专利名称：用于扩散炉的碳化硅桨的制作方法
技术领域：
本实用新型专利涉及一种碳化硅桨，尤其涉及一种用于制作太阳电池硅片的扩散炉中的碳化硅桨。
背景技术：
目前传统的扩散在太阳能电池片的制造过程中起着至关重要的作用，这个过程中在电池片内部形成的PN结是太阳能电池的心脏。要制造一个PN结，必须使一块完整的半导体晶体的一部分是P型区域，另一部分是N型区域，制作太阳电池的硅片是P型的，目前采用的方法是将硅片放入石英器件中，通入含磷的气体，在有磷渗透的一面就形成了 N型， 在没有渗透的一面是原始P型的，这样就达到了在硅片内部形成了所要的PN结。扩散过程中硅片放置于石英舟中，再装载于碳化硅桨上，在石英管中进行加工，扩散气源是从石英炉管尾部通入，由于气流的流动关系，硅片的中间部分接触的气源较少，往往方块电阻较大，影响电池片整体质量。
发明内容本实用新型主要是解决现有技术中存在的不足，提供一种使气流均勻的分布在硅片的周围，达到更好的扩散效果的用于扩散炉的碳化硅桨。本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的一种用于扩散炉的碳化硅桨，包括碳化桨体，所述的碳化桨体中设有石英舟孔位。 为了了使硅片各部位周围所包含的气源浓度相近，在扩散中形成均勻的片内方块电阻，可将碳化硅桨承载石英舟的相应部位镂空形成石英舟孔位，这样可以使气流在硅片周围分布更均勻，达到更好的扩散效果。作为优选，所述的碳化桨体包括桨头和桨尾，所述的石英舟孔位设在桨头中，所述的石英舟孔位为长条状。作为优选，所述的石英舟孔位的两端为圆弧状。因此，本实用新型的用于扩散炉的碳化硅桨，结构简单，效率高，提升产品质量。
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。实施例1 如图1所示，一种用于扩散炉的碳化硅桨，包括碳化桨体1，所述的碳化桨体ι中设有石英舟孔位2，所述的碳化桨体1包括桨头3和桨尾4，所述的石英舟孔位2 设在桨头3中，所述的石英舟孔位2为长条状，所述的石英舟孔位2的两端为圆弧状。
权利要求1.一种用于扩散炉的碳化硅桨，其特征在于包括碳化桨体(1)，所述的碳化桨体(1) 中设有石英舟孔位(2)。
2.根据权利要求1所述的用于扩散炉的碳化硅桨，其特征在于所述的碳化桨体(1) 包括桨头C3)和桨尾G)，所述的石英舟孔位( 设在桨头(3)中，所述的石英舟孔位(2) 为长条状。
3.根据权利要求1或2所述的用于扩散炉的碳化硅桨，其特征在于所述的石英舟孔位O)的两端为圆弧状。
专利摘要本实用新型涉及一种碳化硅桨，尤其涉及一种用于制作太阳电池硅片的扩散炉中的碳化硅桨。包括碳化桨体，所述的碳化桨体中设有石英舟孔位。用于印染的除尘器结构简单，效率高，减少环境污染。
文档编号C30B31/14GK202030864SQ20112003038
公开日2011年11月9日 申请日期2011年1月28日 优先权日2011年1月28日
发明者刘亮, 姚桂华, 陈磊 申请人:绿华能源科技(杭州)有限公司