专利名称：Psg清洗机携液轮的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种湿法刻蚀装置，尤其涉及一种PSG清洗机携液轮。
背景技术：
现在太阳能电池行业内，去磷硅玻璃刻蚀工序所用的方式为干法刻蚀和湿法刻。当然湿法刻蚀为水上漂式，传统水上漂式的刻蚀存在着很多问题1，过刻现象；2.由于是水上漂式的，药液消耗很大；3.刻蚀面积大，在到达碱槽区域内，出现了严重的结晶现象，堵住风刀，使得电池转换效率偏低，不得不返工，造成资源的浪费和生产的返工。
发明内容本实用新型目的是为克服上述现有技术的不足，提供一种PSG清洗机携液轮。为实现上述目的，本实用新型采用下述技术方案一种PSG清洗机携液轮，包括安装在刻蚀槽中的多个滚轮，每个滚轮上安装有多个携液轮，携液轮的表面沿周向方向设有若干个锯齿形槽。携液轮内孔开有内槽，内槽内安装有将携液轮固定在滚轮上0型圈。通过这两种不同的方式(携液轮携带化学品对硅片背面进行腐蚀及在硅片扩散面形成水膜覆盖)，来达到电池片正负极绝缘的目的。携液式的原理，其方法是由传动轮带动携液轮，携液轮将携带的化学药液粘附在硅片背面，达到刻蚀的目的。PSG清洗机携液轮的应用利用携液轮代替传统的水上漂，主要利用携液轮把液带到硅片背面进行刻蚀，根据需求设计出不同长度的携液轮，其组合性较强，适合产品的多元化生产，能达到去PSG的目的，使用携液轮刻蚀，一方面可以避免硅片过刻，另一方面，使用携液轮可以满足生产多元化的需求，且调整时间是更换滚轮的时间的1/5，可以大大节省因更换及维护传动轮对生产时间造成的影响。因此，使用携液轮完全适应清洗机的日常维护。我们现在设计的携液轮式的刻蚀，现在已经得到我公司的实际试用，其原理就是将扩散后的硅片放在传动轴中传动，扩散面朝上，并在扩散面上用水膜覆盖，达到保护扩散面的目的，当硅片进入到刻蚀区内，携液轮就会携带化学药液将没有扩散一面的PN结刻断的方法，而水膜保护那一面不受到任何的破坏。本实用新型的有益效果是，携液轮有几大优势刻蚀均匀性好，工艺易调整由于是携液式，不受泵流量的影响，因此刻蚀均匀性好，工艺伸缩性强，2.节省化学药液，不言而喻，携液式肯定节约药液，3刻蚀面积随意调整，而不会造成过刻或是刻不通的影响，同时我们将携液轮设计成宽度不一的尺寸，使不同规格的携液轮组合成使用性较强的组合体，可根据不同的产品需求进行调整，从而达到无需更换传动轮就可以满足生产需求，维护成本低。
[0012]图I是本实用新型携液轮结构示意图；图2是图I实线圈内部分局部放大图；图3是本实用新型的装配图。其中I.滚轮，2.齿轮，3.携液轮，4.0型圈，5.硅片，6.锯齿形槽。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。如图I所示，一种PSG清洗机携液轮，包括安装在刻蚀槽中的多个滚轮I，滚轮I设有齿轮2，每个滚轮I上安装有7个携液轮3，携液轮3的表面沿周向方向设有若干个锯齿形槽6。携液轮3内孔开有内槽，内槽内安装有将携液轮3固定在滚轮上0型圈4。携液轮制作把携液轮3制作成如图I所示的零件，安装在滚轮I上，携液轮3表面设有若干个锯齿形槽6，通过处理达到可携带药液的能力，携液轮3内孔开有内槽，用来安装0型圈4，通过0型圈4于滚轮配合，0型圈4是用来确定携液轮3在滚轮I上的位置。原理就是将扩散后的硅片5放在传动轴中传动，扩散面朝上，并在扩散面上用水膜覆盖，达到保护扩散面的目的，当硅片5进入到刻蚀区内，携液轮3就会携带化学药液将没有扩散一面的PN结刻断的方法，而水膜保护那一面不受到任何的破坏。注意事项$根据传动轮长度，将携液轮制作成一定规格尺寸；:f将制好的携液轮装入传动轮上；③将需要安装的传动轮安装到清洗机内固定好关上视窗；④打开清洗开关，投硅片实验片；S取出实验片，检查、称重，检查方块电阻等等，确认无误后投入生产使用。
权利要求1.一种PSG清洗机携液轮，其特征是，包括安装在刻蚀槽中的多个滚轮，每个滚轮上安装有多个携液轮，携液轮的表面沿周向方向设有若干个锯齿形槽。
2.如权利要求I所述的PSG清洗机携液轮，其特征是，携液轮内孔开有内槽，内槽内安装有将携液轮固定在滚轮上的O型圈。
专利摘要本实用新型公开了一种PSG清洗机携液轮，包括安装在刻蚀槽中的多个滚轮，每个滚轮上安装有多个携液轮，携液轮的表面沿周向方向设有若干个锯齿形槽。本实用新型的携液轮有几大优势刻蚀均匀性好，工艺易调整由于是携液式，不受泵流量的影响，因此刻蚀均匀性好，工艺伸缩性强，2.节省化学药液，不言而喻，携液式肯定节约药液，3刻蚀面积随意调整，而不会造成过刻或是刻不通的影响，同时我们将携液轮设计成宽度不一的尺寸，使不同规格的携液轮组合成使用性较强的组合体，可根据不同的产品需求进行调整，从而达到无需更换传动轮就可以满足生产需求，维护成本低。
文档编号C30B33/10GK202465879SQ20122003480
公开日2012年10月3日 申请日期2012年2月3日 优先权日2012年2月3日
发明者张允良, 杨毓, 王冬松, 王朝辉, 王步峰, 邢国政 申请人:润峰电力有限公司