一种可进行高温热处理的双银低辐射镀膜玻璃的制作方法
【专利说明】一种可进行高温热处理的双银低辐射镀膜玻璃 【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种双银低辐射镀膜玻璃，更具体地说是一种可进行高温热处理 的双银低辐射镀膜玻璃。 【【背景技术】】
[0002] 玻璃在当代的生产和生活中扮演着重要角色，镀膜玻璃成为一种良好的玻璃幕墙 材料且得到了广泛应用。而随着现代建筑设计的多样性和唯美性，许多幕墙外观需要有曲 面和弧形设计，但现有的双银低辐射镀膜玻璃热处理前后颜色变化巨大，而且透过率比较 低，生产过程中容易开裂损坏，不能应用在建筑幕墙上。 【【实用新型内容】】
[0003] 本实用新型目的是克服了现有技术的不足，提供一种可进行高温热处理的双银低 辐射镀膜玻璃，其热处理后颜色变化小，透过率较高，能防止玻璃在高温加工时膜层的开 裂，使其保持完整性、均匀性、稳定性，能更好地应用在建筑幕墙上。
[0004] 本实用新型是通过以下技术方案实现的：
[0005] -种可进行高温热处理的双银低辐射镀膜玻璃，包括有玻璃基片1，在所述的玻璃 基片1的复合面上由内到外依次相邻地复合有二十个膜层，其中第一膜层即最内层为SiO2层2,第二膜层为Si3N4层3,第三膜层为AZO层4,第四膜层为Ag层5,第五膜层为NiCrOx 层6,第六膜层为Si3N4层7,第七膜层为AZO层8,第八膜层为Ag层9,第九膜层为NiCrOx 层10,第十膜层为Si3N4层11，第^ 膜层即最外层为ZrNx层12。
[0006] -种制备可进行高温热处理的双银低辐射镀膜玻璃的方法，包括如下步骤：
[0007] (1)磁控溅射SiOJi，采用旋转双阴极SiAl靶，Si :A1比例为90% :10%，工艺气 体为氩气和氧气，氩氧比为I :1. 5 ;
[0008] (2)磁控溅射Si3N4层，采用旋转双阴极SiAl靶，Si :A1比例为90%:10%，工艺气 体为氩气和氮气，氩氮比为1:1. 2 ;
[0009] (3)磁控溅射AZO层，采用陶瓷锌靶在氩氧气氛下溅射，氩氧比为10:1 ;
[0010] (4)磁控溅射Ag层，采用平面阴极溅射，纯氩气状态，气压范围在3X10 3Hibar~ 3. 5 X 10 3mbar ；
[0011] (5)磁控溅射NiCrOx层，采用平面阴极溅射，纯氩气状态，气压范围在 3 X 10 3mbar ~6 X 10 3mba ;
[0012] (6)磁控溅射Si3N4层，采用旋转双阴极SiAl靶，Si :A1比例为90%:10%，工艺气 体为氩气和氮气，氩氮比为1:1. 2 ;
[0013] (7)磁控溅射AZO层，采用陶瓷锌靶在氩氧气氛下溅射，氩氧比为10:1 ;
[0014] (8)磁控溅射Ag层，采用平面阴极溅射，纯氩气状态，气压范围在3X10 3Hibar~ 3. 5 X 10 3mbar ；
[0015] (9)磁控溅射NiCrOx层，采用平面阴极溅射，纯氩气状态，气压范围在 3 X 10 3mbar ~6 X 10 3mbar ;
[0016] (10)磁控溅射Si3N4层，采用旋转双阴极SiAl靶，Si :A1比例为90% :10%，工艺 气体为氩气和氮气，氩氮比为1:1. 2 ;
[0017] (11)磁控溅射ZrNx层，采用旋转双阴极溅射，氩氮比为1:1.2。
[0018] 与现有技术相比，本实用新型有如下优点：
