部件的安装方法

专利名称：部件的安装方法
技术领域：
本发明涉及部件的安装方法。
背景技术：
有源型液晶显示元件和有机电致发光显示元件在玻璃基板上形成。在基板上呈矩阵状配置的像素通过配置在该像素附近的薄膜晶体管被控制。即使使用现在的技术，由晶体半导体构成的薄膜晶体管也不能在玻璃基板上形成。因此，在像素的控制中使用非晶硅或多晶硅薄膜的薄膜晶体管。薄膜晶体管能够在大面积的基板上廉价地制作。但是，薄膜晶体管具有由于移动度比结晶性硅低而阻碍高速动作的缺点。为了克服该缺点，预先在硅晶片上制作大量的晶体管，之后从晶片切出，配置在基板上。专利文献I公开有如图9A所示，准备具备多个亲水性区域11和包围该亲水性区 域11的憎水性区域12的基板10。接着，如图9B所示，配置在基板的部件40被分散在实质上不溶于水的溶剂30，准备部件含有液60。部件40的ー个面为亲水性，与基板10接合，该面以外的部件40的面为憎水性。接着,如图9C所示,使用第一刮板(squeezee)51在多个亲水性区域11配置水20。之后,如图9D所示,使用第二刮板52,涂敷部件含有液60,使部件含有液60与配置在亲水性区域11的水21接触。在该过程中，部件40向配置在亲水性区域11的水21中移动。之后，除去水21和部件含有液60中含有的溶剂，将部件40固定在亲水性区域11。先行技术文献专利文献专利文献I :美国专利第7730610号公报(与专利第4149507号公报对应)

发明内容
发明要解决的课题专利I中记载的方法是将部件40配置在基板10的优秀的方法。本发明的目的在于，提供一种提高部件被配置在亲水性区域的概率的方法。 用于解决课题的方法本发明是将部件配置在基板上的方法，包括以下的エ序エ序(a)，准备上述基板、第一液体和部件含有液，其中，上述基板包括憎水性区域、亲水性区域和亲水性线，上述憎水性区域包围上述亲水性区域和上述亲水性线，Y方向是上述亲水性线的长度方向，Z方向是上述基板的法线的方向，+X方向是与上述Y方向和上述Z方向均正交的方向，-X方向是上述+X方向的反方向，
上述亲水性区域和亲水性线沿上述+X方向以此顺序配置，Dl表示上述亲水性区域与上述亲水性线之间的沿上述+X方向的间隔，D2表示上述亲水性区域的沿上述Y方向的长度，D3表示上述亲水性线的沿上述Y方向的长度，D4表示上述亲水性线的宽度，D1/D2的值为O. I以上I. 2以下，D3的值为5μπι以上，D4的值比上述部件的最小长度小，
上述第一液体为亲水性，上述部件含有液含有上述部件和第二液体，上述第二液体不溶解于上述第一液体，上述部件具备亲水性的表面；エ序(b)，将上述第一液体连续地涂敷到上述基板，并且先将上述第一液体配置在上述亲水性区域，接着将上述第一液体配置在上述亲水性线；エ序(C)，使上述部件含有液与配置于上述亲水性区域的上述第一液体接触；和エ序(d)，从上述基板除去上述第一液体和第二液体，由此将上述部件配置在上述亲水性区域。本说明书中的用语“配置”包括“安装”。本说明书中的“部件”的例子为电子部件。发明效果本发明能够提高部件被配置到亲水性区域的概率。


图IA表示具备亲水性区域111、亲水性线112和憎水性区域120的基板100。图IB表示具备亲水性区域111、亲水性线112和憎水性区域120的基板100。图2示意性地表示含有部件400的部件含有液600。图3A表示配置部件400之前的基板100。图3B表示エ序(b )。图3C表不エ序(C)。图3D表示配置部件400之后的基板100。图4A与图4B和图4C 一起表示涂敷在憎水性区域121的第一液体200在基板100上移动的样子。图4B与图4A和图4C 一起表示涂敷在憎水性区域121的第一液体200在基板100上移动的样子。图4C与图4A和图4B —起表示涂敷在憎水性区域121的第一液体200在基板100上移动的样子。图5A是用于说明部件的最小长度的立体图。图5B是用于说明部件的最小长度的立体图。图5C是用于说明部件的最小长度的立体图。图是用于说明部件的最小长度的立体图。
