专利名称：一种水平气浮台的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种气浮台结构，尤其涉及一种能够提供X向及Y向滑动的水平气浮台结构。
背景技术：
机械加工及检测领域经常需要能够同时提供X向和Y向移动功能的设备。现有技术中，此类设备一般是在一底座上设置X向滑台，而在该X向滑台上进一步设置Y向滑台，并通过控制所述X向滑台和Y向滑台的移动轨迹来实现X向和Y向的移动功能。然而，上述结构中，Y向滑台是设置于X向滑台之上，却不能直接设置于底座之上， 这就使得Y向滑台的运动精度受到了 X向滑台的影响，使得X向滑台的误差也累计到Y向滑台，从而影响到Y向滑台所驱动的设备的运行轨迹。
发明内容
本发明针对现有技术的弊端，提供一种水平气浮台。本发明所述水平气浮台，包括底座，所述底座上罩扣有槽型X向滑台，所述X向滑台上罩扣有槽型Y向滑台；其中，所述槽型X向滑台开设有导通的第一进气孔和第一出气孔，当所述第一进气孔导入气体时，所述气体自第一出气孔导出并于底座与槽型X向滑台的罩扣面处形成气膜；所述槽型Y向滑台开设有导通的第二进气孔和第二出气孔，当所述第二进气孔导入气体时，所述气体自第二出气孔导出并于底座的顶面与槽型Y向滑台的两立槽的底面之间、以及槽型X向滑台与槽型Y向滑台的罩扣立面处形成气膜。本发明所述水平气浮台中，所述第一进气孔开设于槽型X向滑台侧壁；所述第二进气孔开设于槽型Y向滑台侧壁。本发明所述水平气浮台中，所述第一出气孔开设于槽型X向滑台的两立槽内表面、以及槽型X向滑台的水平槽内表面。本发明所述水平气浮台中，所述第一出气孔包括多个出气小孔，所述多个出气小孔按矩形、三角形、直线形、或圆形排列。本发明所述水平气浮台中，所述第二出气孔开设于槽型Y向滑台的两立槽的底面、以及槽型Y向滑台的两立槽的内表面。本发明所述水平气浮台中，所述第二出气孔包括多个出气小孔，所述多个出气小孔按矩形、三角形、直线形、或圆形排列。本发明所述的水平气浮台中，令所述X向滑台和Y向滑台以同一底座的顶面为支撑，并以此顶面为基准而实现X向运动和Y向运动，所述Y向滑台不会再有X向滑台导致的累计误差，从而能够更加精确的控制设备的X向运动和Y向运动。
图1为本发明所述水平气浮台的结构示意图；图2为本发明所述水平气浮台的另一视图角度的结构示意图。
具体实施例方式下面结合附图对本发明做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。如图1、图2所示，本发明所述的水平气浮台，包括底座1，所述底座1上罩扣有槽型X向滑台2，所述X向滑台2上罩扣有槽型Y向滑台3 ；所述X向滑台2可在底座1上滑动，且由于其为槽型结构，也使得其只能沿底座1的设定方向滑动；所述Y向滑台3是罩扣于X向滑台上，由于其为槽型结构，因此，使得其只能相对于底座1做设定方向滑动。其中，所述槽型X向滑台2开设有导通的第一进气孔4和第一出气孔5，当所述第一进气孔4导入气体时，所述气体自第一出气孔5导出并于底座1与槽型X向滑台2的罩扣面处形成气膜6。从图1中可以看出，所述底座1与槽型X向滑台2的罩扣面包括了底座1顶面与X向滑台2的水平槽内表面之间的部分、以及底座1两侧面与X向滑台2的两立槽的内表面之间的部分。所述气膜6既提供了对X向滑台2向上方向的支撑，也限制了 X向滑台2在水平方向的晃动，使得该X向滑台2仅能沿底座1的设定方向无摩擦的滑动。所述槽型Y向滑台3开设有导通的第二进气孔7和第二出气孔8、9，当所述第二进气孔7导入气体时，所述气体自第二出气孔8、9分别导出并于底座1的顶面与槽型Y向滑台3的两立槽的底面之间形成气膜10、以及槽型X向滑台2与槽型Y向滑台3的罩扣立面处形成气膜11。