专利名称：滑罩式取多晶硅棒装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及光伏和半导体领域的多晶硅棒从还原炉取出时使用的取出多晶 硅棒的装置，尤其是涉及一种滑罩式取多晶硅棒装置。
背景技术：
多晶硅棒是由化学气相沉积方法形成的，它是太阳能及电子行业不可缺少的原材 料。在还原炉内通地电极和高温发生还原反应，形成直径为几十毫米到几百毫米的η形多 晶硅棒。将还原炉的罩子从底板上吊开后，多晶硅棒就可以从底板上取出、放置，然后进入 下一道生产工序。目前，现有技术中有如下三种取棒方法1、人工取棒方法；2、助力机械手取棒方 法；3、整圈环形同时取棒方法。其中第一种为人工取棒的方法，它需要人在还原炉的底板上将多晶硅棒弄断，然后取 走。这种方法工人劳动强度大，费时费力，影响生产效率，操作不方便，现场也很难清理，易 使硅受到污染从而使硅的纯度降低，降低硅炉的使用率，破碎的硅料容易使工人受到割、砸 等伤害。第二种为助力机械手取棒的方法，由于多晶硅棒与多晶硅棒之间的间隙不大，机 械抓手本身有一定的厚度，夹具笨重，所以抓手在抓棒之前要对准多晶硅棒进行定位非常 困难，加上助力机械手移动时受平衡气压的阻力，更是难以实现精确定位；当多晶硅棒自身 有裂痕、断裂、生长粗细不均勻或有些歪斜等意外情况时，以往的机械手就不能进入多晶硅 棒的间隙中进行夹持、抓取等动作，否则容易弄断多晶硅棒，折断后掉下来的多晶硅棒会砸 断其它多晶硅棒，造成现场混乱。第三种为整圈环形同时取棒方法(参见中国专利=200810107025. 6及 200820137429. 5)，由于整圈多晶硅棒的体积庞大，定位、取出等操作困难、复杂，效率低下， 取出后，下道工序也难处理；另外，这种方法需要行车协助，当有多个炉的多晶硅棒需要同 时取出时，等待时间较长，行车不够用。
发明内容本实用新型的目的是提供一种定位准确快捷、能安全完整地将多晶硅棒取出、提 高工作效率和工作质量、减轻工人劳动强度的滑罩式取多晶硅棒装置。本实用新型的目的是这样实现的一种滑罩式取多晶硅棒装置，包括三维驱动装 置，特征是还包括保护罩和支撑板，在支撑板的两侧边安装有保护罩滑轨，放置于支撑板前 部的保护罩的两边套装在保护罩滑轨上并使得保护罩能顺支撑板进行上下滑动，在支撑板 的底端前部加工有W形的底板叉，底板叉可以插入待取且形状为η形的多晶硅棒底部并向 上叉起多晶硅棒。三维驱动装置由底部安装有滚轮的可移动底座、固定臂、伸缩臂、转臂、操作把手、 动力装置和气动马达或电机组成。按动操作把手上的按钮，三维驱动装置能够驱动保护罩
3在支撑板上进行升降运动，驱动支撑板、底板叉和保护罩一起进行升降运动，还可以通过人 力驱动支撑板和保护罩一起进行水平移动及水平旋转运动。由于相邻η形多晶硅棒之间的间隙很小，所以，本实用新型先采用滑动式的保护 罩将多晶硅棒罩起来予以保护，然后再在下面用底板叉将多晶硅棒和保护罩一起叉起，这 样就能安全完整地将多晶硅棒取出，而且在多晶硅棒自身有断裂、歪斜、粗细不均的缺陷时 也能照样取出多晶硅棒。本实用新型具有如下特点1、使用了滑动式的保护罩，它解决了机械手太大、取多晶硅棒时对位难的问题，同 时也解决了多晶硅棒有断裂时会掉下来损坏其它多晶硅棒的问题。2、使用了支撑板和底板叉，解决了取多晶硅棒时难以定位的问题，大大缩短了定 位时间。3、使用了轻便的保护罩滑轨和三维驱动装置中的两个旋转轴及滑轨进行前后左 右的移动，解决了助力机械手臂定位时需要人用很大力才能进行精确定位的问题。4、采用本实用新型将会极大地提高工作效率和工作质量，减轻工人的劳动强度， 提高工作的舒适度。
