新型多晶硅铸锭装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种新型多晶硅铸锭装置，它包括炉体、热场结构和支架，其特征是所述的炉体内设有硅液渗漏承接装置和热场结构，且硅液渗漏承接装置设在热场结构下部，支架设在炉体上，这样因某些意外原因而流出的液态硅就不会流到炉体上，而是漏在了热场结构下部的硅液渗漏承接装置内，避免炉体烧毁而引发的安全事故，本实用新型得到的一种新型多晶硅铸锭装置，结构简单，装置稳定牢固不易损坏，即使石英坩埚破裂炉体和隔热笼也不会被烧毁的，且有专门用于盛装渗漏液态硅的硅液渗漏承接装置，大大提高了工作安全性，不易引发安全事故，适合大范围推广使用。
【专利说明】新型多晶硅铸锭装置
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及一种多晶硅，尤其是新型多晶硅铸锭装置。
【背景技术】
[0002]目前现有的多晶硅铸锭装置的多晶硅炉热场结构下方没有专门用来盛装漏出硅液的装置，例如专利申请号为201110370471.8的中国专利就公布了这样一种多晶硅铸锭装置，这种增加了多晶硅铸锭装置提纯和晶体生长效果，运动轻巧平稳，且操作平稳，但这种多晶硅铸锭装置工作安全性较低，当热场结构内的石英坩埚破裂后，液态的硅就会从石英坩埚和石墨坩埚中流出，且液态的硅会烧毁隔热笼和不锈钢材质的炉体，甚至导致安全事故的发生，造成较大的损失。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的是为了解决上述技术的不足而提供一种工作安全性高的，炉体不易烧毁的新型多晶硅铸锭装置。
[0004]为了达到上述目的，本实用新型所设计的一种新型多晶硅铸锭装置，它包括炉体、热场结构和支架，其特征是所述的炉体内设有硅液渗漏承接装置和热场结构，且硅液渗漏承接装置设在热场结构的热场结构下部，支架设在炉体上，这样因某些意外原因而流出的液态硅就不会流到炉体上，而是漏在了热场结构下部的硅液渗漏承接装置内，避免炉体烧毁而引发的安全事故。
[0005]为了能确保娃液渗漏承接装置的牢固性，使其不易被破裂，娃液渗漏承接装置内还铺设有衬层，衬层上设有凸台，且凸台上设有溢流沟，凸台内设有安装通孔，这样可以避免液态硅从硅液渗漏承接装置的安装通孔中渗漏出去，且当液态硅无意中流到凸台上时，也可通过凸台上的溢流沟流入硅液渗漏承接装置中。
[0006]为了能达到娃的进一步提纯和多晶娃铸淀形成的目的，热场结构包括樹祸和石墨坩埚，石墨坩埚设在坩埚的外部，石墨坩埚的下侧设有石墨冷却块，坩埚的四周设有隔热笼，硅液渗漏承接装置设在隔热笼内且设在石墨冷却块的下方，这样当坩埚由于某些原因破裂后，液态硅可流入硅液渗漏承接装置中，而不会烧毁隔热笼和炉体，并由此引发安全事故。
[0007]为了能在炉体内放置生产装置，硅液渗漏承接装置上设有支撑柱，且支撑柱的支撑柱一端设在炉体的底部，支撑柱的支撑柱另一端设在硅液渗漏承接装置的安装通孔内，且支撑柱穿过硅液渗漏承接装置和隔热笼支撑在石墨冷却块的下方，这样就可通过支撑柱在炉体内设置热场结构、隔热笼和硅液渗漏承接装置。
[0008]为了让硅液渗漏承接装置更为牢固，且可承受液态硅的高温，衬层为陶瓷层或石墨层，坩埚为石英坩埚，炉体为不锈钢材质，且硅液渗漏承接装置上设有一个以上的凸台，炉体的底部也设有一个以上的支撑柱，这样可使整个装置更为稳定，且大大降低了安全隐患。[0009]本实用新型得到的一种新型多晶硅铸锭装置结构简单，装置稳定牢固不易损坏，即使石英坩埚破裂炉体和隔热笼也不会被烧毁的，且有专门用于盛装渗漏液态硅的硅液渗漏承接装置，大大提高了工作安全性，不易引发安全事故，适合大范围推广使用。
