控制籽晶杆升降的传动装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种控制籽晶杆升降的传动装置，包括托板，在托板上固定支架，在支架上安装丝杆箱体；在所述丝杆箱体内部安装丝杆，在丝杆的上段套设螺母座，螺母座与晶杆支撑板连接；特征是：在所述丝杆下方安装转接轴，在转接轴上安装涡轮，涡轮与蜗杆啮合，蜗杆与伺服电机的动力输出端连接；在所述转接轴的上段套设谐波减速器，在丝杆的下段套设电磁离合器，谐波减速器与电磁离合器通过连接板连接。在所述丝杆的中段套设锥齿轮，锥齿轮外侧的丝杆箱体上连接手轮，手轮的端部齿轮与锥齿轮啮合。本实用新型传动装置结构紧凑，不会出现提拉速度稳定性差、传导振动等问题，可稳定控制籽晶杆的提拉速度。
【专利说明】控制籽晶杆升降的传动装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种控制籽晶杆升降的传动装置，属于晶体生长【技术领域】。
【背景技术】
[0002]随着科学技术的发展，对晶体材料的要求越来越高，这也意味着对晶体材料的生长工艺和生长设备的要求越来越高。晶体生长的提拉速度是人工晶体生长过程中的关键技术之一，特别是在等径阶段高精度且稳定的提拉速度在高质量晶体的生长中起着非常重要的作用。为避免晶体生长过程中拉速过大造成晶格的断裂、因拉速不稳定导致晶体中产生大量严重的生长条纹，影响晶体内在质量，这就要求籽晶杆具有超低速的拉速和较高的稳定性。
[0003]传统的晶体生长炉籽晶杆的升降采用结构简单的传动装置实现，由于传动装置的减速比小，导致籽晶杆提拉速度一直处在较高水平，且传动装置经常会出现稳定性差、易产生传导振动等问题。
【发明内容】
[0004]本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种控制籽晶杆升降的传动装置，减速比大、结构稳定。
[0005]按照本实用新型提供的技术方案，一种控制籽晶杆升降的传动装置，包括托板，在托板上固定支架，在支架上安装丝杆箱体；在所述丝杆箱体内部安装丝杆，在丝杆的上段套设螺母座，螺母座与晶杆支撑板连接；特征是:在所述丝杆下方安装转接轴，在转接轴上安装蜗轮，蜗轮与蜗杆啮合，蜗杆与伺服电机的动力输出端连接；在所述转接轴的上段套设谐波减速器，在丝杆的下段套设电磁离合器，谐波减速器与电磁离合器通过连接板连接。
[0006]在所述丝杆的中段套设锥齿轮，锥齿轮外侧的丝杆箱体上连接手轮，手轮的端部齿轮与锥齿轮啮合。
[0007]在所述丝杆箱体上设有竖直方向的箱体导轨，晶杆支撑板设置在箱体导轨上，可沿箱体导轨上下滑动。
[0008]本实用新型传动装置通过设置蜗轮蜗杆、谐波减速器二级减速系统，使整套传动装置的减速比达到三十万以上，使从伺服电机发出的高转速转换为超低的转速输出，实现精确控制籽晶杆超低提拉速度的目的，适于在晶体生长过程中提供籽晶杆的超低速提拉，从而提高晶体成品率。同时，本实用新型装置还设置有手动控制装置，通过手轮不经过减速系统来控制籽晶杆实现较高的提拉速度，适于在晶体生长结束后控制籽晶杆的较高速提拉，提高生产效率。本实用新型传动装置结构紧凑，不会出现提拉速度稳定性差、传导振动等问题，可稳定控制籽晶杆的提拉速度。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1为本实用新型的结构示意图。[0010]图2为图1的B-B剖视图。