图6是表不第一刮板510在基板100移动的样子的顶视图。图7A是用于说明Dl D4的值的顶视图。图7B是用于说明Dl D4的值的图。图8A是用于说明Dl D4的值的顶视图。图8B是用于说明Dl D4的值的图。图8C是用于说明Dl D4的值的图。图9A与图9B 图9D —起表示专利文献I所记载的方法。
图9B与图9A、图9C和图9D —起表示专利文献I所记载的方法。图9C与图9A、图9B和图9D —起表示专利文献I所记载的方法。图9D与图9A 图9C 一起表示专利文献I所记载的方法。
具体实施例方式以下，參照

本发明的实施方式。在图中，为了促进本说明书的理解，能够省略阴影。(エ序(a))在エ序(a)，准备基板100、第一液体200和部件含有液600。图IA和图IB表示基板100。基板100在表面具备亲水性区域111、憎水性区域120和亲水性线112。优选设置多个亲水性区域111。憎水性区域120包围亲水性区域110。亲水性区域111和亲水性线112的对水的润湿性比憎水性区域120的对水的润湿性高。如图IA和图IB所示那样定义+X方向、-X方向、Y方向和Z方向。即，Y方向是亲水性线112的长度方向。Z方向是基板100的法线的方向。+X方向是与Y方向和Z方向均正交的方向。-X方向是+X方向的反方向，亲水性区域111和亲水性线112沿+X方向依次配置。接着，说明D1、D2、D3和D4的值。(Dl)如图7A 图8C所示，Dl表示亲水性区域111和亲水性线112之间的沿+X方向的间隔。正确而言，如图7A和图7B所示，Dl是指沿着图7A和图7B所示的假想线803的、亲水性区域111与亲水性线112之间的间隔。假想线803连结亲水性区域111的重心801与亲水性线112的重心802之间。(D2)如图7A 图8C所示，D2表示亲水性区域111的沿Y方向的长度。D3表示亲水性线112的沿Y方向的长度。(D1/D2 的值)本发明的发明人发现D1/D2的值需要为O. I以上I. 2以下的范围。在D1/D2的值不到O. I的情况下，部件400被配置在亲水性区域111的概率可能下降(參照后述的比较例I)。換言之，(配置有部件400的亲水性区域111的数量Np)/ (亲水性区域111的数量)的值小，这意味着效率低。同样，在D1/D2的值超过I. 2的情况下，部件400被配置在亲水性区域111的概率也可能下降(參照后述的比较例2 4)。(D3 的值)本发明的发明人发现D3的值需要为5μπι以上。如果D3的值不到5 μ m，则部件400被配置在亲水性区域111的概率可能下降(參照后述的比较例6 9)。优选D3的值为1000 μ mD(D4 的值)在本发明中，表示亲水性线112的宽度的D4的值需要比部件400的最小长度短。在D4与部件400的最小长度相同或为其以上的情况下，部件400能够被配置在亲水性线112。优选D4的值为部件400的最小值的二分之一以下。此处，使用图5A 图5D，详细说明“部件400的最小长度”。 如图5A所示，在部件400包括两个面(P1)、面积为面(Pl)以上的两个面(P2)、面积比面(P2)大的两个面(P3)的长方体的情况下，设各边的长度为(LI)、(L2)和(L3)。