专利名称：一种用于蓝宝石晶体炉电极密封的组件的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空设备电极密封，特别是一种用于蓝宝石晶体炉电极密封的组件
技术背景蓝宝石晶体炉为高真空设备，在晶体生长过程中，炉内加热器同过铜电极与炉外供电系统连接，为保证炉内真空度，炉体需要与电极之间进行密封，同时需要保证炉体与电极之间为绝缘状态。一般电极密封结构采用多道胶木环与橡胶0形圈密封，该结构有以下几个缺点:首先胶木部分位于炉内，受炉内高温烘烤容易变形开裂，导致密封实效，需要定期更换；其次电极密封是通过电极侧壁与电极孔内壁之间放置密封圈，密封圈受胶木挤压变形来实现的，由于过电极侧壁与电极孔内壁之间存在0形圈，两者为弹性接触，受力后会产生形变，因此不能很好保证电极与炉体的垂直度，以至于影响内部加热器的放置。
发明内容本实用新型的目的是提供一种用于蓝宝石晶体炉电极密封的组件，该组件结构简单，使用方便，采用本组件后，密封面在炉体外不存在高温问题，因此使用寿命长，不需经常更换，同时能够保证电极与炉体的垂直度。为达到上述发明目的，本实用新型采用以下技术方案:这种用于蓝宝石晶体炉电极密封的组件，它包括圆形绝缘板、0形圈、0形圈以及连接螺钉，所述的圆形绝缘板的两端面分别设有密封槽I，密封槽II，密封槽内分别设有0形圈4、0形圈5，所述的圆形绝缘板两个端面的外圆尺寸分别与电极的台面I1、炉体的电极孔的台面台面I 一致，沿绝缘板轴向中心开有供电极插入的圆孔，在其径向开有至少三个用于连接并固定电极于炉体的通孔，通孔中穿有螺钉，螺钉外围设有绝缘套以及绝缘垫片。所述的通孔(13)的数量为3-6个。所述的圆形绝缘板为橡胶板。本实用新型的优点是:组件结构简单，使用方便，且密封面在炉体外不存在高温问题，因此使用寿命长，不需经常更换，同时能够保证电极与炉体的垂直度。
图1:本实用新型安装使用状态图图2:电极结构示意图图3:真空炉炉体的电极孔结构示意图图4:本实用新型组件中绝缘板结构示意图图1、图2、图3、图4中，I为电极，2为电极孔，3为圆形绝缘板，4为0形圈，5为0形圈,6为绝缘套，7为绝缘垫片,8为螺钉,9为圆通孔,10为台面1,11为螺孔,12为圆孔，13为圆孔，14为密封槽I，15为密封槽II，16为台面II。
具体实施方式
本组件包括:圆形绝缘板3，圆形绝缘板的两端面分别设有密封槽I 14，密封槽
II15，密封槽内分别设有0形圈4、0形圈5，所述的圆形绝缘板两个端面的外圆尺寸分别与电极的台面I1、炉体电极孔的台面I 一致，沿绝缘板轴向中心开有供电极插入的圆孔，在其径向开有至少三个用于连接并固定电极于炉体的通孔，通孔中穿有螺钉，螺钉与电极连接处设有绝缘套以及绝缘垫片。圆形绝缘板两端面设有密封槽，位置位于孔与孔之间。如图4所示。电极和绝缘板通过螺钉与炉体电极孔连接，在密封台面II 16和密封台面I之间放置圆形绝缘板。电极与炉体电极孔保持铅直。电极的一端设有沿径向凸起的密封台面II，台面沿径向开有3个以上对称圆通孔，其孔数与绝缘板相同，如图2所示。炉体电极孔处设有与电极密封台面II尺寸对应的密封台面I，密封台面I对应电极台面II上孔开螺孔，如图3所示。
权利要求1.一种用于蓝宝石晶体炉电极密封的组件，其特征在于:它包括圆形绝缘板(3)、O形圈(4)、O形圈(5)以及连接螺钉(8)，所述的圆形绝缘板的两端面分别设有密封槽I (14)，密封槽II (15)，密封槽内分别设有O形圈(4)、0形圈(5)，所述的圆形绝缘板两个端面的外圆尺寸分别与电极的台面11(16)、炉体的电极孔的台面台面I(IO) —致，沿绝缘板轴向中心开有供电极插入的圆孔(12)，在其径向开有至少三个用于连接并固定电极于炉体的通孔(13)，通孔中穿有螺钉(8)，螺钉⑶外围设有绝缘套(6)以及绝缘垫片(7)。
2.根据权利要求1所述的一种用于蓝宝石晶体炉电极密封的组件，其特征在于:所述的通孔(13)的数量为3-6个。
3.根据权利要求1所述的一种用于蓝宝石晶体炉电极密封的组件，其特征在于:所述的圆形绝缘板为橡胶板。
专利摘要一种用于蓝宝石晶体炉电极密封的组件，它包括圆形绝缘板(3)、O形圈(4)、O形圈(5)以及连接螺钉(8)，所述的圆形绝缘板的两端面分别设有密封槽I(14)，密封槽II(15)，密封槽内分别设有O形圈(4)、O形圈(5)，所述的圆形绝缘板两个端面的外圆尺寸分别与电极的台面II(16)、炉体的电极孔的台面台面I(10)一致，沿绝缘板轴向中心开有供电极插入的圆孔(12)，在其径向开有至少三个用于连接并固定电极于炉体的通孔(13)，通孔中穿有螺钉(8)，螺钉(8)外围设有绝缘套(6)以及绝缘垫片(7)。本实用新型优点是组件简便，且密封面在炉体外不存在高温问题，使用寿命长，不需经常更换。
文档编号C30B29/20GK203034148SQ201220721028
公开日2013年7月3日 申请日期2012年12月24日 优先权日2012年12月24日
发明者李楠, 黎建明, 刘春雷 申请人:北京有色金属研究总院, 有研光电新材料有限责任公司