一种用于蓝宝石炉的籽晶旋转提拉机构的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种用于蓝宝石炉的籽晶旋转提拉机构，该籽晶旋转提拉机构包括支座，在支座上侧安装有导向轴装置，导向轴装置与联接机构联接，联接机构左侧装有小炉盖提拉装置，联接机构右侧装有籽晶杆提拉限位装置，联接机构前方装有籽晶提拉装置，籽晶提拉装置上方装有旋转驱动装置、称重装置、调冷心装置及拉杆水冷系统，拉杆水冷系统上连接有磁性流体密封装置及焊接金属波纹管。本实用新型的籽晶旋转提拉机构，可以实现蓝宝石炉的自动引晶，具有速度稳定均匀、提拉旋转过程震动小的优点。
【专利说明】—种用于蓝宝石炉的籽晶旋转提拉机构
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种蓝宝石长晶炉，具体涉及一种用于蓝宝石长晶炉的籽晶旋转提拉机构。
【背景技术】
[0002]自1890年法国化学家维尔纳叶(Verneuil.A)首次人工制成蓝宝石晶体，迄今人工生长蓝宝石的研究已有100多年的历史。在此期间，为了适应科学技术的发展和工业生产对于蓝宝石晶体质量、尺寸、形状的特殊要求，为了提高蓝宝石晶体的成品合格率、利用率以及降低生产成本，对蓝宝石的生长方法及其相关理论进行了大量的研究，发明了许多新技术，至今已具有较高的技术水平和较大的生产能力。相应的，为之配套服务的蓝宝石晶体生长设备一单晶炉也随之得到了飞速的发展。随着蓝宝石晶体应用市场的急剧膨胀，其设备和技术也在上世纪末取得了迅速的发展。
[0003]低成本、高质量地生长大尺寸蓝宝石单晶已成为当前面临的迫切任务。目前国内大多数采用KY法晶体生长工艺，这种工艺的关键技术点在于引晶，引晶质量好坏直接影响晶体的质量。传统的KY法技术其籽晶旋转机构简单，基本上靠手动操作，并且不够稳定，其工艺掌握程度很大程度上依赖于操作者的实践经验，并且操作者劳动任务大，引晶质量不稳定；因此有必要开发一种改进的用于蓝宝石长晶炉的籽晶旋转提拉机构，以提高引晶质量的稳定性，提闻监宝石晶体的质量，降低生广成本，提闻生广效率。
【发明内容】
[0004]本实用新型提供的一种蓝宝石炉用籽晶旋转提拉机构，其目的在于实现蓝宝石炉的自动引晶，提闻引晶质量的稳定性。
[0005]为实现上述目的，本实用新型提供了一种用于蓝宝石炉的籽晶旋转提拉机构，包括支座，在支座上侧安装有导向轴装置，导向轴装置与联接机构联接，联接机构左侧装有小炉盖提拉装置，联接机构右侧装有籽晶杆提拉限位装置，联接机构前方装有籽晶提拉装置，籽晶提拉装置上方装有旋转驱动装置、称重装置、调冷心装置及拉杆水冷系统。拉杆水冷系统上连接有磁性流体密封装置及焊接金属波纹管。
[0006]较佳地，所述支座主材选用为方钢，方钢规格为180X180X8t。
[0007]较佳地，所述导向轴装置由推力球轴承、导向轴、固定环及铜合金无油衬套组合构成。
[0008]较佳地，所述籽晶提拉装置采用行星减速机及谐波减速机串联实现高减速比，所述籽晶提拉装置丝杆导轨采用智能组合单元。
[0009]较佳地，所述调冷心装置由上、中、下三层XY轴移动平台及两组垂直放置的直线导轨组合而成，调整螺钉为塑料滚花铜螺钉。
[0010]较佳地，所述拉杆水冷系统包括籽晶杆水冷套管外管、籽晶杆水冷套管内管及铜旋转接头，所述籽晶杆水冷套管外管的旋转水冷通过连接铜旋转接头实现，所述籽晶杆水冷套管外管末端焊接有铜螺套。
[0011]较佳地，所述焊接金属波纹管在长度方向上均布隔环，隔环间距为10(Tl50mm。
[0012]较佳地，所述称重装置为双称重模块，两个称重模块沿籽晶杆圆心均布。
[0013]本实用新型具有速度稳定均匀、提拉旋转过程震动小的优点，能够提高引晶质量的稳定性，提闻监宝石晶体的质量。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]图1是本实用新型提供的籽晶旋转提拉机构结构图。