所述气膜10提供了对Y向滑台3水平方向的支撑，而气膜11则限制了 Y向滑台3在水平方向的晃动，使得该Y向滑台3仅能沿底座1的设定方向无摩擦的滑动。 本发明中，X向滑台2与Y向滑台3的厚度应该是互相配合的，这样方能令Y向滑台3在垂直方向上仅能受到底座1的支撑，而X向滑台2对Y向滑台3并无垂直方向的作用力，从而令Y向滑台3于X向滑台2上运动时不会受X向滑台加工误差的影响，也就保证了 X向滑台和Y向滑台所驱动的外部设备是以底座1为唯一的基准面而做X向或Y向运动。本发明中，所述第一进气孔4开设于槽型X向滑台2的侧壁；所述第二进气孔7开设于槽型Y向滑台3的侧壁。而所述第一出气孔5则可开设于槽型X向滑台2的两立槽的内表面、以及槽型X向滑台2的水平槽内表面。该第一出气孔4可包括多个出气小孔，所述多个出气小孔可按矩形、三角形、直线形、或圆形排列。本发明中，所述第二出气孔可开设于槽型Y向滑台3的两立槽的底面(例如图2 中的出气孔9)、以及槽型Y向滑台3的两立槽的内表面(例如图2中的出气孔8)。所述第二出气孔可包括多个出气小孔，所述多个出气小孔按矩形、三角形、直线形、或圆形排列。尽管本发明的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本发明的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本发明并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。
权利要求
1.一种水平气浮台，包括底座，其特征在于，所述底座上罩扣有槽型X向滑台，所述X向滑台上罩扣有槽型Y向滑台；其中，所述槽型X向滑台开设有导通的第一进气孔和第一出气孔，当所述第一进气孔导入气体时，所述气体自第一出气孔导出并于底座与槽型X向滑台的罩扣面处形成气膜；所述槽型Y向滑台开设有导通的第二进气孔和第二出气孔，当所述第二进气孔导入气体时，所述气体自第二出气孔导出并于底座的顶面与槽型Y向滑台的两立槽的底面之间、 以及槽型X向滑台与槽型Y向滑台的罩扣立面处形成气膜。
2.如权利要求1所述的水平气浮台，其特征在于，所述第一进气孔开设于槽型X向滑台侧壁；所述第二进气孔开设于槽型Y向滑台侧壁。
3.如权利要求2所述的水平气浮台，其特征在于，所述第一出气孔开设于槽型X向滑台的两立槽内表面、以及槽型X向滑台的水平槽内表面。
4.如权利要求3所述的水平气浮台，其特征在于，所述第一出气孔包括多个出气小孔， 所述多个出气小孔按矩形、三角形、直线形、或圆形排列。
5.如权利要求2所述的水平气浮台，其特征在于，所述第二出气孔开设于槽型Y向滑台的两立槽的底面、以及槽型Y向滑台的两立槽的内表面。
6.如权利要求5所述的水平气浮台，其特征在于，所述第二出气孔包括多个出气小孔， 所述多个出气小孔按矩形、三角形、直线形、或圆形排列。
全文摘要
本发明公开了一种水平气浮台，包括底座，所述底座上罩扣有槽型X向滑台，所述X向滑台上罩扣有槽型Y向滑台；所述槽型X向滑台开设有导通的第一进气孔和第一出气孔，当所述第一进气孔导入气体时，所述气体自第一出气孔导出并于底座与槽型X向滑台的罩扣面处形成气膜；所述槽型Y向滑台开设有导通的第二进气孔和第二出气孔，当所述第二进气孔导入气体时，所述气体自第二出气孔导出并于底座的顶面与槽型Y向滑台的两立槽的底面之间、以及槽型X向滑台与槽型Y向滑台的罩扣立面处形成气膜。本发明所述的水平气浮台中，以底座的顶面为唯一基准面，使得Y向滑台不会再有X向滑台导致的累计误差，从而能够更加精确的控制设备的X向运动和Y向运动。
文档编号G12B5/00GK102436854SQ201110256009
公开日2012年5月2日 申请日期2011年9月1日 优先权日2011年9月1日
发明者张瑞杰 申请人:张瑞杰