一种用于多晶硅铸锭的氩气供给装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种用于多晶硅铸锭的氩气供给装置。氩气在汽化过程中会吸收大量的热量，而这些冷量通常不会进行利用。本实用新型提供一种用于多晶硅铸锭的氩气供给装置，包括炉区、氩气罐、蒸发器和冷水空调机组，所述氩气罐与蒸发器通过一号管路连接，所述一号管路上设有控制阀，所述蒸发器与炉区通过二号管路连接，所述冷水空调机组与蒸发器通过三号管路连接，其特征在于：还包括保温水池和一号水泵，所述保温水池位于蒸发器的下方，所述保温水池与冷水空调机组通过四号管路连接，所述一号水泵设置在四号管路上。本实用新型结构简单，设计合理，保证氩气正常供应，有效利用能量，有效降低装置整体的能耗。
【专利说明】-种用于多晶硅铸锭的氩气供给装置
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种用于多晶硅铸锭的氩气供给装置。
【背景技术】
[0002] 多晶铸锭炉是当今用于多晶硅铸锭生产的主要设备，因其产量高、成本低的优势， 目前已取代单晶炉设备，是光伏行业上游产品生产制造的主要设备。
[0003] 多晶硅铸锭炉的生产工艺是：将多晶硅原料装入经过氮化硅喷涂处理过的石英陶 瓷坩埚里面，送入多晶硅铸锭炉，抽掉炉腔内的空气后加热，在惰性气体氩气的保护下加热 至1550度熔化，待熔化结束后降温至一定温度，缓慢提升隔热笼，通过定向凝固块散热使 坩埚中的液态多晶硅料形成垂直温度梯度，由坩埚底部开始自下向上结晶凝固，至液态硅 料全部结晶凝固完毕后经过退火、冷却等过程，完成多晶硅铸锭生产。其中，氩气通常采用 氩气罐进行供气，而氩气罐内的氩气为液态氩气，因而需要将液态氩气汽化后才能使用，而 在汽化过程中会吸收大量的热量，而这些冷量通常不会进行利用，造成了浪费。 实用新型内容
[0004] 本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的上述不足，而提供一种结构设计合 理，保证氩气正常供应，有效利用能量，有效降低装置整体的能耗的用于多晶硅铸锭的氩气 供给装置。
[0005] 本实用新型解决上述问题所采用的技术方案是：该用于多晶硅铸锭的氩气供给装 置，包括用于多晶硅铸锭的炉区、用于存放液态氩气的氩气罐、用于将液态氩气汽化的蒸发 器和用于对炉区进行冷却的冷水空调机组，所述氩气罐与蒸发器通过一号管路连接，所述 一号管路上设有控制阀，所述蒸发器与炉区通过二号管路连接，所述冷水空调机组与蒸发 器通过三号管路连接，其特征在于：还包括保温水池和用于将保温水池中的水供给冷水空 调机组的一号水泵，所述保温水池位于蒸发器的下方，所述保温水池与冷水空调机组通过 四号管路连接，所述一号水泵设置在四号管路上。液态氩气在蒸发器内汽化，从而吸收大 量的热量，冷水空调机组排出的热水经过蒸发器时，其热量被蒸发器吸收，从而变成冷水， 并从蒸发器滴入到保温水池中，一号水泵将保温水池中的冷水抽到冷水空调机组进行热交 换，冷水空调机组对炉区进行冷却，从而可充分利用液态氩气汽化时产生的冷量，有效利用 能量，降低装置整体的能耗。
[0006] 本实用新型还包括二号水泵，所述二号水泵设置在四号管路上，所述二号水泵与 一号水泵并联设置。由于水泵需持续工作，因而经常需要检修，一号水泵和二号水泵可交替 使用，从而可保证装置整体持续工作，提高生产效率。
[0007] 本实用新型与现有技术相比，具有以下优点和效果：结构简单，设计合理，液态氩 气在蒸发器内汽化，从而吸收大量的热量，冷水空调机组排出的热水经过蒸发器时，其热量 被蒸发器吸收，从而变成冷水，并从蒸发器滴入到保温水池中，水泵将保温水池中的冷水抽 到冷水空调机组进行热交换，冷水空调机组对炉区进行冷却，从而可充分利用液态氩气汽 化时产生的冷量，有效利用能量，降低装置整体的能耗。
