一种用于揭除粘贴在抛光盘上抛光布的工装的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及到单晶硅抛光片的生产领域，具体的说是一种用于揭除粘贴在抛光盘上抛光布的工装。
【背景技术】
[0002]单晶硅抛光片是IC行业的基础材料，单晶硅抛光片的加工方法为通过抛光布、抛光液等材料对硅片表面进行化学机械抛光，而抛光布是粘贴在抛光机的抛光盘上的，需定期更换。为保证抛光过程顺利进行，抛光布需非常牢固的粘贴在抛光盘上，以保证抛光硅片质量。而更换抛光布时，又需要将牢固粘贴在抛光盘上的抛光布揭除掉，揭除抛光布较为困难，而目前揭除抛光布还没有一种合适的揭布工具，可以方便、省力的揭除抛光布。
【实用新型内容】
[0003]为解决现有技术中抛光布牢固粘贴在抛光盘上很难揭掉的问题，本实用新型提供了一种用于揭除粘贴在抛光盘上抛光布的工装，可以方便、省力的揭除粘贴在抛光盘上的抛光布，大大提尚生广效率。
[0004]本实用新型为解决上述技术问题采用的技术方案为:一种用于揭除粘贴在抛光盘上抛光布的工装，包括一条形揭除杆，在条形揭除杆上沿其长度长度方向分布有贯通其厚度方向的条形通槽，条形揭除杆的一端设置有接头，接头上设置有连接棘轮扳手的传动方孔和连接加力杆的通孔中的一个或两个，在抛光布的边缘插入条形通槽中时，通过棘轮扳手或加力杆转动揭除杆转动，使抛光布从抛光盘上分离并缠绕在条形揭除杆上。
[0005]所述条形揭除杆为圆形，条形通槽垂直其轴向开设。
[0006]有益效果:本实用新型通过设置一根带有条形通槽的揭除杆，然后在揭除杆的一侧通过传动方孔和通孔与棘轮扳手或加力杆连接，在需要揭除抛光布时，将抛光布的边缘揭起，然后插入到揭除杆的条形通槽内再通过棘轮扳手或加力杆转动揭除杆，使抛光布在揭除杆转动的过程中从抛光盘上揭起并缠绕到揭除杆的表面；本实用新型的结构简单，操作简便，可以方便、快速的揭除粘贴在抛光盘上的抛光布。
【附图说明】
[0007]图1为本实用新型的结构示意图；
[0008]图2为本实用新型接头的结构示意图；
[0009]附图标记:1、条形揭除杆，2、条形通槽，3、接头，301、传动方孔，302、通孔。
【具体实施方式】
[0010]如图所示，一种用于揭除粘贴在抛光盘上抛光布的工装，包括一条形揭除杆1，在条形揭除杆I上沿其长度长度方向分布有贯通其厚度方向的条形通槽2，条形揭除杆I的一端或两端设置有接头3，接头3上设置有连接棘轮扳手的传动方孔301和连接加力杆的通孔302中的一个或两个，在抛光布的边缘插入条形通槽2中时，通过棘轮扳手或加力杆转动揭除杆I转动，使抛光布从抛光盘上分离并缠绕在条形揭除杆I上。
[0011]本实用新型中，所述条形揭除杆I为圆形，材质一般选用金属材质，条形通槽2垂直其轴向开设。
[0012]为了增强揭布的效果，在条形揭除杆I上的条形通槽2两侧分布有毛刺，以便于抛光布更好的缠绕在条形揭除杆I上。
【主权项】
1.一种用于揭除粘贴在抛光盘上抛光布的工装，其特征在于:包括一条形揭除杆(1)，在条形揭除杆(I)上沿其长度长度方向分布有贯通其厚度方向的条形通槽(2)，条形揭除杆(I)的一端或两端设置有接头(3 )，接头(3 )上设置有连接棘轮扳手的传动方孔(301)和连接加力杆的通孔(302)中的一个或两个，在抛光布的边缘插入条形通槽(2)中时，通过棘轮扳手或加力杆转动揭除杆(I)转动，使抛光布从抛光盘上分离并缠绕在条形揭除杆(I)上。2.根据权利要求1所述的一种用于揭除粘贴在抛光盘上抛光布的工装，其特征在于:所述条形揭除杆(I)为圆形，条形通槽(2)垂直其轴向开设。
【专利摘要】一种用于揭除粘贴在抛光盘上抛光布的工装，属于单晶硅抛光片的生产领域，包括一条形揭除杆，在条形揭除杆上沿其长度方向分布有贯通其厚度方向的条形通槽，条形揭除杆的一端设置有接头，接头上设置有连接棘轮扳手的传动方孔和连接加力杆的通孔中的一个或两个，在抛光布的边缘插入条形通槽中时，通过棘轮扳手或加力杆转动揭除杆转动，使抛光布从抛光盘上分离并缠绕在条形揭除杆上。本实用新型的结构简单，操作简便，可以方便、快速的揭除粘贴在抛光盘上的抛光布。
【IPC分类】B32B38/10
【公开号】CN204820604
【申请号】CN201520609277
【发明人】史舸, 赵文龙, 胡晓亮, 高烨, 李宏儒, 张磊
【申请人】麦斯克电子材料有限公司
【公开日】2015年12月2日
【申请日】2015年8月14日