专利名称：真空子母炉的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及的是一种高温晶体结晶的真空子母炉，其用途很广泛。
背景技术：
在传统的制备中，高温晶体的结晶过程，都是物料在炉体高温加热到一定程度，让晶体结成结构稳定的结晶体，但是其过程中加热时间长、受热不均匀，而且温度要求较高，所以能耗较高，不易控制，因此该类的装置成本高，损耗也大。在生产中，采用真空子母炉装置，在真空状态下，子炉坩埚内物料通过母炉起到了 保温的作用，使得坩埚内能够更好的加热结晶，生成结构稳定的结晶体，减少能耗。
发明内容本实用新型的目的在于提供了一种高温晶体加热结晶的真空子母炉设备，该设备主要是由真空室、炉体、外保温层、加热器、内保温层、内石墨坩埚组成，其特征是在真空室内设有母炉体，母炉体内层装上外保温层，保住内子炉的温度，紧接着是设在子母炉的石墨加热器，再接着是内保温层，最后内保温层设有着装料的石墨坩埚装置。本实用新型要解决的技术问题是通过以下技术方案来实现的，真空子母炉可以为圆柱形或者六方形，首先将物料装入石墨坩埚内，开始抽真空，达到一定程度进行高温均匀加热，最终结晶成结构稳定的结晶体，因为母炉的高保温作用，所以能耗较低。该装置结构简单、紧凑，使其能有效的提高加热效果，并且使得内部子炉受热均匀。
图I为本实用新型具体实施例的结构示意图具体实施方式
如图I所示，本实用新型是一种高温晶体加热晶体的设备，主要是由真空室I、炉体2、外保温层3、加热器4、内保温层5、内石墨坩埚6、真空机组7、隔热层8组成，其特征是在真空室I内设有母炉体2，母炉体2内层装上外保温层3，保住内子炉的温度，紧接着是设在子母炉的石墨加热器4，再接着是内保温层5，最后内保温层5设有着装料的石墨坩埚6装置，在石墨樹祸与石墨加热器底部装有隔热层8,减少损耗,保护设备。所述的实用新型主要流程为将高温晶体放入石墨坩埚内，盖上石墨锅盖，放置好位置，最后盖上外层保温层，最后放置好母炉的炉盖，封好真空室，其次开启真空机组开始抽真空，达到一定程度，开启石墨加热器，当到需要的温度时，保持恒温，从而达到更好的加热效果及加热速度，让石墨坩埚内的高温晶体更好的加热结晶。本实用新型适用于制备高质量、性能质量高的产品。它可以随时调控温度，长时间保温，因此加热结晶时候可以减少能耗。
权利要求1.一种高温晶体加热结晶的真空子母炉设备，主要是由真空室、炉体、外保温层、加热器、内保温层、内石墨坩埚组成，其特征是在真空室内设有母炉体，母炉体内层装上外保温层，保住内子炉的温度，紧接着是设在子母炉的石墨加热器，再接着是内保温层，最后内保温层设有着装料的石墨坩埚装置。
专利摘要本实用新型属于高温晶体加热结晶的真空子母炉设备，目的是达到好的加热效果及加热速度。它主要是由真空室、炉体、外保温层、加热器、内保温层、内石墨坩埚组成。在真空室内设有母炉体，母炉体内层装上外保温层，保持内子炉的温度，紧接着加上母炉的石墨加热器，帮助子炉更好的加热，再接着是内保温层，内保温层装置着装料的石墨坩埚。该装置结构简单、紧凑，使其能有效的提高加热效果，并且使得内部子炉受热均匀。
文档编号C30B35/00GK202595347SQ20112057755
公开日2012年12月12日 申请日期2011年12月30日 优先权日2011年12月30日
发明者不公告发明人 申请人:王洪举, 江苏晶和新能源有限公司