专利名称：一种太阳能电池扩散用源瓶的制作方法
技术领域：
本发明涉及ー种源瓶，尤其涉及一种太阳能电池扩散用源瓶。
背景技术：
常规扩散炉在采用P0C13 (三氯氧磷)扩散制PN结时，由于生产过程中源量的不断消耗而使源量液位降低，气体携帯P0C13的能力降低。常规源瓶结构刚开始的液位为100mm，结束时的液位为20mm，液位落差(比值)=100/20=5，对扩散方块电阻的影响为8-12 Q/ □;对于这种情况，一般通过频繁的エ艺修改或调整等手段将扩散方块电阻控制在制程以内；因此，这为エ艺的稳定、エ艺配方的修改或保存及调用带来麻烦，容易产生管理和控制混乱，造成エ艺监瞀不利或エ艺的错误调用，为生产带来极大损失。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种能够避免エ艺的重复修改或调整，使生产制程更加稳定可靠的太阳能电池扩散用源瓶。为了解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的一种太阳能电池扩散用源瓶，包括由耐高温玻璃熔融而成的外瓶，外瓶顶部设置有贯通其内外的进气口和出气ロ，所述位于外瓶内的进气ロ末端设置有玻璃导管，所述外瓶内设置有隔层，玻璃导管串通隔层底部。为了提高源量利用率，进ー步地，所述隔层至少有三个。为了提高整个系统源瓶的密封性，进ー步地，所述进气口和出气口上端呈凹槽形。为了防止进气ロ所进气体产生气泡，再进ー步地，所述隔层上设置有气孔。为了更好的防止产生气泡，更进一歩地，所述气孔直径为8_。与现有技术相比，本发明的有益之处是这种太阳能电池扩散用源瓶优化较易实现，具有实践意义，同时提高源瓶内三氯氧磷的利用率，优化后的源瓶不会增加额外负担或工作，对エ艺稳定性有较好的控制。
下面结合附图对本发明进ー步说明。图I是本发明一种太阳能电池扩散用源瓶内部结构示意 图2是图I中A的局部放大图。图中1、外瓶；2、进气ロ； 3、出气ロ； 4、玻璃导管；5、隔层；6、气孔。
具体实施例方式 下面结合附图及具体实施方式
对本发明进行详细描述
图I所示一种太阳能电池扩散用源瓶，包括由耐高温玻璃熔融而成的外瓶1，保证了源瓶的长期重复使用而不易变形；所述外瓶I顶部设置有贯通其内外的进气ロ 2和出气ロ 3，在进气ロ 2和出气ロ 3的上端采用凹槽设计，此设计能提高整个系统源瓶的密封性，使源瓶更安全，也有利于エ艺稳定；所述位于外瓶I内的进气ロ 2末端设置有玻璃导管4,外瓶I内至少设置有三层隔层5，所述玻璃导管4串通隔层5底部；如图2所示，为了防止进气ロ 2进入的气体产生气泡影响，所述隔层5上设置有直径为8_的气孔6。工作时，进气ロ 2作为携带气体通ロ(如氮气/氩气等性质比较稳定的气体)，通过玻璃导管4深入源瓶内三氯氧磷液体的下部，气体携帯部分三氯氧磷分子，经由出气ロ 3将磷源带入高温石英管内进行扩散；由于在源瓶内设置了隔层5，因此同时添加的隔层5占用了一部分体积，使得源瓶内三氯氧磷总剩余量降低，即源量利用率提高。 优化后的源瓶刚开始的液位为100mm，结束时的液位为20mm，中间隔层增加的路程 42+70*2 ^ 182mm，液位落差(比值) (100+182)/ (20+182) ^ I. 4，对扩散方块电阻的影响为1-3 Q / ロ。因此，这种太阳能电池扩散用源瓶优化较易实现，具有实践意义，同时提高源瓶内三氯氧磷的利用率，优化后的源瓶不会增加额外负担或工作，将源量由之前的5:1落差降为I. 3 I. 5之间,对エ艺稳定性有较好的控制。需要强调的是以上仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。
权利要求
1.一种太阳能电池扩散用源瓶，包括由耐高温玻璃熔融而成的外瓶(1)，外瓶(I)顶部设置有贯通其内外的进气口(2)和出气口(3)，所述位于外瓶(I)内的进气口(2)末端设置有玻璃导管(4)，其特征在于所述外瓶(I)内设置有隔层(5)，玻璃导管(4)串通隔层(5)底部。
2.根据权利要求I所述的太阳能电池扩散用源瓶，其特征在于所述隔层(5)至少有三个。
3.根据权利要求I所述的太阳能电池扩散用源瓶，其特征在于所述进气口(2)和出气口(3)上端呈凹槽形。
4.根据权利要求I所述的太阳能电池扩散用源瓶，其特征在于所述隔层(5)上设置有气孔(6)。
5.根据权利要求4所述的太阳能电池扩散用源瓶，其特征在于所述气孔(6)直径为8mm ο
全文摘要
本发明公开了一种太阳能电池扩散用源瓶，包括由耐高温玻璃熔融而成的外瓶，外瓶顶部设置有贯通其内外的进气口和出气口，所述位于外瓶内的进气口末端设置有玻璃导管，所述外瓶内设置有隔层，玻璃导管串通隔层底部；所述隔层至少有三个；所述进气口和出气口上端呈凹槽形；所述隔层上设置有气孔；所述气孔直径为8mm。本发明的优点是，这种太阳能电池扩散用源瓶优化较易实现，具有实践意义，同时提高源瓶内三氯氧磷的利用率，优化后的源瓶不会增加额外负担或工作，对工艺稳定性有较好的控制。
文档编号C30B31/16GK102628190SQ201210098210
公开日2012年8月8日 申请日期2012年4月6日 优先权日2012年4月6日
发明者刘志敏, 钱小锋, 闻明 申请人:南京远景新能源有限公司