专利名称：一种单晶炉用籽晶夹头的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体材料制备设备，尤其涉及一种单晶炉用籽晶夹头。
背景技术：
现有籽晶夹头，其夹头本体以及重锤均采用耐高温的金属材料制成，由于籽晶夹头常年在高温环境下使用，夹头本体表面以及重锤表面会产生一定量氧化物以及其他杂质，在生产过程中，难以避免细小的杂物脱落，在重力作用下掉落硅熔体，对拉晶产生很大影响，使晶棒产生位错或断棱。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种可以有效防止杂质掉落硅熔体的单晶炉用籽晶夹头。为解决上述技术问题，本实用新型提出一种单晶炉用籽晶夹头，包括重锤和固定于所述重锤下端的夹头本体，所述夹头本体下端设有悬挂籽晶的销轴，所述重锤为石墨棒， 所述夹头本体中空石墨棒。通过如上技术方案的提出，本实用新型具有如下有益效果本实用新型采用石墨棒结构代替钼质金属结构，使得即使长期处在高温状态下， 也不会有杂质掉落硅熔体，保证产品质量。
下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明图1为本实用新型实施例1提出的一种单晶炉用籽晶夹头示意图；图中1、重锤；2、夹头本体；3、销轴。
具体实施方式
实施例1本实施例提出一种单晶炉用籽晶夹头，包括重锤1和固定于重锤1下端的夹头本体2，重锤1的中轴线与夹头本体2的中轴线重合，夹头本体2下端设有悬挂籽晶的销轴3， 重锤1为石墨棒，夹头本体2中空石墨棒。本实用新型通过将重锤1和夹头本体2使用石墨棒结构代替钼质金属结构，使得即使长期处在高温状态下，也不会有杂质掉落硅熔体，保证产品质量。本实用新型并不局限于此实施方式，以本实用新型思想为基础的相关实现总成均在本实用新型的保护范围内。
权利要求1. 一种单晶炉用籽晶夹头，包括重锤(1)和固定于所述重锤(1)下端的夹头本体0)， 所述夹头本体(2)下端设有悬挂籽晶的销轴(3)，其特征在于，所述重锤(1)为石墨棒，所述夹头本体O)中空石墨棒。
专利摘要本实用新型提出一种单晶炉用籽晶夹头，包括重锤和固定于所述重锤下端的夹头本体，所述夹头本体下端设有悬挂籽晶的销轴，所述重锤为石墨棒体，所述夹头本体为中空石墨棒体。本实用新型采用石墨棒结构代替钼质金属结构，使得即使长期处在高温状态下，也不会有杂质掉落硅熔体，保证产品质量。
文档编号C30B15/32GK202247002SQ20112026024
公开日2012年5月30日 申请日期2011年7月21日 优先权日2011年7月21日
发明者刘宏, 张建中, 林平 申请人:天长市百盛半导体科技有限公司