一种异形石英坩埚的制作方法

文档序号:8040670阅读:315来源:国知局
专利名称:一种异形石英坩埚的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种石英坩埚,尤其涉及一种异形石英坩埚。
背景技术
随着科技的进步,市场对单晶硅的品质要求有着具体细化到对硅片的品质要求, 而坩埚的品质就会直接影响到单晶硅的品质。现有技术中,一般都是为圆底的石英坩埚,在 收尾时,液态长晶硅料在圆形坩埚底部剩余料较多,造成一定程度的浪费。于是,有人生产 出了四边形的坩埚,一定程度上解决了锅底余料的浪费,但是,这对模具的要求甚高,且单 面面积较大,收缩率也较大,对加热板的要求较高,不易控制。

实用新型内容本实用新型的目的在于解决上述的技术问题,提供一种异形石英坩埚。本实用新型的目的通过以下技术方案来实现一种异形石英坩埚,包括锅壁和锅底,所述锅壁和锅底为一整体,锅底为平面形, 所述锅壁的横截面为正多边形。进一步地,以上所述的一种异形石英坩埚,所述锅壁的横截面为正六边形或正八 边形中的一种。本实用新型的有益效果主要体现在由于采用六边形的设计,相同的容量相对于 四边形单面面积变小,对石膏模具的收缩率要求降低,同时也由于单面面积的缩小,对坯体 含水率的要求也相对降低,且对加热板的收缩率要求降低,提高了热转换率。
以下结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明

图1 本实用新型的正六边形坩埚的锅壁横截面示意图。图2 本实用新型的正八边形坩埚的锅壁横截面示意图。图3 本实用新型石英坩埚的结构图其中1、锅壁2、锅底
具体实施方式
本实用新型揭示了一种异形石英坩埚,包括锅壁1和锅底2,锅壁1和锅底2为一 整体,锅底2为平面形,锅壁1横截面为正多边形。如图1所示,异形石英坩埚的锅壁1横 截面为正六边形,如图2所示,锅壁1横截面也可为正八边形。由于坩埚中得到的单晶硅在使用时还需要进行一定的分切,为了不造成材料的浪 费,且使得更容易分配切割,本实用新型采用的正多边形,其边数为双数,不采用单数边,而 如果采用正八边形以上的正多边形,使得坩埚的制造工艺繁琐,单面面积再小反而不能满
3足实用的要求。该坩埚是用石英材料通过注浆烧结得到,先将原料石英材料投入造粒设备中湿法 造粒,再将浆料充分搅拌放置后倒入压力装置,注入石膏模具,脱水脱模,最后干燥烧结,得 到坩埚。本实用新型与现有技术相比具有以下优点由于采用六边形的设计,相同的容量 相对于四边形单面面积变小,对石膏模具的收缩率要求降低,同时也由于单面面积的缩小, 对坯体含水率的要求也相对降低,且对加热板的收缩率要求降低,提高了热转换率。本实用新型尚有多种具体的实施方式,凡采用等同替换或者等效变换而形成的所 有技术方案,均落在本实用新型要求保护的范围之内。
权利要求1.一种异形石英坩埚,包括锅壁⑴和锅底O),所述锅壁⑴和锅底⑵为一整体, 锅底O)为平面形,其特征在于所述锅壁(1)的横截面为正多边形。
2.根据权利要求1所述的一种异形石英坩埚,其特征在于所述锅壁(1)的横截面为 正六边形或正八边形中的一种。
专利摘要本实用新型提供了一种异形石英坩埚,包括锅壁和锅底,锅壁和锅底为一整体,锅底为平面形,其中,锅壁的横截面为正多边形。本实用新型由于采用正六边形的设计,相同的容量相对于四边形单面面积变小,对石膏模具的收缩率要求降低,同时也由于单面面积的缩小,对坯体含水率的要求也相对降低,且对加热板的收缩率要求降低,提高了热转换率。
文档编号C30B15/10GK201908154SQ20102065911
公开日2011年7月27日 申请日期2010年12月14日 优先权日2010年12月14日
发明者丁荣勇, 唐修亮, 姜丹锋 申请人:维苏威太阳能坩埚(苏州)有限公司
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