炉壁冷却结构及使用该炉壁冷却结构的晶体生长炉的制作方法

文档序号:8168292阅读:405来源:国知局
专利名称:炉壁冷却结构及使用该炉壁冷却结构的晶体生长炉的制作方法
技术领域
本实用新型涉及晶体生长炉冷却技术领域,尤其涉及一种炉壁冷却结构,同时还涉及使用该炉壁冷却结构的晶体生长炉。
背景技术
目前市场上提供的晶体生长炉(如单晶炉)的炉壁冷却结构为内嵌导流板结构,也就是在晶体生长炉的内外炉壁之间的夹层中在上下方向上间隔平行设置有若干层导流板,相邻两层导流板之间的流道的溢流口和入水口相互重合,使得从炉壁底部流入内、外炉壁之间夹层中的冷却用水经由各个流道从炉壁顶部开设的出水口溢出,但是由于每个流道的溢流口和入水口之间均具有两条可相互连通的通道,也就是流道不能给冷却用水提供导向,只能通过冷却用水在流道内的堆积才能从溢流口流出,因而在冷却用水注满整个内、夕卜炉壁之间的夹层后,流至炉壁中部位置处的冷却用水流的流速会显著减小,而晶体生长炉在炉壁的中心位置处温度较高,因而在炉壁的中部位置处的冷却用水中常常会出现大量气泡,且这些气泡只能缓慢的在水流的推动下从出水口排出,甚至在多个气泡合并后会卡滞在上下相邻两个导流板之间,从而使得冷却用水中出现憋气的情况,使得炉壁中部位置处的散热不均匀,进而导致晶体生长炉的生产效率降低,使用寿命缩短。

实用新型内容本实用新型的目的是提供一种炉壁中部散热均匀的炉壁冷却结构,同时还提供了一种使用该炉壁冷却结构的晶体生长炉,旨在解决现有技术中炉壁中部容易憋气的问题。为了实现以上目的,本实用新型所采用的技术方案是:本实用新型的炉壁冷却结构的技术方案如下:炉壁冷却结构,包括夹设在内、外炉壁之间的导流板,所述导流板绕设在内炉壁上,并在上下方向上沿螺旋绕向延伸。所述导流板的下方设有与导流板围成的流道连通的进水口,所述导流板的上方设有与导流板围成的流道连通的出水口。本实用新型的晶体生长炉的技术方案如下:晶体生长炉,包括内、外炉壁以及内、外炉壁之间设置的炉壁冷却结构,所述炉壁冷却结构包括夹设在内、外炉壁之间的导流板,所述导流板绕设在内炉壁上,并在上下方向上沿螺旋绕向延伸。所述导流板的下方设有与导流板围成的流道连通的进水口,所述导流板的上方设有与导流板围成的流道连通的出水口。本实用新型将导流板绕设在内炉壁上,并使导流板在上下方向上沿螺旋绕向延伸,从而在使用过程中,导流板围成的流道为连通进、出水口的单向通道,使得从进水口流入流道内的冷却用水不需要分流,而是在流道的导流作用下从溢流口流出,从而使得在炉壁中部位置处产生的气泡能够及时随冷却用水从出水口流出,不会出现在炉壁中部位置处出现憋气的问题,进而解决了现有技术中炉壁中部容易憋气的问题。

图1是本实用新型的实施例的结构示意图。
具体实施方式
本实用新型的晶体生长炉的实施例:如图1所示,该晶体生长炉包括内、外炉壁1、2以及处于内、外炉壁1、2之间的炉壁冷却结构,所述炉壁冷却结构包括夹设在内、外炉壁
1、2之间的导流板3、外炉壁2的底部开设的进水口 4、外炉壁2的顶部开设的出水口 5,该导流板3在内炉壁的外周上沿螺旋绕向延伸,从而使得导流板3将内炉壁之间的夹层分割为自下而上螺旋延伸的流道,且进水口 4处于流道的下端起始位置处,出水口 5处于流道上部末端位置处。本实用新型在使用时,每个流道均为从入水口 4通向出水口 5的单向通道,使得从进水口 4流入流道内的冷却用水不需要分流,而是在流道的导流作用下从出水口 5流出,从而使得在炉壁中部位置处产生的气泡能够及时随冷却用水从出水口 5流出,不会出现在炉壁中部位置处出现憋气的问题,进而解决了现有技术中炉壁中部容易憋气的问题。本实用新型的炉壁冷却结构的实施例:如图1所示,在上述实施例中,关于炉壁冷却结构已经详细说明,因此在本实施例中不再赘述。
权利要求1.壁冷却结构,包括夹设在内、外炉壁之间的导流板,所述导流板绕设在内炉壁上,并在上下方向上沿螺旋绕向延伸,所述导流板的下方设有与导流板围成的流道连通的进水口,所述导流板的上方设有与导流板围成的流道连通的出水口,其特征在于,进水口处于流道的下端起始位置处,出水口处于流道上部末端位置处,且所述导流板围成的流道为连通进、出水口的单向通道。
2.体生长炉,包括内、外炉壁以及内、外炉壁之间设置的炉壁冷却结构,所述炉壁冷却结构包括夹设在内、外炉壁之间的导流板,所述导流板绕设在内炉壁上,并在上下方向上沿螺旋绕向延伸,所述导流板的下方设有与导流板围成的流道连通的进水口,所述导流板的上方设有与导流板围成的流道连通的出水口,其特征在于,进水口处于流道的下端起始位置处,出水口处于流道上部末端位置处,且所述导流板围成的流道为连通进、出水口的单向通道。
专利摘要本实用新型公开了一种炉壁冷却结构及使用该炉壁冷却结构的晶体生长炉,该炉壁冷却结构将导流板绕设在内炉壁上,并使导流板在上下方向上沿螺旋绕向延伸,从而在使用过程中,导流板围成的流道为连通进、出水口的单向通道,使得从进水口流入流道内的冷却用水不需要分流,而是在流道的导流作用下从溢流口流出,从而使得在炉壁中部位置处产生的气泡能够及时随冷却用水从出水口流出,不会出现在炉壁中部位置处出现憋气的问题,进而解决了现有技术中炉壁中部容易憋气的问题。
文档编号C30B35/00GK202928361SQ20122034305
公开日2013年5月8日 申请日期2012年7月16日 优先权日2012年7月16日
发明者张博, 赵东 申请人:登封市蓝天石化光伏电力装备有限公司
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