[0019] 1、本实用新型通过对玻璃膜系结构的改进，使其热处理后颜色变化小，透过率较 高，能防止玻璃在高温热处理加工时膜层的开裂，使其保持完整性、均匀性、稳定性，能更好 地应用在建筑幕墙上。
[0020] 2、本实用新型镀在玻璃上的第一层膜二氧化硅层，具备阻挡在高温热处理过程中 玻璃中的钠离子扩散至膜层中的功能。
[0021] 3、本实用新型各膜层均具备耐高温的性能，相邻的不同膜层具有相互阻止扩散的 能力。
[0022] 4、本实用新型通过将银层嵌在有效的阻挡层中间，以避免银膜在高温处理过程中 氧化，使银层在钢化过程中保持其均匀性和光滑性。 【【附图说明】】
[0023] 图1是本实用新型结构示意图。 【【具体实施方式】】
[0024] -种可进行高温热处理的双银低辐射镀膜玻璃，包括有玻璃基片1，在所述的玻璃 基片1的复合面上由内到外依次相邻地复合有二十个膜层，其中第一膜层即最内层为SiO2层2,第二膜层为Si3N4层3,第三膜层为AZO层4,第四膜层为Ag层5,第五膜层为NiCrOx 层6,第六膜层为Si3N4层7,第七膜层为AZO层8,第八膜层为Ag层9,第九膜层为NiCrOx 层10,第十膜层为Si3N4层11，第^ 膜层即最外层为ZrNx层12。
[0025] 所述的第一膜层SiOJl 2是一种酸性氧化物二氧化硅层，为附着力增强层和防止 玻璃中钠离子扩散至整个膜层的基础膜层，第一膜层SiOJl 2层厚为10~20nm。
[0026] 所述的第二膜层Si3N4层3,即氮化硅，为低吸收率电介质膜层，其功能为有效降低 膜层对可见光的反射率，达到高透、低反的效果。第二膜层Si3N4层3的层厚为40~50nm， 所述的第十膜层Si3N4层11的层厚为40~50nm，所述的第六膜层Si 3N4层7的层厚为80~ 100nm〇
[0027] 所述的第三膜层AZO层4为掺铝氧化锌层，为银膜生长层，能将低吸收率电介质层 的膜层平整光滑化，使得银层在平整光滑的基础上形成均匀一致的膜层。第三膜层AZO层 4的层厚为3~5nm，所述的第七膜层AZO层8的层厚为3~5nm。
[0028] 所述的第四膜层Ag层5为低辐射功能膜层银层，能对阳光辐射范围内达到最好吸 收和在红外线范围内得到最高的反射率，第四膜层Ag层5的层厚为8~12nm，所述的第八 膜层Ag层9的层厚为8~12nm〇
[0029] 所述的第五膜层NiCrOx层6为氧化镍铬层，为银层保护层，能保护银层使其不被 氧化，第五膜层NiCrOx层6的层厚为5~15nm，所述的第九膜层NiCrOx层10的层厚为5~ 15nm〇
[0030] 所述的第十一膜层ZrNx层12为氮化锆层，为最外层，具备抗机械损伤能力的保 护层，能避免玻璃在进行高温热处理加工时膜层被破坏，第十一膜层ZrNx层12的层厚为 10 ~25nm〇
[0031] 制备可进行高温热处理的双银低辐射镀膜玻璃的方法，包括如下步骤：
[0032] (1)磁控溅射SiOJl，采用旋转双阴极SiAl靶，Si :A1比例为90% :10%，工艺气 体为氩气和氧气，氩氧比为I :1. 5 ;
[0033] (2)磁控溅射Si3N4层，采用旋转双阴极SiAl靶，Si :A1比例为90%:10%，工艺气 体为氩气和氮气，氩氮比为1:1. 2 ;
[0034] (3)磁控溅射AZO层，采用陶瓷锌靶在氩氧气氛下溅射，氩氧比为10:1 ;
[0035] (4)磁控溅射Ag层，采用平面阴极溅射，纯氩气状态，气压范围在3X10 3Hibar~ 3. 5 X 10 3mbar ；