在亲水性区域111的形状和大小与面(P3)的形状和大小相同的情况下，部件400的ー个面(P3)以与设置在基板100的亲水性区域111的面相对的方式配置。在这种情况下，“部件400的最小长度”是指构成作为被安装的面的面(P3)的边的长度(LI)和边的长度(L2)中的较短的边的长度(LI)。另外，本说明书中的“形状和大小相同”的意思后述。如图5B所示，在构成部件400的面中的、与基板100的亲水性区域111相对地配置的面(P3)的形状为三角形的情况下，“部件400的最小长度”是指构成三角形的边(LI)、边(L2)、边(L3)中的、其长度最短的边的长度(LI)。如图5C所示，在构成部件400的面中的、与基板100的亲水性区域111相对地配置的面(P3)的形状为六角形的情况下，“部件400的最小长度”是指构成六角形的边(LI) 边(L6)中的、其长度最短的边的长度(LI)。如图所示，在构成部件400的面中的、与基板100的亲水性区域111相对地配置的面(P3)的形状为圆形的情况下，“部件400的最小长度”是指面(P3)的直径的长度(LI)。在椭圆的情况下是指短轴。优选被安装的部件400的最小长度为10 μ m以上。此外，在部件400为包括上述面(P1)、上述面(P2)和上述面(P3)的长方体的情况下，优选作为被安装的面的面(P3)的长边(在图5A中为长度(L2)的边)为1000 μ m以下。在エ序(a)准备第一液体。第一液体与第二液体一样在之后进行详细说明。在エ序(a)，准备部件含有液600。部件含有液600含有部件400和第二液体300。图2是示意性地表示部件分散液600的截面图。图2示意性地表示被装入容器7的部件分散液600。部件分散液600含有第二液体300和分散在第二液体300中的部件400。在第二液体300，水实质上不溶解。具体而言，第二液体300是己烷。第二液体300的其它具体例后述。本说明书中的用语“分散”是指部件400在第二液体300中不凝聚的状态。为了使部件400分散，部件分散液600能够被搅拌。 第一液体200和第二液体300，能够考虑在第一液体200与第二液体300之间的界面发生效力的界面张カ以及第一液体200和第二液体300各自对于部件400的表面的润湿性适当地选择。
第一液体200需要实质上不溶解于第二液体300。因为第一液体200实质上不溶解于第二液体300，所以在第二液体300与第一液体200接触时，第一液体200稳定地停留在亲水性区域111。而且，由于界面张力，部件400在第一液体200中移动。“实质上不溶解”是指根据溶解在第二液体IOOml中的第一液体的重量定义的溶解度为IOg以下，优选为Ig以下。第一液体200和第二液体300的组合例如为作为第一液体200极性大的液体和作为第二液体300极性比第一液体200小的液体的组合。即，第一液体200为亲水性，且第二液体300为疏水性。第一液体200的例子为水。代替水，能够使用甲醇、こ醇、こニ醇和丙三醇那样的醇、水与醇的混合液。水具有大的表面张力，所以能够将部件400牢固地保持在亲水性区域111，所以更优选。第二液体300的例子为
己烷、庚烷、辛烷、壬烷、癸烷、i^ 一烷、十二烷、十三烷、十四烷、十五烷、十六烷那样的烷烃，甲苯、苯、ニ甲苯那样的芳香族烃类，一氯甲烷、ニ氯甲烷、三氯甲烷、四氯化碳、一氯丁烷、ニ氯丁烷、一氯戊烷和ニ氯戊烷那样的氯类溶剤，こ醚、石油醚那样的醚类，こ酸こ酷、こ酸丁酯那样的酯类，硅油、全氟辛烷、全氟壬烷，或它们的混合液。优选第二液体300为氯类溶剤。基板100的材质并无限定。能够使用由无机材料、高分子树脂材料或无机材料与高分子树脂材料的复合材料形成的基板。作为无机材料，能够使用氧化铝那样的陶瓷、硅和玻璃。