专利名称：电热辐射管辅助加热离子轰击炉的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种采用电热辐射管进行辅助加热的离子轰击炉。
目前的现有技术中，电阻辅助加热离子轰击炉包括炉盖、炉壁及底座组成的真空腔，真空腔内壁设有保温层，辅助加热电阻发热元件，阳极，真空腔中间设有阴极工作台，辅助加热电阻发热元件接有经变压器降压后的交流电源对工件进行辅助加热，阳极及阴极工作台间接入辉光电源，真空腔中充入稀薄气体后在辉光电源电场作用下气体发生电离，正离子在电场作用下轰击与阴极工作台相连的工件将工件加热并产生辉光，同时在工件表面产生活性粒子对工件进行表面处理。现有技术的主要缺点是(1)炉壁夹层与真空腔相通，辅助加热电阻发热元件处于真空中，电阻发热元件引入端的端电压大于1 00伏时将产生真空放电现象而无法工作，因而必须采用变压器将220)伏或380伏的交流电网电压降到100伏以下接入辅助加热电阻发热元件。采用变压器增加了设备的体积重量，增加了制造成本。(2)辅助加热电阻发热元件在炉壁夹层内，设备制造及维修不方便。(3)搁置电阻发热元件的耐火砖体积及重量较大，热容量较大，影响升温速度因而浪费电能并降低了生产效率。
本实用新型的目的是提供一种体积小，重量轻，结构简单，制造成本低，安装维修方便，节能高效的采用电热辐射管进行辅助加热的离子轰击炉。
附图
是电热辐射管辅助加热离子轰击炉示意图。
电热辐射管辅助加热离子轰击炉包括炉盖(1)，炉壁(2)及底座(7)组成的真空腔，真空腔内依次设有保温层(3)，阳极(4)，电热辐射管(5)，真空腔中间设有阴极工作台(6)，炉盖及炉壁也可做为一体而成为钟罩，阳极及阴极工作台之间接有辉光电源(8)，辉光电源可为直流电源或脉冲电源，(9)为工件，(10)为真空泵，(11)为电阻发热元件，采用电热辐射管辅助加热，电热辐射管内的电阻发热元件与220伏或380伏的交流电源联接。电热辐射管的保护套管将电阻发热元件与真空隔离，因而电阻发热元件不产生真空放电现象不必使用现有电阻辅助加热离子轰击炉必须配置的为辅助加热电阻发热元件供电的降压变压器。
工作时接通电热辐射管电源对工件进行辅助加热，启动真空泵，待真空度达到要求后通入所需稀薄气体，启动辉光电源，在辉光电源电场作用下气体发生电离，正离子在辉光电场作用下轰击工件将工件加热并产生辉光，同时在工件表面产生活性粒子对工件进行表面处理。
本实用新型的优点是辅助加热不使用降压变压器从而减小了设备的体积及重量，降低了制造成本。电热辐射管不在炉壁夹层内并且市场上有成品销售因而设备的制造、安装、维修方便。炉壁中只设保温层而不须搁置电阻发热元件的耐火砖，可减少炉壁的体积，重量及热容量，因而可提高升温速度和降温速度，节约电能并提高生产效率。
权利要求1.电热辐射管辅助加热离子轰击炉包括炉盖(1)，炉壁(2)及底座(7)组成的真空腔，真空腔内依次设有保温层(3)，阳极(4)，电热辐射管(5)，真空腔中间设有阴极工作台(6)，炉盖及炉壁也可做为一体而成为钟罩，阳极及阴极工作台之间接有辉光电源(8)，辉光电源可为直流电源或脉冲电源，(9)为工件，(10)为真空泵，(11)为电阻发热元件，其特征是采用电热辐射管辅助加热，电热辐射管内的电阻发热元件与220伏或380伏的交流电源联接。
专利摘要本实用新型涉及一种采用电热辐射管进行辅助加热的离子轰击炉,它包括炉盖、炉壁及底座组成的真空腔,真空腔内设有保温层、阳极,电热辐射管、阴极工作台,炉盖及炉壁也可做为一体而成为钟罩,阳极及阴极工作台之间接有辉光电源。本实用新型的优点是电热辐射管内的电阻发热元件与220伏或380伏的交流电源联接不必使用降压变压器供电,因而体积小重量轻,成本低,高效节能,可用于离子轰击表面处理。
文档编号H05B7/16GK2330137SQ9822082
公开日1999年7月21日 申请日期1998年4月20日 优先权日1998年4月20日
发明者王宁 申请人:王宁