包含板状碳纤维毡基材的绝热件的制作方法
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及包含板状碳纤维毡基材的绝热件。根据本实用新型，能够提供耐 久性良好的高温炉用的绝热件。
【背景技术】
[0002] 作为安装到真空炉、半导体单结晶成长炉、陶瓷烧结炉或C/C复合物烧结炉等高 温炉的炉内的绝热件，通用的是板状的绝热件。这样的高温炉用的绝热件在高温下不发生 物性的劣化是重要的，作为其基材而使用碳纤维毡。作为使用碳纤维毡的板状的绝热件，使 可碳化的树脂含浸到碳纤维毡中，一边将含浸毡层叠压缩一边制造具有目的的厚度和体积 密度的板状的成形绝热件。
[0003] 但是，上述绝热件由于暴露在高温中，所以有在比较短期间中劣化的问题。 【实用新型内容】
[0004] 本实用新型的目的是提供一种能够防止劣化的高温炉用的包含板状碳纤维毡基 材的绝热件。
[0005] 本实用新型者对于劣化较少的高温炉用的包含板状碳纤维毡基材的绝热件进行 了专心研宄，结果吃惊地发现，通过在板状碳纤维毡基材的毡基材的上表面、下表面及侧端 面的至少1个面的一部分或全部具有保护层，能够防止碳纤维毡基材的劣化。
[0006] 本实用新型是基于这样的认识的。
[0007] 因而，本实用新型关于以下这样的绝热件：
[0008] [1] 一种绝热件，是包含烧制成的板状碳纤维毡基材的绝热件，在上述毡基材的上 表面、下表面及侧端面的至少1个面的一部分或全部，具有保护层；（1)上述保护层是从由 包含碳化材及/或石墨粉末的覆盖层、以及上述包含碳化材及/或石墨粉末的覆盖层及包 含热分解碳的覆盖层的组合构成的群中选择的覆盖层；或（2)上述保护层是从由碳纤维织 物层、包含混合碳纤维纺丝的混合碳纤维织物层、石墨薄片层及碳纤维纸构成的群中选择 的至少1个薄片层；或（3)上述保护层是复合层，所述复合层在从由碳纤维织物层、包含混 合碳纤维纺丝的混合碳纤维织物层及碳纤维纸构成的群中选择的至少1个薄片层的表面 上，具有从由包含碳化材及/或石墨粉末的覆盖层、包含热分解碳的覆盖层、以及上述包含 碳化材及/或石墨粉末的覆盖层及包含热分解碳的覆盖层的组合构成的群中选择的覆盖 层。
[0009] [2]如[1]所述的绝热件，上述板状碳纤维毡基材是层叠板状碳纤维毡基材或复合 化层叠碳纤维毡基材，所述层叠板状碳纤维毡基材是将碳纤维毡层叠而成的，所述复合化 层叠碳纤维毡基材是将复合化碳纤维毡层叠而成的，所述复合化碳纤维毡在碳纤维毡的表 面上具有从由石墨薄片、碳纤维纸、碳纤维织物及包含混合碳纤维纺丝的混合碳纤维织物 构成的群中选择的至少1种。
[0010] [3]如[1]或[2]所述的绝热件，上述板状碳纤维毡基材具有侧端面的缺口、上表 面的阶梯、下表面的阶梯、上表面的斜面、下表面的斜面、上表面的斜面及阶梯的组合、下表 面的斜面及阶梯的组合、侧端面的凹陷、或它们的两个以上的组合。
[0011] [4]如[1]~[3]中任一项所述的绝热件，具有碳纤维强化碳复合材料。
[0012] [5]如[1]~[4]中任一项所述的绝热件，板状碳纤维毡基材的上表面、下表面及 侧端面的至少两个面具有不同的保护层。
[0013] 以往，存在在板状碳纤维毡基材的上表面、下表面及侧端面不具有保护层的板状 绝热件。
[0014] 根据本实用新型的绝热件，由于能够防止绝热件的碳纤维毡基材的劣化，所以能 够将高温炉用绝热件的更换的周期(期间）延长。
【附图说明】
[0015] 图1是表示本实用新型的包含方形的板状碳纤维毡基材的绝热件的实施方式的 图。
[0016] 图2是表示本实用新型的包含圆形的板状碳纤维毡基材的绝热件的实施方式的 图。
[0017] 图3是表示本实用新型的包含方形的板状碳纤维毡基材的绝热件的具有上表面 的四边的阶梯的实施方式的图。
[0018] 图4是表示本实用新型的包含方形的板状碳纤维毡基材的绝热件的具有上表面 的一边的阶梯的实施方式的图。
[0019] 图5是表示本实用新型的包含方形的板状碳纤维毡基材的绝热件的具有侧端面 的缺口的实施方式的图。
[0020] 图6是表示本实用新型的包含方形的板状碳纤维毡基材的绝热件的具有上表面 的斜面的实施方式的图。
[0021] 图7是表示本实用新型的包含方形的板状碳纤维毡基材的绝热件的具有下表面 的斜面及阶梯的组合的实施方式的剖视图。