【具体实施方式】
[0011]下面结合具体附图对本实用新型作进一步说明。
[0012]如图1?图2所示:所述控制籽晶杆升降的传动装置包括托板1、支架2、丝杆箱体
3、丝杆4、转接轴5、蜗轮6、蜗杆7、伺服电机8、谐波减速器9、电磁离合器10、连接板11、螺母座12、晶杆支撑板13、箱体导轨14、锥齿轮15、手轮16等。
[0013]如图1所示，本实用新型包括托板1，在托板I上固定支架2，在支架2上安装丝杆箱体3 ;在所述丝杆箱体3内部安装丝杆4，在丝杆4的上段套设螺母座12，螺母座12与晶杆支撑板13连接；在所述丝杆4下方安装转接轴5，在转接轴5上安装蜗轮6，蜗轮6与蜗杆7啮合，蜗杆7与伺服电机8的动力输出端连接；在所述转接轴5的上段套设谐波减速器9，在丝杆4的下段套设电磁离合器10，谐波减速器9与电磁离合器10通过连接板11连接;
[0014]在所述丝杆4的中段套设锥齿轮15，锥齿轮15外侧的丝杆箱体3上连接手轮16，手轮16通过齿轮与锥齿轮15啮合，带动锥齿轮15转动，从而手动带动丝杆4转动；
[0015]在所述丝杆箱体3上设有竖直方向的箱体导轨14，晶杆支撑板13设置在箱体导轨14上，可沿箱体导轨14上下滑动。
[0016]本实用新型的工作过程:伺服电机8提供本实用新型所述传动装置的动力，通过蜗轮6和蜗杆7将动力传至转接轴5，转接轴5上套设有谐波减速器9，蜗轮6蜗杆7、谐波减速器9的二级减速系统使整套传动装置的减速比达到三十万以上，使从伺服电机发出的高转速转换为超低的转速输出，实现精确控制籽晶杆超低提拉速度的目的，适于在晶体生长过程中提供籽晶杆的超低速提拉，从而提高晶体成品率。同时，本实用新型装置还设置有手动控制装置，通过手轮16不经过减速系统来控制籽晶杆实现较高的提拉速度，适于在晶体生长结束后控制籽晶杆的较高速提拉，提高生产效率。本实用新型传动装置结构紧凑，不会出现提拉速度稳定性差、传导振动等问题，可稳定控制籽晶杆的提拉速度。
【权利要求】
1.一种控制籽晶杆升降的传动装置，包括托板(1)，在托板(I)上固定支架(2)，在支架(2)上安装丝杆箱体(3);在所述丝杆箱体(3)内部安装丝杆(4)，在丝杆(4)的上段套设螺母座(12)，螺母座(12)与晶杆支撑板(13)连接；其特征是:在所述丝杆(4)下方安装转接轴(5 )，在转接轴(5 )上安装蜗轮(6 )，蜗轮(6 )与蜗杆(7 )啮合，蜗杆(7 )与伺服电机(8 )的动力输出端连接；在所述转接轴(5)的上段套设谐波减速器(9)，在丝杆(4)的下段套设电磁离合器(10 )，谐波减速器(9 )与电磁离合器(10 )通过连接板(11)连接。
2.如权利要求1所述的控制籽晶杆升降的传动装置，其特征是:在所述丝杆(4)的中段套设锥齿轮(15)，锥齿轮(15)外侧的丝杆箱体(3)上连接手轮(16)，手轮(16)的端部齿轮与锥齿轮(15)啮合。
3.如权利要求1所述的控制籽晶杆升降的传动装置，其特征是:在所述丝杆箱体(3)上设有竖直方向的箱体导轨(14)，晶杆支撑板(13)设置在箱体导轨(14)上，可沿箱体导轨(14)上下滑动。
【文档编号】C30B15/20GK203411655SQ201320461145
【公开日】2014年1月29日 申请日期:2013年7月30日 优先权日:2013年7月30日
【发明者】方建东, 杨宁, 孙晓晓, 黄小卫 申请人:元亮科技有限公司