【专利附图】
【附图说明】
[0008] 图1是本实用新型实施例中用于多晶硅铸锭的氩气供给装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0009] 下面结合附图并通过实施例对本实用新型作进一步的详细说明，以下实施例是对 本实用新型的解释而本实用新型并不局限于以下实施例。
[0010] 实施例。
[0011] 参见图1，本实施例中的用于多晶硅铸锭的氩气供给装置包括用于多晶硅铸锭的 炉区1、用于存放液态氩气的氩气罐2、用于将液态氩气汽化的蒸发器3、用于对炉区1进行 冷却的冷水空调机组4、一号管路5、二号管路6、三号管路7、四号管路8、保温水池9、一号 水泵10和二号水泵11。
[0012] 本实施例中的氩气罐2与蒸发器3通过一号管路5连接，一号管路5上设有控制阀 51，控制阀51可控制氩气的供给及氩气供给流量，蒸发器3与炉区1通过二号管路6连接， 冷水空调机组4与蒸发器3通过三号管路7连接，保温水池9位于蒸发器3的下方，保温水 池9与冷水空调机组4通过四号管路8连接，一号水泵10设置在四号管路8上，液态氩气在 蒸发器3内汽化，从而吸收大量的热量，冷水空调机组4排出的热水经过蒸发器3时，其热 量被蒸发器3吸收，从而变成冷水，并从蒸发器3滴入到保温水池9中，一号水泵10将保温 水池9中的冷水抽到冷水空调机组4进行热交换，冷水空调机组4对炉区1吹冷风进行冷 却，从而可充分利用液态氩气汽化时产生的冷量，有效利用能量，降低装置整体的能耗。本 实施例中的保温水池9具有保温作用，防止冷量流失。
[0013] 本实施例中的二号水泵11设置在四号管路8上，二号水泵11与一号水泵10并联 设置，由于水泵需持续工作，因而经常需要检修，一号水泵10和二号水泵11可交替使用，从 而可保证装置整体持续工作，提高生产效率。
[0014] 此外，需要说明的是，本说明书中所描述的具体实施例，其零、部件的形状、所取名 称等可以不同，本说明书中所描述的以上内容仅仅是对本实用新型结构及附图所作的举例 说明。凡依据本实用新型专利构思所述的构造、特征及原理所做的等效变化或者简单变化， 均包括于本实用新型专利的保护范围内。本实用新型所属【技术领域】的技术人员可以对所描 述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离本实用新型 的结构或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1. 一种用于多晶硅铸锭的氩气供给装置，包括用于多晶硅铸锭的炉区、用于存放液态 氩气的氩气罐、用于将液态氩气汽化的蒸发器和用于对炉区进行冷却的冷水空调机组，所 述氩气罐与蒸发器通过一号管路连接，所述一号管路上设有控制阀，所述蒸发器与炉区通 过二号管路连接，所述冷水空调机组与蒸发器通过三号管路连接，其特征在于：还包括保温 水池和用于将保温水池中的水供给冷水空调机组的一号水泵，所述保温水池位于蒸发器的 下方，所述保温水池与冷水空调机组通过四号管路连接，所述一号水泵设置在四号管路上。
2. 根据权利要求1所述的用于多晶硅铸锭的氩气供给装置，其特征在于：还包括二号 水泵，所述二号水泵设置在四号管路上，所述二号水泵与一号水泵并联设置。
【文档编号】C30B29/06GK203999912SQ201420443449
【公开日】2014年12月10日 申请日期:2014年8月7日 优先权日:2014年8月7日
【发明者】黄贤强, 沈达军, 何建军, 吴林霞 申请人:浙江溢闳光电科技有限公司