【具体实施方式】
[0022] 本实用新型的绝热件包括烧制成的板状碳纤维毡基材，在上述毡基材的上表面、 下表面及侧端面的至少1个面的一部分或全部具有保护层。在图1中表示本实用新型的实 施方式的1例。图1所示的方形的板状碳纤维毡基材的上表面2是构成毡基材的上表面的 面。此外，下表面3是构成毡基材的下表面的面。进而，侧端面4是构成毡基材的侧面的面。 侧端面4在方形的情况下有4个侧端面。例如，在三角柱的板状碳纤维毡基材的情况下具 有3个侧端面，在五角柱的板状碳纤维毡基材的情况下具有5个侧端面，在六角柱的板状碳 纤维毡基材的情况下具有6个侧端面。
[0023] 图2是表示作为本实用新型的实施方式的1例的圆形的板状碳纤维毡基材的图。 板状碳纤维毡基材的上表面2是构成毡基材的上表面的面。此外，下表面3是构成毡基材 的下表面的面。进而，侧端面4是构成毡基材的侧面的面。
[0024] 在本实用新型所使用的板状碳纤维毡基材中，在上表面、下表面及侧端面的至少1 个面的一部分或全部具有保护层。另外，在具有多个侧端面的板状碳纤维毡基材中，所谓 "侧端面具有保护层"，是指至少1个侧端面具有保护层。在表1中记载了具有保护层的面 和不具有保护层的面的组合的7种实施方式。
[0025] [表 1]
[0026]
【主权项】
1. 一种包含板状碳纤维毡基材的绝热件，其特征在于， 在上述毡基材的上表面、下表面及侧端面的至少1个面的一部分或全部，具有保护层； (1) 上述保护层是从由包含碳化材及/或石墨粉末的覆盖层、以及上述包含碳化材及/ 或石墨粉末的覆盖层及包含热分解碳的覆盖层的组合构成的群中选择的覆盖层；或 (2) 上述保护层是从由碳纤维织物层、包含混合碳纤维纺丝的混合碳纤维织物层、石墨 薄片层及碳纤维纸构成的群中选择的至少1个薄片层；或 (3) 上述保护层是复合层，所述复合层在从由碳纤维织物层、包含混合碳纤维纺丝的混 合碳纤维织物层及碳纤维纸构成的群中选择的至少1个薄片层的表面上，具有从由包含碳 化材及/或石墨粉末的覆盖层、包含热分解碳的覆盖层、以及上述包含碳化材及/或石墨粉 末的覆盖层及包含热分解碳的覆盖层的组合构成的群中选择的覆盖层。
2. 如权利要求1所述的包含板状碳纤维毡基材的绝热件，其特征在于， 上述板状碳纤维毡基材是层叠板状碳纤维毡基材或复合化层叠碳纤维毡基材， 所述层叠板状碳纤维毡基材是将碳纤维毡层叠而成的， 所述复合化层叠碳纤维毡基材是将复合化碳纤维毡层叠而成的，所述复合化碳纤维毡 在碳纤维毡的表面上具有从由石墨薄片、碳纤维纸、碳纤维织物及包含混合碳纤维纺丝的 混合碳纤维织物构成的群中选择的至少1种。
3. 如权利要求1或2所述的包含板状碳纤维毡基材的绝热件，其特征在于， 上述板状碳纤维毡基材具有侧端面的缺口、上表面的阶梯、下表面的阶梯、上表面的斜 面、下表面的斜面、上表面的斜面及阶梯的组合、下表面的斜面及阶梯的组合、侧端面的凹 陷、或它们的两个以上的组合。
4. 如权利要求1或2所述的包含板状碳纤维毡基材的绝热件，其特征在于， 包含板状碳纤维毡基材的绝热件具有碳纤维强化碳复合材料。
5. 如权利要求1或2所述的包含板状碳纤维毡基材的绝热件，其特征在于， 板状碳纤维毡基材的上表面、下表面及侧端面的至少两个面具有不同的保护层。
【专利摘要】本实用新型提供包含板状碳纤维毡基材的绝热件。（1）保护层是从由包含碳化材及/或石墨粉末的覆盖层、以及包含碳化材及/或石墨粉末的覆盖层及包含热分解碳的覆盖层的组合构成的群中选择的覆盖层；或（2）保护层是从由碳纤维织物层、包含混合碳纤维纺丝的混合碳纤维织物层、石墨薄片层及碳纤维纸构成的群中选择的至少1个薄片层；或（3）保护层是复合层，该复合层在从由碳纤维织物层、包含混合碳纤维纺丝的混合碳纤维织物层及碳纤维纸构成的群中选择的至少1个薄片层的表面上，具有从由包含碳化材及/或石墨粉末的覆盖层、包含热分解碳的覆盖层、以及包含碳化材及/或石墨粉末的覆盖层及包含热分解碳的覆盖层的组合构成的群中选择的覆盖层。
【IPC分类】B32B33-00, B32B9-04, F27D1-06
【公开号】CN204547219
【申请号】CN201420570669
【发明人】冈田康, 龟山贵
【申请人】株式会社吴羽
【公开日】2015年8月12日
【申请日】2014年9月30日