作为高分子树脂材料，能够使用聚酰亚胺树脂、聚酰胺树脂、环氧树脂和聚碳酸酯树月旨。作为无机材料与高分子树脂材料的复合材料，例如能够使用包括由玻璃、陶瓷或金属构成的光纤和高分子树脂材料的复合材料。还能够使用SOI基板和化合物半导体基板。能够使用公知的方法制作部件400和部件含有液600。专利文献I公开有该公知的方法。在使用水那样的具有大的极性的液体作为第一液体200的情况下，优选部件400具有高的表面能。更具体而言，该表面能为40mJ/m2以上。在部件400具有小的表面能的情况下，优选对部件400的表面进行处理，増大其表面能。在部件400在表面具有硅的情况下，在臭氧气氛中对该表面照射紫外线，増大其表面倉^:。能够在部件400的表面形成对于第一液体200具有亲和性的薄膜，以增大部件400的表面能。在第一液体200为水的情况下，该薄膜的例子为亲水膜。例如，能够通过真空溅射法或热CVD法在部件400的表面形成氧化硅、氮化硅或氧化钛的亲水膜。形成亲水膜后，能够在臭氧气氛对部件400的表面照射紫外线。能够用在末端具有氨基、羧基或羟基的硅烷偶联剂对部件400的表面进行修饰，以增大部件400的表面能。在部件400的表面具有金属的情况下，能够用在末端具有氨基、羧基或羟基的硫醇对表面进行修饰。
如图IA和图IB所示，亲水性线112既可以为直线状，也可以为曲线状。亲水性区域111的形状能够依据被安装在该亲水性区域111的部件400的形状决定。亲水性区域111的形状例如为三角形、四角形、六角形那样的多角形、圆形、椭圆形。优选亲水性区域111具有与被安装的部件400的面(S卩，以被安装在基板100的状态与基板100相対的部件400的面)的形状相同的形状。所谓的“相同的形状”是指亲水性区域111的形状和被安装的部件400的面(以被安装在基板100的状态与基板100相対的面)为数学概念上的全等或相似关系。SI被定义为在配置在基板时与部件400的基板相対的表面的面积。S2被定义为一个部件配置区域111的面积。一个部件配置区域111的面积被定义为S2。S2/S1的值优选具有O. 64以上1.44以下的值。在S2/S1的值比O. 64小的情况下，亲水性区域110具有明显少的水，所以能够使得部件400被配置的概率变小。在S2/S1的值比I. 44大的情况下，亲水性区域110具有明显多的水。因此，能够在ー个部件配置区域111配置多个部件400。亲水性区域111、亲水性线112和憎水性区域120例如能够通过利用光刻法在亲 水性基板有选择地形成憎水膜来制作。形成亲水性区域111、亲水性线112和憎水性区域120的方法对阅读了国际公开第2010/058516号公报(这与美国专利申请序号12/827、255对应。该专利申请在本申请中被引用)的段落号0049 0057中记载的方法的本行业的本领域技术人员而言应该是清楚的。在本实施方式中，优选亲水性区域111具有与亲水性线112相同的表面能。但是，憎水性区域120的表面能只要比亲水性区域111的表面能和亲水性线112的表面能中的任一方低，亲水性区域111就能够具有与亲水性线112不同的表面能。水相对于固体表面的润湿性不仅与固体的表面能有夫，而且还与水的表面张カ有关。亲水性的固体的表面能的具体的值优选为40mJ/m2以上。更优选为60mJ/m2以上IOOOmJ/m2以下。憎水性的固体的表面能的具体的值优选为5mJ/m2以上不到40mJ/m2。更优选为5mJ/m2 以上 25mJ/m2 以下。(エ序(b))在エ序(b)中，如图3B和图6所示，将第一液体200沿+X方向连续地涂敷在基板100。这样，将第一液体200配置在亲水性区域111和亲水性线112。