专利名称：磷扩散炉抽风管缓冲箱的制作方法
技术领域：
本发明涉及半导体分立器件和太阳能电池片的制造领域。
背景技术：
磷扩散是半导体分立器件、集成电路芯片和太阳能电池片制作PN结所必须的一道工艺，目前这道工艺所采用的技术是热扩散技术。半导体分立器件主要用于制造二极管、三极管、功率器件、IGBT及晶闸管等，该系列产品在国内有上百亿的销售额，产能非常庞大。另一方面作为太阳能电池片的用途，硅片运用也非常广泛，全球70%以上的太阳能电池片是使用硅片作为电池片的。2011年已经实现25GW的产能，多晶用量达到18万吨是半导体用量的6倍，因此太阳能的产量比半导体产量更大。国内能够生产太阳能电池硅片厂家约120多家，而能够生产半导体分立器件扩散片的厂家也达到几十家。用于磷扩散的扩散炉每个厂家基本有几十台到上百台，市场需求量很大。目前市场上技术成熟的磷扩散技术主要有三种:1、采用液态三氯氧磷源扩散；2、采用喷涂磷酸水溶液后链式扩散；3、采用磷源纸夹层后链式扩散。这三种磷扩散的方法以液态磷源扩散的方法具有生产效率较高，得到PN结均匀、平整和扩散层表面良好等优点，因此运用范围最广，生产厂家普遍采用该方法进行大批量生产。磷扩散方法的结构图如
图1所示，磷扩散的化学反应方程式如下:
权利要求
1.磷扩散炉抽风管缓冲箱，其特征在于:包括方形的缓冲箱体，所述缓冲箱体后侧壁上设有炉管开口，所述缓冲箱体前侧敞口并设有密封门，所述密封门右侧与缓冲箱体铰接，所述密封门左侧与缓冲箱体之间设有锁闭结构，所述密封门上设有导流结构，所述缓冲箱体右侧壁上设有抽风管开口。
2.根据权利要求1所述的磷扩散炉抽风管缓冲箱，其特征在于:所述密封门上边沿、下边沿及右边沿设有密封条进行密封。
3.根据权利要求2 所述的磷扩散炉抽风管缓冲箱，其特征在于:所述导流结构为密封门左侧边沿的导流槽。
4.根据权利要求3所述的磷扩散炉抽风管缓冲箱，其特征在于:所述锁闭结构包括导流槽中间安装的挂钩及缓冲箱体左侧边对应该挂钩设置的挂扣。
5.根据权利要求1所述的磷扩散炉抽风管缓冲箱，其特征在于:所述缓冲箱为312不锈钢结构，所述缓冲箱内壁涂覆有特氟龙涂层。
全文摘要
本发明公开了一种磷扩散炉抽风管缓冲箱，包括方形的缓冲箱体，所述缓冲箱体后侧壁上设有炉管开口，所述缓冲箱体前侧敞口并设有密封门，所述密封门右侧与缓冲箱体铰接，所述密封门左侧与缓冲箱体之间设有锁闭结构，所述密封门上设有导流结构，所述缓冲箱体右侧壁上设有抽风管开口。本发明的缓冲箱密封门上设有导流结构引导空气进入，因而，可以利用自然空气冷却扩散炉管中排除的尾气，防止熔化抽风管的特氟龙涂层。从而降低了抽风系统的腐蚀速度，避免了气化的三氯氧磷的泄露和中毒事故的发生。
文档编号C30B31/16GK103103619SQ201310018329
公开日2013年5月15日 申请日期2013年1月17日 优先权日2013年1月17日
发明者陈功 申请人:陈功