专利名称：用于卧式扩散炉的扩散均流板的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种太阳电池制造过程中的设备部件，尤其涉及一种用于卧式扩 散炉的扩散均流板。
背景技术：
太阳电池作为新兴的清洁可再生能源，因具有直接将太阳能转换为电能，且寿命 长、维护简单、可实现无人值守等优势而备受瞩目。太阳能电源系统取得了越来越广泛的应用。扩散工艺是常规太阳电池制备过程中重要的一道工艺，目前在大批量生产中，普 遍采用了卧式扩散炉，其工作原理是，在高温下，通过导入液态P0C13，与硅片发生置换反 应，从而在硅片上扩散形成一层P，形成PN结。液态P0C13通过N2管路被通入扩散炉管内，普遍采用在炉管尾部安装一勻流板，使 气体能够均勻地与硅片反应。因此，勻流板的结构对气体的均勻性十分重要。现有技术采 用的勻流板结构如图1所示，它包括进口管1、出口管2和连接在进口管和出口管之间的多 个连通管3，？0(13气体从各连通管3之间的一个个平直的开口 4通过，进入扩散炉。采用 这种结构的勻流板，扩散工艺的均勻性只能保持在片内波动范围为士5%、片间波动范围为 士 8%。
实用新型内容本实用新型的目的，就是为了解决现有技术存在的上述问题，提供一种新型结构 的用于卧式扩散炉的扩散均流板。为了达到上述目的，本实用新型采用了以下技术方案一种用于卧式扩散炉的扩 散均流板，包括进口管、出口管和连接在进口管和出口管之间的多个连通管，其特点是，所 述的连通管为中空波纹管形连通管。所述的中空波纹管形连通管上间隔设有多个凸环，使连通管沿轴向形成凹凸间隔 相连的波纹结构。采用本实用新型的用于卧式扩散炉的扩散均流板，可使P0C13气体更均勻地通过， 将扩散工艺的片内均勻性提高至波动范围为士3%、片间均勻性提高至波动范围为士5%。 从而使P0C13气体能够更均勻地和硅片反应。
图1是现有技术用于卧式扩散炉的扩散均流板的结构示意图；图2是本实用新型用于卧式扩散炉的扩散均流板的结构示意图。
具体实施方式
参见图2，本实用新型用于卧式扩散炉的扩散均流板，包括进口管1、出口管2和连接在进口管和出口管之间的多个连通管5，其中的连通管5为中空波纹管形连通管。在该中 空波纹管形连通管5上间隔设有多个凸环51，使连通管沿轴向形成凹凸间隔相连的波纹结 构。 采用本实用新型用于卧式扩散炉的扩散均流板，？0(13气体从各连通管5之间的一 条条波纹形通道6通过，进入扩散炉，扩散工艺的均勻性得到了很大的提高，可使扩散工艺 的片内均勻性提高至波动范围为士3%、片间均勻性提高至波动范围为士5%。从而使P0C13 气体能够更均勻地和硅片反应。
权利要求一种用于卧式扩散炉的扩散均流板，包括进口管、出口管和连接在进口管和出口管之间的多个连通管，其特征在于所述的连通管为中空波纹管形连通管。
2.如权利要求1所述的用于卧式扩散炉的扩散均流板，其特征在于所述的中空波纹 管形连通管上间隔设有多个凸环，使连通管沿轴向形成凹凸间隔相连的波纹结构。
专利摘要本实用新型提供了一种用于卧式扩散炉的扩散均流板，包括进口管、出口管和连接在进口管和出口管之间的多个连通管，其中的连通管为中空波纹管形连通管。采用本实用新型的用于卧式扩散炉的扩散均流板，可使POCl3气体更均匀地通过，将扩散工艺的片内均匀性提高至波动范围为±3％、片间均匀性提高至波动范围为±5％。从而使POCl3气体能够更均匀地和硅片反应。
文档编号C30B31/04GK201704430SQ201020188240
公开日2011年1月12日 申请日期2010年5月10日 优先权日2010年5月10日
发明者张忠卫 申请人:上海神舟新能源发展有限公司;上海太阳能科技有限公司