图1为本实用新型的结构示意图；图2为操作把手的放大示意图；图3为多晶硅棒和底板分离的示意图。
具体实施方式
下面结合实施例并对照附图对本实用新型作进一步详细说明。一种滑罩式取多晶硅棒装置，由保护罩3、支撑板4和三维驱动装置7组成，在支撑 板4的两侧边安装有保护罩滑轨6，放置于支撑板4前部的保护罩3的两边套装在保护罩滑 轨6上并使得保护罩3能顺支撑板4进行上下滑动，在支撑板4的底端前部加工有W形的 底板叉5，底板叉5可以插入待取且形状为η形的多晶硅棒1底部并向上叉起多晶硅棒1。三维驱动装置7由底部安装有滚轮的可移动底座8、固定臂11、伸缩臂13、转臂 19、操作把手26、动力装置18和气动马达或电机21组成。在可移动底座8的底板27上固 定有立柱20，在两边安装了固定臂滑轨12的固定臂11的右端底部固定有下端开口的套管 10，立柱20的顶端套入套管10中使得固定臂11可绕立柱20作水平旋转，伸缩臂13的中右 端的两边套装在固定臂滑轨12上并使得伸缩臂13能顺在固定臂11进行水平滑动，在伸缩 臂13左端的上面固定有支柱16，在支柱16的顶端依次安装有定位块17和动力装置18，在 伸缩臂13左端的支柱16右边加工有滑动轴圆孔14，滑动轴15的上端固定在定位块17的 右端底部，滑动轴15的下端穿过伸缩臂13上的滑动轴圆孔14固定在“L”形的转臂19的 横杆22右端的轴承28中，在竖向放置的支撑板4的背部加工有两个相对的带销孔的凸柱 24，在转臂19的竖杆23的底端加工有竖杆圆孔，转臂19的竖杆23的底端卡在两个相对的 凸柱24之间，销轴25穿过凸柱24的销孔和竖杆圆孔将转臂19铰接在支撑板4的背部，并 使支撑板4能绕销轴25转动；在支撑板4的背部安装有驱动保护罩3在支撑板4上进行升降运动的气动马达或电机21。操作把手26安装在支撑板4的背部、两个凸柱24的下方，在操作把手24上安装 有通过导线或气管与控制器连接的按钮板31，在按钮板31上依次设有滑动罩上升/下降按 钮29、支撑板提升/下降按钮30和若干个备用按钮32。在可移动底座8上安装有可以推动可移动底座8运动的推把9。所述动力装置18为气缸或微型电机。在还原炉内的底板2上固定有若干对用于生成多晶硅棒1的通地电极33，多晶硅 棒1的底端有可以从上向下套在通地电极33上的石墨电极34。通地电极33和高温发生还 原反应，就会在石墨电极34上形成直径为几十毫米到几百毫米的η形多晶硅棒，然后将还 原炉的罩子从底板2上吊开后，多晶硅棒就1可以从底板2上取出、放置，然后进入下一道
生产工序。按动操作把手26上的各个按钮，三维驱动装置7能够驱动支撑板4、底板叉5和保 护罩3 —起做上升或下降运动、能够驱动保护罩3沿支撑板4做上升下降运动，还可以通过 人力驱动支撑板4、底板叉5和保护罩3 —起分别绕立柱20或滑动轴15作水平旋转、水平 移动。
权利要求一种滑罩式取多晶硅棒装置，包括三维驱动装置(7)组成，其特征在于还包括保护罩(3)和支撑板(4)，在支撑板(4)的两侧边安装有保护罩滑轨(6)，放置于支撑板(4)前部的保护罩(3)的两边套装在保护罩滑轨(6)上并使得保护罩(3)能顺支撑板(4)进行上下滑动，在支撑板(4)的底端前部加工有W形的底板叉(5)，底板叉(5)可以插入待取且形状为n形的多晶硅棒(1)底部并向上叉起多晶硅棒(1)。
