专利名称：一种磷化铟生长材料烘烤炉的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种烘烤装置，更具体地说，本实用新型涉及一种磷化铟生长材料烘烤炉。
背景技术：
磷化铟已成为一种制造微波器件和光电集成电路的重要半导体材料。为了能够提高磷化铟生长材料的质量，改善其电学性质，研究和控制磷化铟单晶生长和热处理过程所产生的缺陷是一条重要的途径。近几年来，高温退火处理方法被用于降低磷化铟单晶中的残留热应力、改善晶片的电学均匀性和制备半绝缘磷化铟材料。根据磷化铟晶体生长需求，烘烤炉在温度和时间上要求严苛，需要专门设计烘烤炉以满足所需的精度的要求，以获得高质量的磷化铟生长材料。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种磷化铟生长材料所需烘烤炉，以获得高质量的磷化铟生长材料。本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的:提供一种磷化铟生长材料烘烤炉，包括烘烤炉外套、绝缘陶瓷件、加热棒及石英管。所述烘烤炉外套由两个一端封口的翻盖中空夹套组成，夹套升温时盖紧，降温时打开，可节省生产时间；夹套外壁由不锈钢制作；夹套内嵌有绝缘陶瓷件及加热棒，加热棒为石墨电阻加热棒，其通过绝缘陶瓷件平行均匀排列固定在夹套内壁；石墨电阻加热棒分8组，每组中的石墨电阻由三根加热棒相互串联在一起，每组石墨电阻加热棒单独控制；石墨电阻加热棒的粗细、长短可根据炉体最高加热温度和炉体大小确定；不锈钢外壁与绝缘陶瓷件之间填充有隔热材料，以起保温作用。所述石英管一端封口，另一端开口，与真空抽取系统连接时能将烤出来的副产物和杂质能及时的排出。本实用新型的有益效果是:提供的磷化铟生长材料烘烤炉控温精准，升降温速度快，使生产时间大为降低。而且以一端封口石英管作为炉腔，使炉腔系统密封性得到保证，与真空抽取系统连接时能将烤出来的副产物和杂质能及时的排出，使磷化铟生长材料的质量得到保证。
附图是本实用新型的结构示意图。图中:外套1、加热棒2、石英管3、绝缘陶瓷件4。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。参见附图，本实用新型包括:包括烘烤炉外套1、加热棒2、绝缘陶瓷件4及石英管3。所述烘烤炉外套I由两个一端封口的翻盖中空夹套组成，夹套升温时盖紧，降温时打开，可节省生产时间；夹套外壁由不锈钢制作；夹套内嵌有绝缘陶瓷件4及加热棒2，加热棒2为石墨电阻加热棒，其通过绝缘陶瓷件4平行均匀排列固定在夹套内壁；石墨电阻加热棒分8组，每组中的石墨电阻由三根加热棒相互串联在一起，每组石墨电阻加热棒单独控制；石墨电阻加热棒的粗细、长短可根据炉体最高加热温度和炉体大小确定；不锈钢外表与绝缘陶瓷件4之间填充有隔热材料，以起保温作用。所述石英管3 —端封口，以便与真空抽取系统连接。
权利要求1.一种磷化铟生长材料烘烤炉，其特征在于:所述烘烤炉包括烘烤炉外套、绝缘陶瓷件、加热棒及石英管。烘烤炉外套由两个一端封口的翻盖中空夹套组成，夹套外壁由不锈钢制作，夹套内嵌有绝缘陶瓷件及加热棒，不锈钢外壁与绝缘陶瓷件之间填充有隔热材料，石英管一端封口，另一端开口。
专利摘要本实用新型涉及一种磷化铟生长材料烘烤炉。所述烘烤炉包括烘烤炉外套1、加热棒2、绝缘陶瓷件4及石英管3。烤炉外套1由两个一端封口的翻盖中空夹套组成，夹套外壁由不锈钢制作，夹套内嵌有绝缘陶瓷件4及加热棒2，石墨电阻加热棒2分8组通过绝缘陶瓷件4平行均匀排列固定在夹套内壁，每组中的石墨电阻由三根加热棒相互串联在一起，每组石墨电阻加热棒单独控制，不锈钢外表与绝缘陶瓷件4之间填充有隔热材料，以起保温作用。石英管3一端封口，以便与真空抽取系统连接。本实用新型磷化铟生长材料烘烤炉控温精准，升降温速度快，炉腔系统密封性好，使磷化铟生长材料的质量得到保证。
文档编号C30B33/02GK202968759SQ20122055940
公开日2013年6月5日 申请日期2012年10月29日 优先权日2012年10月29日
发明者关活明 申请人:台山市华兴光电科技有限公司