专利名称：用于磷检炉的硅棒预热器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及多晶硅产品检验过程中，对磷检炉结构进行优化，增加的一个高 纯加热部件，具体地说，是一种用于磷检炉的硅棒预热器。
背景技术：
多晶硅产品质量情况是通过区熔拉制成单晶(通称“磷检”)后，用国标规定的方 法测得电阻率，寿命和导电型号，多晶硅产品的纯度在8N ION之间。在这过程中，任何的 杂质都会影响检测的准确性，误导多晶硅的产品质量。目前在区熔拉制单晶硅过程中，通用 的预热方法是采用钼丝缠绕检验棒，高频加热钼丝，通过传热预热检验棒。由于在这个过程 中，钼丝温度很高，达70(TC 1600°C，金属杂质蒸发，易对检验棒形成表面沾污，熔在检验 棒中，影响检验棒本身的质量，导致检测不准确。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够提高检测结果的准确、为避免在 加热时钼丝直接接触检验棒预热而形成的沾污，改传热为辐射加热的用于磷检炉的硅棒预 热器。本实用新型解决上述问题所采用的技术方案是用于磷检炉的硅棒预热器，包括 呈圆弧状的发热体、套管、连接棒，所述套管形状与发热体相匹配且发热体设置于套管内， 连接棒的一端与套管固定连接。具体地，所述发热体为石墨发热体。所述套管为石英套管。所述连接棒为石英连接棒。所述发热体的弧度为π /3 π。所述发热体的截面为矩形且该矩形尺寸为4X4 20X20mm，套管的外径为8 25mm。所述连接棒的直径为5 15mm。所述发热体形成的圆弧所在的圆的内径为30 50mm。综上所述，本实用新型的有益效果是1、本实用新型采用高纯石墨作发热体，用耐高温、高纯石英玻璃做套封，通过高频 加热石墨，以辐射传热的形式加热多晶硅检验棒，避免了多晶硅在加热过程中，钼丝中杂质 挥发，沾污多晶硅检验棒，保证检测的准确性。2、为解决石墨本身的挥发可能对检验棒的影响，本预热器采用耐高温的高纯石英 玻璃封套真空密封石墨发热体，使石墨中的杂质不能逸出密封套，沾污多晶硅。
图1是本实用新型的结构示意图；[0016]图2是本实用新型的硅棒预热器在磷检炉内的分布示意图；图3是图2中本实用新型的硅棒预热器的A-A向视图；图4是发热体的立体结构示意图。附图中标记及相应的零部件名称1_磷检炉，2-多晶硅检验棒，3-高频线圈，4-用 于磷检炉的硅棒预热器，5-发热体，6-套管，7-连接棒，8-夹具装置，9-操纵杆，10-下转 轴ο
具体实施方式
下面结合实施例及附图，对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实 施方式不限于此。参见图1至图3所示，本实用新型的用于磷检炉的硅棒预热器包括呈圆弧状的石 墨发热体5、石英套管6、石英连接棒7，其中，石墨发热体5的弧度为π/3 π，石墨发热 体5形成的圆弧所在的圆的内径为30 50mm，且石墨发热体5的截面为矩形，矩形尺寸范 围为4X4 20X 20mm，套管6的外径为8 25mm，以石墨发热体便于装配设置于石英套管 内为宜，石英连接棒的直径为5 15mm，所述石英套管6形状与石墨发热体5相匹配且石墨 发热体5设置于石英套管6内，石英连接棒7的一端与套管6固定连接。本实用新型的用于磷检炉的硅棒预热器4的石英连接棒7通过夹具8安装在磷检 炉1的操纵杆9上，加热时硅棒预热器可以平移到多晶硅检验棒2的旁边，高频线圈3的上 方。工作时，磷检炉1的硅棒预热器4位置在多晶硅检验棒2的旁边，距离2 50mm ；位于 高频线圈3的上方，距离5 50mm。加热石墨发热体5温度达600 1600°C，以辐射传热 的形式加热多晶硅检验棒2，当多晶硅检验棒2温度达到200 1000°C时，移开磷检炉的硅 棒预热器4，开始拉制单晶硅。这样不仅省去缭绕的钼丝，而且减少钼丝高温蒸发杂质，对多 晶硅检验棒2的沾污，使检测更准确。如上所述，便可较好的实现本实用新型。
权利要求用于磷检炉的硅棒预热器，其特征在于，包括呈圆弧状的发热体(5)、套管(6)、连接棒(7)，所述套管(6)形状与发热体(5)相匹配且发热体(5)设置于套管(6)内，连接棒(7)的一端与套管(6)固定连接。
2.根据权利要求1所述的用于磷检炉的硅棒预热器，其特征在于，所述发热体(5)为石 墨发热体。
3.根据权利要求1所述的用于磷检炉的硅棒预热器，其特征在于，所述套管(6)为石英套管。
4.根据权利要求1所述的用于磷检炉的硅棒预热器，其特征在于，所述连接棒(7)为石英连接棒。
5.根据权利要求1所述的用于磷检炉的硅棒预热器，其特征在于，所述发热体(5)的弧 度为JI /3 31。
6.根据权利要求1所述的用于磷检炉的硅棒预热器，其特征在于，所述发热体(5)的截 面为矩形且该矩形尺寸为4X4 20X 20mm，套管(6)的外径为8 25mm。
7.根据权利要求1所述的用于磷检炉的硅棒预热器，其特征在于，所述连接棒(7)的直 径为5 15mm0
8.根据权利要求1所述的用于磷检炉的硅棒预热器，其特征在于，所述发热体(5)形成 的圆弧所在的圆的内径为30 50mm。
专利摘要本实用新型公开了一种用于磷检炉的硅棒预热器。该用于磷检炉的硅棒预热器包括呈圆弧状的发热体(5)、套管(6)、连接棒(7)，所述套管(6)形状与发热体(5)相匹配且发热体(5)设置于套管(6)内，连接棒(7)的一端与套管(6)固定连接。本实用新型采用高纯石墨作发热体，用耐高温、高纯石英玻璃做套封，通过高频加热石墨，以辐射传热的形式加热多晶硅检验棒，避免了多晶硅在加热过程中，金属杂质挥发，沾污多晶硅检验棒，保证检测的准确性。
文档编号H05B6/02GK201682643SQ201020178369
公开日2010年12月22日 申请日期2010年5月4日 优先权日2010年5月4日
发明者张熠俊, 施宇, 钱承荣, 陆俊宏 申请人:雅安永旺硅业有限公司