第一液体200先被配置在亲水性区域111，然后被配置在亲水性线112。參照标记211是指被配置在亲水性区域111的第一液体200。參照标记212是指被配置在亲水性线112的第一液体200。具体而言,使用第一刮板510。该第一刮板510沿+X方向移动。憎水性区域120包围亲水性区域111和亲水性线112，所以在エ序(b)，被配置在亲水性区域111和亲水性线112的亲水性的第一液体200 (例如水)不溢出。此处，进ー步对エ序(b )进行详细说明。图4A 图4C是示意性地表示エ序(b)的顶视图。如图4A所示,第一刮板510从基板100的一端侧(图4A的左侧)移动至另一端侧(图4A的右侧)。在该过程中，水在亲水性区域111和亲水性线112中的任一方均被配置。而且,水还临时被配置在被亲水性区域111和亲水性线112夹着的憎水性区域121。这是因为,在基板100，水被连续地涂敷。憎水性区域121是在图4A中被圆圈包围的区域。之后，如图4B和图4C所示，配置在憎水性区域121的水移动，被配置在亲水性区域111。憎水性区域121的相对于水的低润湿性使水发生移动。图4C的箭头是示意性地表示水的移动方向。其结果是，被配置在亲水性区域111的水的体积能够増大。被配置在亲水性区域111的水的体积的增大使部件400被安装在亲水性区域111的概率升高。由上述说明可知，第一液体200 (水)是被临时配置在憎水性区域121，所以需要连续地在基板100的表面涂敷第一液体200 (水)。另ー方面，如图9A 图9D所示，即使在使用未形成亲水性线112的基板10的情况下，第一液体(水)在憎水性区域12上也能够扩散。但是，部件被安装在亲水性区域11的概率比本实施方式的方法低(參照后述的比较例5)。(エ序(C))接着，说明エ序(C)。 图3B示意性地表示用于实施本实施方式的安装方法的安装装置的结构和动作。如图3B所示，安装装置具备第一刮板510和第二刮板520。在エ序(b)，通过第一刮板510，在整个基板100涂敷第一液体200，从而在亲水性区域111和亲水性线112上配置第一液体211 212。接着，在エ序(C)，使部件含有液600与被配置在亲水性区域111的第一液体211接触。如图3B和图3C所示，通过第二刮板520，在整个基板100涂敷部件分散液600。优选第一刮板510和第二刮板520維持其间隔地在基板100上沿+X方向移动。固定刮板的机构和移动机构未图示。代替使用第二刮板520，能够在エ序(b)之后，将基板100浸在部件分散液600，将基板100置于部件分散液600。第一液体200 (水)实质上不溶解于第二液体300，所以第一液体(水)211 212稳定地停留在亲水性区域111和亲水性线112上。在该过程中，由于对部件400起作用的界面张力，部件400向配置在亲水性区域111的水211的内部移动。或者，部件400向第二液体300和水211所形成的界面移动。在图3B和图3C中，第一刮板510和第二刮板520沿+X方向移动，基板100不移动。但是，也能够为第一刮板510和第二刮板520不移动，基板100沿-X方向移动。或者，能够为第一刮板510和第二刮板520沿+X方向移动，且基板100沿-X方向移动。在エ序(b)，在基板100的一端配置第一液体200。之后，能够将基板100傾斜，依次在亲水性区域111和亲水性线112配置第一液体200。(エ序⑷)最后，说明エ序(d)。从基板100除去第一液体(水)211 212和第二液体300，如图3D所示那样在亲水性区域111配置部件400。水211、212和第二液体300能够利用公知的干燥方法除去。例如，能够使用从自然干燥、利用真空干燥器进行的干燥、吹送空气或气体的干燥、或者利用加热和/或减压进行的干燥那样的众所周知的干燥方法中选择的适当的干燥方法。能够在干燥前清洗基板100。(实施例)以下的实施例是对本发明的配置方法进ー步进行的详细说明。(实施例I)
