专利名称：一种pecvd加热器反射板装置的制作方法
技术领域：
本发明属于光伏玻璃工艺设备领域，具体涉及一种PECVD加热器反射板装置。
背景技术：
目前，于PECVD沈积设备加热器背面皆放置一片反射板，随着沈积薄膜温度越来越高的要求，加热器的极限温度也不断升高，一片反射板方式的加热器不仅在阻隔热能散失的功能上达不到要求，同时热源会以辐射热能的方式向腔壁扩散，使真空腔内温度控制难度增加，也使的需要在真空腔壁外需要布置大量水路来冷却逐渐发热的真空腔壁，为了使真空腔内达到需要调节的温度，只有通过提升加热器功率或增设多组加热器来达成，此举增加了设备开发成本。
发明内容
综上所述，为了克服现有技术不足，本发明的主要目的在于提供一种PECVD加热器反射板装置，它利用不向刚表面抛光处理使热源可有向的反射，同时利用多层次的方式增加热阻，有效地阻隔热源向真空腔壁扩散。
为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案是:
一种PECVD加热器反射装置，包括3层不锈钢表面抛光处理板装置于加热器后方，固定于等高柱凹槽，使层与层之间保持IOmm的间隔。本发明有益效果为:
1.本发明利用表面抛光不锈钢板，结构简单。2.本发明利用等高柱凹槽固定每层不锈钢板，拆卸方便。
图1系为本发明结构示意图。图2系为不锈钢板结构示意图。主要组件符号说明
1...加热器
2...不锈钢板组
3...固定等高柱，共21个
21...第一层不锈钢板
22...第二层不锈钢板
23...第三层不锈钢板
具体实施例方式下面结合附图对本发明做进一步说明。请参阅图1所示，一种PECVD加热器反射板装置，其包括托加热器主体I及不锈钢板2组成，不锈钢板2上有两个大小不同且部分重叠的圆总成的固定孔，可固定不锈钢板于等闻柱3上。请参阅图2所示，一种PECVD加热器反射板装置，其中不锈钢板有3层组成，第一层21至于等闻柱3凹槽最如方，其次为第_■层22,位于等闻柱3中间部分的凹槽，最后为第3层23，位于等高柱3最后部分的凹槽，层与层间间隔10mm，增加热阻，可有效阻隔热能
向真空腔壁扩散。以上所述实例是对本发明技术方案的说明而非限制，所属技术领域普通技术人员的等同替换或者根据现有技术而做的修改，只要未超出本发明技术方案的思路和范围，均应包含在本发明的权利要 求范围之内。
权利要求
1.一种PECVD加热器反射板装置，它由以不锈钢板组成。
2.根据权利要求1所述之一种PECVD加热器反射板装置，其特征在于所述的不锈钢板表面抛光处理。
3.根据权利要求1所述之一种PECVD加热器反射板装置，其特征在于所述的不锈钢板以3层方式堆叠在加热器后方，层与层间隔10mm。
全文摘要
本发明系提供一种PECVD加热器反射板装置，它由以不锈钢表面抛光处理的金属板，通过多层次的装置，有效阻隔辐射热向加热器反方向的扩散，可有效阻隔热源加热真空腔壁进而可减少腔壁冷却源的布置数量的目的。
文档编号H05B3/22GK103200711SQ20121000094
公开日2013年7月10日 申请日期2012年1月5日 优先权日2012年1月5日
发明者周文彬, 刘幼海, 刘吉人 申请人:吉富新能源科技(上海)有限公司