一种单晶硅直拉热场可视热屏装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种单晶硅直拉热场可视热屏装置，包括外热屏和嵌套在外热屏中的内热屏，并且内热屏与外热屏之间为密闭的保温层腔体；所述保温层腔体中设有夹层块，且夹层块紧贴内热屏的外壁和外热屏的内壁；所述外热屏的屏壁底部、夹层块以及内热屏的屏壁底部的相应位置各开有一个观察槽。本实用新型可以对晶体生长过程中熔硅液面位置进行实时观察。内热屏、外热屏和夹层块相互配合，观察者可以通过观察口对固液界面进行观察，内热屏和外热屏可以起到保温的作用，合理控制熔硅固液界面温度梯度。
【专利说明】—种单晶硅直拉热场可视热屏装置【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种单晶硅直拉热场可视热屏装置，用在直拉单晶收尾过程中进行液面位置的测量。
【背景技术】
[0002]现有的单晶硅直拉热场热屏主要用于控制晶体生长时固液界面的纵向温度梯度，但由于增加热屏后阻碍操作者的视线，无法对剩余硅料进行实时监控，会造成熔硅剩料过少无法收尾甚至造成安全事故的情况。
实用新型内容
[0003]本实用新型要解决的技术问题是提供一种单晶硅直拉热场可视热屏装置，对晶体生长过程中熔硅液面位置进行实时观察。
[0004]为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是:一种单晶硅直拉热场可视热屏装置，包括外热屏和嵌套在外热屏中的内热屏，并且内热屏与外热屏之间为密闭的保温层腔体；所述保温层腔体中设有夹层块，且夹层块紧贴内热屏的外壁和外热屏的内壁；所述外热屏的屏壁底部、夹层块以及内热屏的屏壁底部的相应位置各开有一个观察槽。
[0005]其中，所述内热屏和外热屏均为圆台形，且内热屏的轴线和外热屏的轴线一致。
[0006]其中，所述外热屏的底部设有内翻边，内翻边上设有接口槽，内热屏的底部插在接口槽中。
[0007]其中，所述三个观察槽的形状、尺寸均一致。
·[0008]其中，所述夹层块有多个，且沿着保温层腔体的底部均匀分布。
[0009]采用上述技术方案所产生的有益效果在于:本实用新型可以对晶体生长过程中熔硅液面位置进行实时观察。内热屏、外热屏和夹层块相互配合，观察者可以通过观察口对固液界面进行观察，内热屏和外热屏可以起到保温的作用，合理控制熔硅固液界面温度梯度。
【专利附图】
【附图说明】
[0010]图1是本实用新型的结构示意图；
[0011]图2是图1的A-A向剖视图；
[0012]图中:1、内热屏，2、外热屏，3、夹层块，4、观察口。
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细的说明。
[0014]如图1所示，本实用新型为一种单晶硅直拉热场可视热屏装置，包括外热屏2和嵌套在外热屏2中的内热屏I，外热屏2的底部设有内翻边，内翻边上设有接口槽，内热屏I的底部插在接口槽中；内热屏I和外热屏2均为圆台形，且内热屏I的轴线和外热屏2的轴线一致，二者对中配合设置；并且内热屏I与外热屏2之间为密闭的保温层腔体；保温层腔体中设有夹层块3，且夹层块3紧贴内热屏I的外壁和外热屏2的内壁；夹层块3有多个，且沿着保温层腔体的底部均匀分布；外热屏2的屏壁底部、夹层块3以及内热屏I的屏壁底部的相应位置各开有一个观察槽；三个观察槽的形状、尺寸均一致。
[0015]上述内热屏I和外热屏2起到保温的作用，可以合理控制熔硅固液界面温度梯度；内热屏1、外热屏2和夹层块3相互配合，达到可以控制固液界面温度梯度的目的；相应位置的三个观察槽总体上形成一个观察口 4，观察者可以通过观察口 4对固液界面进行观察。
【权利要求】
1.一种单晶硅直拉热场可视热屏装置，包括外热屏(2)和嵌套在外热屏(2)中的内热屏(1)，并且内热屏(I)与外热屏(2)之间为密闭的保温层腔体；其特征在于:所述保温层腔体中设有夹层块(3)，且夹层块(3)紧贴内热屏(I)的外壁和外热屏(2)的内壁；所述外热屏(2)的屏壁底部、夹层块(3)以及内热屏(I)的屏壁底部的相应位置各开有一个观察槽。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅直拉热场可视热屏装置，其特征在于:所述内热屏(I)和外热屏(2)均为圆台形，且内热屏(I)的轴线和外热屏(2)的轴线一致。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅直拉热场可视热屏装置，其特征在于:所述外热屏(2)的底部设有内翻边，内翻边上设有接口槽，内热屏(I)的底部插在接口槽中。
4.根据权利要求1所述的一种单晶硅直拉热场可视热屏装置，其特征在于:所述三个观察槽的形状、尺寸均一致。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅直拉热场可视热屏装置，其特征在于:所述夹层块(3)有多个，且沿着保温层腔体的底部均匀分布。
【文档编号】C30B15/00GK203411654SQ201320482081
【公开日】2014年1月29日 申请日期:2013年8月7日 优先权日:2013年8月7日
【发明者】楚信博, 李宁 申请人:晶伟电子材料有限公司