在实施例I中，使用本发明的配置方法，在基板配置氧化硅板。〈基板的制作〉首先，被憎水性区域120包围的多个亲水性区域111和多个亲水性线112在包括娃的基板100以如下方式形成。基板100为纵40mm、横60mm。具有525 μ m的厚度和4英寸的直径的包括硅的基板100在氧气氛下被进行等离子体处理，将基板100的表面氧化。由此，基板100的整个面成为亲水性。接着，利用光刻法，形成相当于亲水性区域111和亲水性线112的正型抗蚀剂图案。在干燥气氛下，具有抗蚀剂图案的基板100被浸溃在含有lvol%的浓度的CF3(CF2)7C2H4SiCl3 (以下，略写为FS-17)的全氟辛烷溶液中20分钟。之后，基板100在纯粹的全氟辛烷中被清洗，接着，溶剂被除去。进ー步，利用丙酮除去抗蚀剂图案。这样，在硅基板100上形成被憎水性区域120包围的亲水性区域111和亲水性线112。以下详细记述在实施例I中形成的亲水性区域111。形状长方形(參照图7A)沿X方向的宽度40μπι沿Y方向的长度(D2) :20 μ m沿X方向相邻的两个亲水性区域111间的间隔150 μ m沿Y方向相邻的两个亲水性区域111间的间隔150 μ m。以下详细记述在实施例I中形成的亲水性线112。
形状长方形(參照图7A)沿X方向的宽度(D4) :5μπι沿Y方向的长度(D3) :20 μ mDl:2ym。〈部件含有液〉含有氧化硅板的部件含有液600，通过以下的方法被制作。首先，在具有525 μ m的厚度的硅基板的表面，利用电子束蒸镀法，形成具有IOOnm的厚度的铝薄膜。接着，利用多等离子体CVD法形成200nm的氧化硅薄膜。通过将抗蚀剂图案用作掩模的干蚀刻，除去氧化硅薄膜的一部分。通过氧等离子体灰化处理剥离抗蚀剂图案，形成多个氧化硅板。各氧化硅板具有纵20 μ mX横40μπιΧ高O. 2 μ m的大小。接着，通过50°C的磷酸和硝酸的混合液(以下称为“热磷酸”)蚀刻铝薄膜，剥离(lift-off)氧化娃板。接着，使用滤纸(过滤器)吸引过滤分散在热磷酸的氧化硅板。氧化硅板附着的滤纸在干燥气氛干燥整夜。之后，滤纸在含有lvol%的I-氯こ基三氯硅烷的1，4-ニ氯丁烷溶液中浸溃2小时。氧化硅板分散在溶液中。在干燥氮气氛使用滤纸吸引过滤硅氧化板。通过清洗而除去未反应的I-氯こ基三氯硅烷，在滤纸上得到具有被化学修饰过的表面的氧化硅板。滤纸被浸溃在1，4_ ニ氯丁烷中，被施加超声波。超声波的施加还引起了附着在滤纸的氧化硅板分散在1，4-ニ氯丁烷中的情況。这样，制作了部件分散液。〈刮板〉
第一刮板510的下表面具备长度20mm、宽度O. 5mm的狭缝。为了稳定地保持水,使得含有水的脱脂棉进入狭缝内。第二刮板520为聚こ烯制的刀形部件。〈配置方法〉如图3B所示，第一刮板510和第二刮板520配置在基板100的一端侧。在第二刮板520的前方，利用玻璃吸液管配置有大致具有50 μ L的体积的部件分散液600。将第一刮板510的下表面与基板100之间的间隔维持为大致O. 2mm。将第二刮板520的下表面与基板100之间的间隔也维持为大致O. 2mm。将第一刮板510与第二刮板520之间的间隔维持为1mm。 之后，以IOmm/秒的速度使第一刮板510和第二刮板520向+X方向移动。该操作重复10次。利用显微镜观察氧化硅板配置向基板100的状态。具体而言，选择42处亲水性区域111。