用于硅片扩散的石英舟的制作方法
【专利摘要】一种用于硅片扩散的石英舟，其特征在于，包括舟架、挡板和横梁，所述舟架为长方形，在其一端设置有挂鼻，所述挡板固定在挂鼻与舟架交界处，挡板上设置有若干通孔；每两个相邻所述横梁为一组硅片座，在每一组硅片座的横梁内侧相对设置有弧形卡槽。本发明可使硅片横向放置在舟架上，保证气体顺畅流通，提高了硅片扩散效率和质量；每两个相邻横梁上都可以放置硅片，提高了单个石英舟盛放硅片的数量；通过挡板与三角形挂鼻的配合，方便石英杆对石英舟的推拉操作。
【专利说明】用于硅片扩散的石英舟
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种硅片扩散工艺中用的石英舟。
【背景技术】
[0002] 硅片扩散工艺是将硅片放入高温扩散炉中，通以氮气和P0CL3等气体，在高温下 分解后在硅片表面形成P-N结。高温扩散炉的管道为石英材料的圆形管道，扩散时，首先将 硅片放在石英舟上，然后用石英杆或金属杆将石英舟送入管道中进行烘烤。目前的石英舟 都是纵向排列硅片的，由于气体在管道中横向流通，因此纵向排列的硅片对气体有阻挡，影 响硅片的扩散，而且，现有的石英舟的一端仅有一个圆环，在用带钩的石英杆或金属杆将石 英舟从管道中拉出时，石英杆或金属杆上的钩很难对准圆环，而且盲目的操作杆子可能会 损坏石英舟和硅片。
【发明内容】
[0003] 为了克服上述现有技术存在的缺点，本发明的目的在于提供一种可横向排列硅 片，方便用石英杆推拉的用于硅片扩散的石英舟。
[0004] 为了解决上述问题，本发明采用以下技术方案：一种用于硅片扩散的石英舟，其特 征在于，包括舟架、挡板和横梁，所述舟架为长方形，在其一端设置有挂鼻，所述挡板固定在 挂鼻与舟架交界处，挡板上设置有若干通孔；每两个相邻所述横梁为一组硅片座，在每一组 硅片座的横梁内侧相对设置有弧形卡槽。
[0005] 进一步的，在所述舟架的前后两端的底部设置有支架，所述支架的底部为与高温 扩散炉的管道相配合的弧形。
[0006] 优选的，所述挂鼻为三角形。
[0007] 本发明的有益效果是：硅片可以横向放置在舟架上，保证气体顺畅流通，提高了硅 片扩散效率和质量；每两个相邻横梁上都可以放置硅片，提高了单个石英舟盛放硅片的数 量；通过挡板与三角形挂鼻的配合，方便石英杆对石英舟的推拉操作。
【专利附图】
【附图说明】
[0008] 下面结合附图和实施例对本发明做进一步的说明： 图1为本发明的俯视图； 图2为本发明的左视图； 图3为本发明的主视图； 图4为图1中沿A-A的剖视图。
[0009] 图中，1舟架、11挂鼻、12支架、2挡板、21通孔、3横梁、31弧形卡槽、4硅片座。
【具体实施方式】
[0010] 下面结合附图对本发明做进一步详细说明： 如图1至图4所示，本发明的具体实施例包括舟架1、挡板2和横梁3。
[0011] 所述舟架1为长方形，在其一端设置有挂鼻11，所述挡板2固定在挂鼻11与舟架 1交界处，挡板2上设置有若干通孔21，通孔21的作用是保证高温扩散炉的管道内的气体 流畅。当然，舟架1的两端均可以设置一个挂鼻11和挡板2。优选的，所述挂鼻11设计成 三角形，这样，石英杆上的挂钩可以很容易的勾住挂鼻11。挡板2的作用既可以防止石英杆 在勾取石英舟时碰到硅片，将硅片碰掉，也可以挡住石英杆，使其正好落入挂鼻11内。
[0012] 每两个相邻所述横梁3为一组娃片座4,在每一组娃片座4的横梁3内侧相对设置 有弧形卡槽31，当圆形娃片放在娃片座4上后，正好卡入左右两侧的横梁3的弧形卡槽31 内。如图1所示，横梁3左右两侧的弧形卡槽31为间隔设置，这样可以最大限度的利用横 梁的空间，使三根横梁3即可组成两组硅片座4,使石英舟上放置更多的硅片。
[0013] 为了保证管道内的气流可以从石英舟的上下两侧通过，在所述舟架1的前后两端 的底部设置有支架12,所述支架12的底部为与高温扩散炉的管道相配合的弧形，弧形的底 部可以保证石英舟稳固的放置在管道内。此外，加上支架12还有另一个作用：当直径比较 小的硅片放在硅片座4上时，如果没有支架12,硅片的底部可能会与管道接触，造成硅片不 稳固，甚至倾倒。
[0014] 以上所述只是本发明的优选实施方式，对于本【技术领域】的普通技术人员来说，在 不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也被视为本发 明的保护范围。
【权利要求】
1. 一种用于硅片扩散的石英舟，其特征在于，包括舟架、挡板和横梁，所述舟架为长方 形，在其一端设置有挂鼻，所述挡板固定在挂鼻与舟架交界处，挡板上设置有若干通孔；每 两个相邻所述横梁为一组硅片座，在每一组硅片座的横梁内侧相对设置有弧形卡槽。
2. 根据权利要求1所述的用于硅片扩散的石英舟，其特征在于，在所述舟架的前后两 端的底部设置有支架，所述支架的底部为与高温扩散炉的管道相配合的弧形。
3. 根据权利要求1所述的用于硅片扩散的石英舟，其特征在于，所述挂鼻为三角形。
【文档编号】C30B31/14GK104103563SQ201410350811
【公开日】2014年10月15日 申请日期:2014年7月23日 优先权日:2014年7月23日
【发明者】陈文学 申请人:济南晶博电子有限公司