2.如权利要求1所述的滑罩式取多晶硅棒装置，其特征在于三维驱动装置(7)由底 部安装有滚轮的可移动底座(8)、固定臂(11)、伸缩臂(13)、转臂(19)、操作把手(26)、动力 装置(18)和气动马达或电机(21)组成，在可移动底座(8)的底板(27)上固定有立柱(20)， 在两边安装了固定臂滑轨(12)的固定臂(11)的右端底部固定有下端开口的套管(10)，立 柱(20)的顶端套入套管(10)中使得固定臂(11)可绕立柱(20)作水平旋转，伸缩臂(13) 的中右端的两边套装在固定臂滑轨(12)上并使得伸缩臂(13)能顺在固定臂(11)进行水 平滑动，在伸缩臂(13)左端的上面固定有支柱(16)，在支柱(16)的顶端依次安装有定位 块(17)和动力装置(18)，在伸缩臂(13)左端的支柱(16)右边加工有滑动轴圆孔(14)，滑 动轴(15)的上端固定在定位块(17)的右端底部，滑动轴(15)的下端穿过伸缩臂(13)上 的滑动轴圆孔(14)固定在“L”形的转臂(19)的横杆(22)右端的轴承(28)中，在竖向放 置的支撑板(4)的背部加工有两个相对的带销孔的凸柱(24)，在转臂(19)的竖杆(23)的 底端加工有竖杆圆孔，转臂(19)的竖杆(23)的底端卡在两个相对的凸柱(24)之间，销轴 (25)穿过凸柱(24)的销孔和竖杆圆孔将转臂(19)铰接在支撑板(4)的背部，并使支撑板 (4)能绕销轴(25)转动；在支撑板(4)的背部安装有驱动保护罩(3)在支撑板(4)上进行 升降运动的气动马达或电机(21)。
3.如权利要求1或2所述的滑罩式取多晶硅棒装置，其特征在于操作把手(26)安装 在支撑板(4)的背部、两个凸柱(24)的下方，在操作把手(24)上安装有通过导线或气管与 控制器连接的按钮板(31)，在按钮板(31)上依次设有滑动罩上升/下降按钮(29)、支撑板 提升/下降按钮(30)和若干个备用按钮(32)。
4.如权利要求3所述的滑罩式取多晶硅棒装置，其特征在于在可移动底座(8)上安 装有可以推动可移动底座(8)运动的推把(9)。
5.如权利要求4所述的滑罩式取多晶硅棒装置，其特征在于所述动力装置(18)为气 缸或微型电机。
专利摘要本实用新型公开了一种滑罩式取多晶硅棒装置，它包括三维驱动装置，特征是还包括保护罩和支撑板，在支撑板的两侧边安装有保护罩滑轨，放置于支撑板前部的保护罩的两边套装在保护罩滑轨上并使得保护罩能顺支撑板进行上下滑动，在支撑板的底端前部加工有W形的底板叉，底板叉可以插入待取且形状为n形的多晶硅棒底部并向上叉起多晶硅棒。三维驱动装置由底部安装有滚轮的可移动底座、固定臂、伸缩臂、转臂、操作把手、气动马达或电机和动力装置组成。三维驱动装置能够通过人力加上气动或电动驱动支撑板和保护罩一起进行三维运动。本实用新型具有定位准确快捷、能安全完整地将多晶硅棒取出、提高工作效率和工作质量、减轻工人劳动强度的优点。
文档编号C30B28/14GK201670894SQ201020202879
公开日2010年12月15日 申请日期2010年5月25日 优先权日2010年5月25日
发明者付保华, 洪平 申请人:洪平;付保华