[0015]图2是本实用新型提供的籽晶旋转提拉机构结构图。
[0016]附图标记:1.焊接金属波纹管；2.磁性流体密封装置；3.调冷心装置；4.称重装置；5.旋转驱动装置；6.拉杆水冷系统；7.籽晶提拉装置；8.联接机构；9.小炉盖提拉装置；10.导向轴装置；11.支座。
【具体实施方式】
[0017]下面结合附图，对本实用新型的【具体实施方式】进行说明。
[0018]如图1、图2所示，本实用新型蓝宝石炉用籽晶旋转提拉机构，包括支座11，置于所述支座上侧的导向轴装置10，与所述导向轴装置联接的联结机构8，置于所述联结机构左侧的小炉盖提拉装置9，置于所述联接机构前方的籽晶提拉装置7，置于所述籽晶提拉装置的智能组合单元滑块上的调冷心装置3，置于所述调冷心装置上的称重装置4，置于所述称重装置4上的拉杆水冷系统6，与所述拉杆水冷系统中水冷套管外管连接的旋转驱动装置5，与所述拉杆水冷系统连接的磁性流体密封装置2，与所述磁性流体密封装置连接的焊接金属波纹管I。以上部件组成了如图1所示的蓝宝石炉籽晶旋转提拉机构。
[0019]进一步的，焊接金属波纹管I在长度方向上均布隔环。
[0020]进一步的，称重装置为双称重模块，两个称重模块沿籽晶杆圆心均布。
[0021]本实施例的工作过程是:旋转驱动装置5中包含伺服电机，启动伺服电机通过同步带及同步带轮同步驱动水冷套管外管，水冷套管外管连接有籽晶，从而实现籽晶的旋转。籽晶提拉装置7包含伺服电机，启动伺服电机通过两级减速机后再由联轴器驱动丝杆导轨智能组合单元中丝杆滑块升降，滑块升降带动调冷心装置3以及拉杆水冷系统6升降，从而带动籽晶的升降。
[0022]利用本籽晶旋转提拉机构，可以实现蓝宝石炉的自动引晶，具有速度稳定均匀、提拉旋转过程震动小的优点。
【权利要求】
1.一种用于蓝宝石炉的籽晶旋转提拉机构，其特征在于，包括支座，在所述支座上侧安装有导向轴装置，所述导向轴装置与联接机构联接，联接机构左侧装有小炉盖提拉装置，联接机构右侧装有籽晶杆提拉限位装置，联接机构前方装有籽晶提拉装置，所述籽晶提拉装置上方装有旋转驱动装置、称重装置、调冷心装置及拉杆水冷系统，所述拉杆水冷系统上连接有磁性流体密封装置及焊接金属波纹管。
2.根据权利要求1所述的籽晶旋转提拉机构，其特征在于，所述支座主材选用为方钢，方钢规格为180X180X8t。
3.根据权利要求1所述的籽晶旋转提拉机构，其特征在于，所述导向轴装置由推力球轴承、导向轴、固定环及铜合金无油衬套组合构成。
4.根据权利要求1所述的籽晶旋转提拉机构，其特征在于，所述籽晶提拉装置采用行星减速机及谐波减速机串联实现高减速比。
5.根据权利要求4所述的籽晶旋转提拉机构，其特征在于，所述籽晶提拉装置丝杆导轨采用智能组合单元。
6.根据权利要求1所述的籽晶旋转提拉机构，其特征在于，所述调冷心装置由上、中、下三层XY轴移动平台及两组垂直放置的直线导轨组合而成，调整螺钉为塑料滚花铜螺钉。
7.根据权利要求1所述的籽晶旋转提拉机构，其特征在于，所述拉杆水冷系统包括籽晶杆水冷套管外管、籽晶杆水冷套管内管及铜旋转接头。
8.根据权利要求7所述的籽晶旋转提拉机构，其特征在于，所述籽晶杆水冷套管外管的旋转水冷通过连接铜旋转接头实现，所述籽晶杆水冷套管外管末端焊接有铜螺套。
9.根据权利要求1所述的籽晶旋转提拉机构，其特征在于，所述焊接金属波纹管在长度方向上均布隔环，隔环间距为10(Tl50mm。
10.根据权利要求1所述的籽晶旋转提拉机构，其特征在于，所述称重装置为双称重模块，两个称重模块沿籽晶杆圆心均布。
【文档编号】C30B15/30GK203569234SQ201320722777
【公开日】2014年4月30日 申请日期:2013年11月18日 优先权日:2013年11月18日
【发明者】朱晓龙, 茅陆荣, 李严州, 李广敏, 邱萍 申请人:上海森松压力容器有限公司