专利名称：高温炉发热体的制作方法
技术领域：
高温炉发热体所属技术领域[0001]本实用新型涉及熔体籽晶法单晶生长设备，尤其涉及一种高温炉发热体。
技术背景[0002]目前国内外发热体单晶生产设备所采用的发热体布局基本采用鸟笼式编织结构， 此种发热体虽可实现轴向温度梯度，但由于结构所限造成钨发热体长度不一致，而且高温端空间排列存在热节和冷区，不能保证高温端热场的周向均勻性，并且操作工艺复杂，维护成本高。实用新型内容[0003]本实用新型的目的就是针对上述现有发热体单晶生产设备技术的不足，提供一种高温炉发热体，将若干根钨棒加工成形状为“弯折U形”，并将“弯折U形”钨棒的两端按轴对称排列方式分别安装于两个环形电极圈上，制做成高温炉发热体，通电后形成具有轴向温度梯度且经向完全对称的温度分布。[0004]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种高温炉发热体，主要由若干“弯折U形”钨棒组成，其特征在于将若干根独立的钨棒加工成“弯折U形”，然后将“弯折 U形”钨棒的两端按轴对称排列方式独立安装于两个环形电极圈上，各U形发热棒的形底部用适当粗细的钨丝连接在一起形成圆环。这样做成的制做成高温炉发热体，通电后形成具有轴向温度梯度且径向完全对称的温度分布。[0005]作为本实用新型的进一步改进，所述“弯折U形”钨棒的弯折部分形成热端辐条段的长度小于整个笼体直径的一半。[0006]作为本实用新型的进一步改进，所述“弯折U形”钨棒按直杆段长度进行分组，各组沿电极环周向交替周期性排列固定，在热端形成多层辐条结构。[0007]作为本实用新型的进一步改进，所述构成同组的每个“弯折U形”钨棒为同一展开长度，不同组的“弯折U形”钨棒可以相同也可以有不同的展开长度。[0008]作为本实用新型的进一步改进，所述钨材质可以用钼替换，也可以用石墨或者碳化硅替换。[0009]本实用新型产生的有益效果是，确保发热体热场的温度梯度和温度场轴对称性， 而且调节方便，制作简单，维护成本低，适用于大多数熔体籽晶法单晶生长炉。
[0010]图1为本实用新型一种实施例的俯视示意图。[0011]图2为本实用新型一种实施例的结构示意图。[0012]附图标记说明1. “弯折U形”钨棒，2.环形电极具体实施方式
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以下结合附图和该实施例对本实用新型作进一步的说明[0014]参照图1，图2，本发明首先将若干根钨裁切成设计长度，然后将其加工成形状为 “弯折U形”。其次将一组“弯折U形”钨棒(1)两端按轴对称排列方式分布分别安装于两个环形电极O)内部上；然后再将一组“弯折U形”钨两端按电极环周均勻分布排列分别安装于两个环形电极( 上，制作成高温炉发热体，从而形成经向分布均勻，具有轴向温度梯度和完全轴对称的温度效果，通电后形成具有轴向温度梯度且周向完全对称的温度分布。
权利要求1.高温炉发热体，主要由若干根“弯折U形”钨棒组成，其特征在于将若干根钨棒加工成形状为“弯折U形”，然后将“弯折U形”钨棒的两端按轴对称排列方式分别安装于两个环形电极圈上，其底部用钨丝串连在一起形成圆环，通电后形成具有轴向温度梯度且经向完全对称的温度分布。
2.根据权利要求1所述的高温炉发热体，其特征在于所述“弯折U形”钨棒的弯折部分形成热端辐条段的最大长度为整个笼体直径的一半。
3.根据权利要求1所述的高温炉发热体，其特征在于所述将“弯折U形”钨棒按直杆段长度进行分组，各组沿电极环周向交替周期性排列固定，在热端形成多层辐条结构。
4.根据权利要求4所述的高温炉发热体，其特征在于所述构成同组的每个“弯折U 形”钨棒为同一展开长度，不同组的“弯折U形”钨棒可以相同也可以有不同的展开长度。
5.根据权利要求1所述的高温炉发热体，其特征在于所述钨材质可以用钼替换，也可以用石墨或者碳化硅替换。
专利摘要本实用新型公布了一种高温炉发热体，将若干根钨棒加工成形状为“弯折U形”，然后将“弯折U形”钨棒的两端按轴对称排列方式分别安装于两个环形电极圈上，制作成高温炉发热体，通电后形成具有轴向温度梯度且周向完全对称的温度分布；适用于要求纵向有温度梯度且具有轴对称温度分布的高温炉设备，典型案例是单晶生长炉。具有调节方便，制作简单，维护成本低等优点。
文档编号C30B35/00GK202279872SQ20112038993
公开日2012年6月20日 申请日期2011年10月13日 优先权日2011年10月13日
发明者刘世全, 徐家庆 申请人:刘世全