【专利附图】
【附图说明】
[0010]图1是本实用新型的侧面剖视图；
[0011]图2是本实用新型硅液渗漏承接装置结构示意图。
[0012]图中:炉体1、热场结构2、支架3、硅液渗漏承接装置4、热场结构下部5、衬层6、凸台7、溢流沟8、安装通孔9、樹祸10、石墨相'祸11、石墨樹祸下侧13、石墨冷却块14、隔热笼16、支撑柱18、支撑柱一端19、支撑柱另一端21。
【具体实施方式】
[0013]下面通过实施例结合附图对本实用新型作进一步的描述。
[0014]实施例1
[0015]如图1和图2所示，本实施例描述的一种新型多晶硅铸锭装置，包括炉体1、热场结构2和支架3，所述的炉体I内设有硅液渗漏承接装置4和热场结构2，且硅液渗漏承接装置4设在热场结构2的热场结构下部5，支架3设在炉体I上，硅液渗漏承接装置4内还铺设有衬层6，衬层6上设有凸台7，且凸台7上设有溢流沟8，凸台7内设有安装通孔9，热场结构2包括樹祸10和石墨樹祸11，石墨樹祸11设在樹祸10的外部，石墨樹祸11的石墨坩埚下侧13设有石墨冷却块14，坩埚10的四周设有隔热笼16，硅液渗漏承接装置4设在隔热笼16内且设在石墨冷却块14的下方，硅液渗漏承接装置4上设有支撑柱18，且支撑柱18的支撑柱一端19设在炉体I的底部，支撑柱18的支撑柱另一端21设在硅液渗漏承接装置4的安装通孔9内，且支撑柱18穿过硅液渗漏承接装置4和隔热笼16支撑在石墨冷却块14的下方，衬层6为陶瓷层或石墨层，坩埚10为石英坩埚，炉体I为不锈钢材质，且硅液渗漏承接装置4上设有一个以上的凸台7，炉体I的底部也设有一个以上的支撑柱18。
【权利要求】
1.一种新型多晶硅铸锭装置，它包括炉体(1)、热场结构(2)和支架(3)，其特征是所述的炉体(1)内设有硅液渗漏承接装置(4)和热场结构(2)，且硅液渗漏承接装置(4)设在热场结构(2 )的热场结构下部(5 )，支架(3 )设在炉体(1)上；所述的硅液渗漏承接装置(4)内铺设有衬层(6 )，衬层(6 )上设有凸台(7 )，且凸台(7 )上设有溢流沟(8 )，凸台(7 )内设有安装通孔(9);所述的热场结构(2)包括坩埚(10)和石墨坩埚(11)，石墨坩埚(11)设在坩埚(10)的外部，石墨樹祸(11)的石墨樹祸下侧(13)设有石墨冷却块(14), ?甘祸(10)的四周设有隔热笼(16)，硅液渗漏承接装置(4)设在隔热笼(16)内且设在石墨冷却块(14)的下方。
2.根据权利要求1所述的新型多晶硅铸锭装置，其特征是所述的硅液渗漏承接装置 (4)上设有支撑柱(18)，且支撑柱(18)的支撑柱一端(19)设在炉体(1)的底部，支撑柱(18)的支撑柱另一端(21)设在硅液渗漏承接装置(4 )的安装通孔(9 )内，且支撑柱(18 )穿过硅液渗漏承接装置(4 )和隔热笼(16 )支撑在石墨冷却块(14 )的下方。
3.根据权利要求1和2所述的新型多晶硅铸锭装置，其特征是所述的衬层(6)为陶瓷层或石墨层，坩埚(10)为石英坩埚，炉体(1)为不锈钢材质，且硅液渗漏承接装置(4)上设有一个以上的凸台(7)，炉体(1)的底部也设有一个以上的支撑柱(18)。
【文档编号】C30B29/06GK203668551SQ201320721348
【公开日】2014年6月25日 申请日期:2013年11月13日 优先权日:2013年11月13日
【发明者】张亚剑 申请人:宁波天琪电子有限公司