专利名称：一种利于定向凝固的散热平台的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及多晶硅铸锭炉技术领域，尤其是多晶硅铸锭炉热场保温技术领域。
技术背景 多晶硅铸锭炉隔热笼包括顶板、底板和四周的侧板,且隔热笼侧板分为上下两部分和内外两层，隔热笼上部分内侧隔热板离侧面加热器较近且隔热板为石墨碳毡材料，长时间高温烧烤后隔热板会出现严重粉化；当隔热笼侧板上下运动时，侧板与顶板书摩擦使粉化的石墨粉滑落。长此下去侧面内侧隔热板就会变薄，进而影响隔热笼的整体保温效果，导致运行时加热功率増加和热场的温度梯度出现不均匀，从而导致硅锭长晶时出现阴影。滑落的石墨粉进入粉化的硅液中，使硅锭的碳化物严重超标。为了保证炉子的正常使用和硅锭的质量指标，隔热笼上部分内侧保温板使用I年左右就需要更换。这样，无疑増加了成本，且在一定程度上影响生产进度。因此解决好此问题很有必要。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供ー种利于定向凝固的散热平台。为了达到上述目的，本实用新型的技术方案是，ー种利于定向凝固的散热平台陶瓷石墨结构支撑柱位置平台四角，有效避开热均衡器散热位置，开关结构位于支撑柱内側，不用额外开孔来避开支撑柱；按照散热位置的实际需求对散热平台做切削打磨处理，使中心部位散热加快，周边呈现蓄热保温效果。根据坩埚底部尺寸对石墨平台进行切削，并使切削后的平台更加符合晶体垂直生长所需的热场梯度变化，实现对晶体生长过程的温度梯度控制。所述散热平台中心厚度减薄，平台中心向外呈现阶梯状(或平滑)增厚。所述支撑柱采用专利“一种陶瓷石墨结构的支撑柱”，改变原来三根支撑方式为四角支撑。本实用新型与现有技术相比，具有以下优点一、散热平台中心厚度减薄，平台中心向外呈现阶梯状(或平滑)增厚，以便增加平台散热面积，并使得中心部位较周边相比減少蓄热能力与蓄热量，能够快递反映到坩埚底部，以使得中心点散热较边缘加快，形成从中心向边缘散热的过程，从而使得炉内籽晶得到良好的保护的同吋，使得晶体生长过程得到有效控制，晶体生长垂直性得到优化ニ、支撑柱采用专利“ー种混合材质的支撑柱”，改变原来三根支撑方式为四角支撑使得石墨平台更加容易调整，并使下部散热的均衡性得到提高，避开了原设计中石墨柱支撑点靠近中心位置，下部开关设计在支撑柱内侧既可完成开合及散热效果，下部保温处理更加易于处理，从而増加了保温效果达到节能效果。
[0010]图1、图2为本实用新型的结构示意图；图3、图4、图5、图6为本实用新型的其它形状的阶梯状散热平台示意图。
具体实施方式
以下结合结构示意图对本实用新型作进ー步详细说明。图1、图2为本实用新型的结构示意图，如图1、图2所示，散热平台I为阶梯状分布，其底部1-1经切削处理为槽型(或穹顶)结构，上部为石墨构件1-2，増加平台散热面积，并使得中心部位较周边相比減少蓄热能力与蓄热量；四角为支撑柱2，使得石墨平台更加容易调整，并使下部散热的均衡性得到提高；在平台两边预留叉车插入口 3，利于铸锭后的处理工作；。图3、图4、图5、图6为实用新型的其它形状的阶梯状散热平台示意图。
权利要求1.一种利于定向凝固的散热平台，其特征是散热平台底部(1-1)为中间高四周低的阶梯结构；陶瓷石墨结构支撑柱(2)位于散热平台四角。
2.根据权利要求1所述的一种利于定向凝固的散热平台，其特征在于中心向外的阶梯结构，包括外圆内方、外圆内圆、外方内方、外方内圆、多边形结构；内部切削方式以阶梯状为主，包括阶梯深浅分布、平滑过渡的切削方式。
3.根据权利要求1所述的一种利于定向凝固的散热平台，其特征在于开关结构位于支撑柱⑵内侧。
专利摘要一种利于定向凝固的散热平台，中心厚度减薄，平台中心向外呈现阶梯状(或平滑)增厚，以便增加平台散热面积，并使得中心部位较周边相比减少蓄热能力与蓄热量，能够快速反映到坩埚底部，以使得中心点散热较边缘加快，形成从中心向边缘散热的过程从而使得炉内籽晶得到良好保护的同时，使得晶体生长过程得到有效控制，晶体生长垂直性得到优化。同时配合专利“一种陶瓷石墨结构的支撑柱”，改变原来三根支撑方式，改为四角支撑，使得石墨平台更加容易调整，并使下部散热的均衡性得到提高，避开了原设计中石墨柱支撑点靠近中心位置，下部开关设计在支撑柱内侧既可完成开合并达到所需的散热效果；有效解决了原来石墨支撑柱对运动隔板的影响，使得下部保温装置更加易于处理，从而增加了保温效果达到节能效果。
文档编号C30B28/06GK202881447SQ201220417069
公开日2013年4月17日 申请日期2012年8月13日 优先权日2012年8月13日
发明者王有林, 张春庆, 王星, 王水林 申请人:王有林