从所选择的42处亲水性区域111中计算一个氧化硅板被正确地配置的亲水性区域的个数(Np)。进ー步，计算配置有多个氧化硅板的亲水性区域的个数(NI)。还计算了ー个氧化硅板配置得不正的亲水性区域的个数(N2)。Ne是NI和N2之和。请參照后述的表I。(实施例2 实施例5和比较例I 比较例5)为了决定D1/D2的值的范围，实施了实施例2 5和比较例I 比较例5。在实施例2 实施例5和比较例I 4中，除了形成具有表I所示的Dl的值的亲水性区域111和亲水性线112以外，进行了与实施例I相同的实验。在比较例5，除了未形成亲水性线112以外，进行了与实施例I相同的实验。表I表不实施例I 5和比较例I 5的Np和Ne的值。[表 I]
权利要求
1.一种将部件配置在基板上的方法，其特征在于，包括以下的工序 工序(a)，准备所述基板、第一液体和部件含有液， 其中， 所述基板包括拒水性区域、亲水性区域和亲水性线， 所述拒水性区域包围所述亲水性区域和所述亲水性线， Y方向是所述亲水性线的长度方向， Z方向是所述基板的法线的方向， +X方向是与所述Y方向和所述Z方向均正交的方向， -X方向是所述+X方向的反方向， 所述亲水性区域和亲水性线沿所述+X方向以此顺序配置， Dl表示所述亲水性区域与所述亲水性线之间的沿所述+X方向的间隔， D2表示所述亲水性区域的沿所述Y方向的长度， D3表示所述亲水性线的沿所述Y方向的长度， D4表示所述亲水性线的宽度， D1/D2的值为O. I以上I. 2以下， D3的值为5μπι以上， D4的值比所述部件的最小长度小， 所述第一液体为亲水性， 所述部件含有液含有所述部件和第二液体， 所述第二液体不溶解于所述第一液体， 所述部件具备亲水性的表面； 工序(b)，将所述第一液体连续地涂敷到所述基板，并且先将所述第一液体配置在所述亲水性区域，接着将所述第一液体配置在所述亲水性线； 工序(C)，使所述部件含有液与配置于所述亲水性区域的所述第一液体接触；和工序(d)，从所述基板除去所述第一液体和第二液体，由此将所述部件配置在所述亲水性区域。
2.如权利要求I所述的方法，其特征在于 在工序(b)，使用第一刮板，将所述第一液体连续地涂敷到所述基板，并且使第一刮板沿所述+X方向移动。
3.如权利要求I所述的方法，其特征在于 在工序(b)，使用第一刮板，将所述第一液体连续地涂敷到所述基板，并且使第一刮板沿所述-X方向移动。
4.如权利要求2所述的方法，其特征在于 在工序(b )，使所述基板沿所述-X方向移动。
5.如权利要求I所述的方法，其特征在于 第一液体是水。
全文摘要
本发明的方法具备以下的工序准备基板(100)、第一液体和部件含有液的工序(a)，上述基板具备憎水性区域(120)、亲水性区域(111)和亲水性线(112)；在基板连续地涂敷第一液体并且将第一液体配置在亲水性区域和亲水性线的工序(b)；使部件含有液接触配置在亲水性区域的第一液体的工序(c)；和从基板除去第一液体和部件含有液中含有的第二液体、将部件配置在亲水性区域的工序(d)。Y方向是亲水性线的长度方向，Z方向是基板的法线的方向，+X方向是与Y方向和Z方向均正交的方向。D1表示亲水性区域和亲水性线之间的沿+X方向的间隔，D2表示亲水性区域的沿Y方向的长度，D3表示亲水性线的沿Y方向的长度，D4表示亲水性线的宽度。D1/D2的值为0.1以上1.2以下，D3的值为5μm以上，D4的值比部件的最小长度小。
文档编号H05K3/38GK102844849SQ20118001752
公开日2012年12月26日 申请日期2011年11月4日 优先权日2011年2月14日
发明者荒瀬秀和 申请人:松下电器产业株式会社