的可减小软轴提拉型单晶炉软轴摆动的冲击减振器,其特征在 于,所述的籽晶夹头(1)长度方向上设置有至少两组减振机构。
3.根据权利要求1或2所述的可减小软轴提拉型单晶炉软轴摆动的冲击减振器,其特 征在于,所述的调整螺钉(3)头部表面每隔60度开有孔,孔内穿入钢丝(4)将调整螺钉(3) 固定在籽晶夹头(1)上。
专利摘要本实用新型公开的一种可减小软轴提拉型单晶炉软轴摆动的冲击减振器,包括籽晶夹头,籽晶夹头上开有空腔,空腔内设置有由钢球及调整螺钉构成的减振机构,调整螺钉对应设置在籽晶夹头的两侧,调整螺钉之间在空腔内设置有可活动的钢球。本实用新型可减小软轴提拉型单晶炉软轴摆动的冲击减振器,不仅结构简单、装配及拆卸方便,而且可通过振动分析、力学建模计算或实验来合理调节钢球的运动行程,使得在单晶生长中当籽晶夹头摆动时,钢球的往复碰撞消耗系统摆动能量,起到冲击减振的作用,使软轴—单晶系统的摆动量达到最小。
文档编号C30B15/32GK201713602SQ20102014942
公开日2011年1月19日 申请日期2010年4月2日 优先权日2010年4月2日
发明者世家伟, 刘宏昭, 原大宁 申请人:西安理工大学
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