[0036] (5)磁控溅射NiCrOx层，采用平面阴极溅射，纯氩气状态，气压范围在 3 X 10 3mbar ~6 X 10 3mba ;
[0037] (6)磁控溅射Si3N4层，采用旋转双阴极SiAl靶，Si :A1比例为90%:10%，工艺气 体为氩气和氮气，氩氮比为1:1. 2 ;
[0038] (7)磁控溅射AZO层，采用陶瓷锌靶在氩氧气氛下溅射，氩氧比为10:1 ;
[0039] (8)磁控溅射Ag层，采用平面阴极溅射，纯氩气状态，气压范围在3X10 3Hibar~ 3. 5 X 10 3mbar ；
[0040] (9)磁控溅射NiCrOx层，采用平面阴极溅射，纯氩气状态，气压范围在 3 X 10 3mbar ~6 X 10 3mbar ;
[0041] (10)磁控溅射Si3N4层，采用旋转双阴极SiAl靶，Si :A1比例为90% :10%，工艺 气体为氩气和氮气，氩氮比为1:1. 2 ;
[0042] (11)磁控溅射ZrNx层，采用旋转双阴极溅射，氩氮比为1:1.2。
[0043] 采用本实用新型工艺参数设计出的玻璃其钢化前和钢化后光学性能如下：
[0045] 采用本实用新型的玻璃制成中空间隔为12_的中空玻璃，在UV-3600紫外光分光 光度计上测出数据，按照JGJ/T 151-2008标准计算出来6mmL0W-E玻璃+12A+6mm白玻，其 光学和热学性能如下：
[0046] CN 204869893 U 说明书 4/4 页
[0047] 钢化前后玻璃膜层耐膜性能的对比：
[0050] 可进行高温热处理的双银低辐射镀膜玻璃优点在于其有优越的可加工性能，不易 划伤，不易脱膜，热处理前后的颜色性能变化小，满足高可见光透过和低可见光反射的特征 要求。
[0051] 本玻璃钢化后光学性能变化小，钢化后玻璃的可见光透过率Tvls由48变为54,钢 化后玻璃的可见光玻璃面反射率RciutS 18. 7变为19,钢化后玻璃的玻璃面颜色坐标a*由 0. 8变为1. 8,钢化后玻璃的玻璃面颜色坐标b*由-2. 3变为-3,钢化后玻璃的玻璃面辐射 率由2. 55变为1. 8。
【主权项】
1. 一种可进行高温热处理的双银低辐射镀膜玻璃，包括有玻璃基片（I)，在所述的玻 璃基片（1)的复合面上由内到外依次相邻地复合有二十个膜层，其特征在于：其中第一膜 层即最内层为SiOJi(2)，第二膜层为Si3N4层（3)，第三膜层为AZO层（4)，第四膜层为Ag 层（5)，第五膜层为NiCrOx层(6)，第六膜层为Si3N4层（7)，第七膜层为AZO层（8)，第八膜 层为Ag层（9)，第九膜层为NiCrOx层（10)，第十膜层为Si3N4层（11)，第十一膜层即最外 层为ZrNx层（12)。2. 根据权利要求1所述的可进行高温热处理的双银低辐射镀膜玻璃，其特征在于：所 述的第一膜层SiO2层（2)的层厚为10~20nm〇3. 根据权利要求1所述的可进行高温热处理的双银低辐射镀膜玻璃，其特征在于：所 述的第二膜层Si3N 4层⑶的层厚为40~50nm，所述的第十膜层Si3N4层（11)的层厚为 40~50nm，所述的第六膜层Si 3N4层（7)的层厚为80~100nm。4. 根据权利要求1所述的可进行高温热处理的双银低辐射镀膜玻璃，其特征在于：所 述的第三膜层AZO层⑷的层厚为3~5nm，所述的第七膜层AZO层⑶的层厚为3~5nm〇5. 根据权利要求1所述的可进行高温热处理的双银低辐射镀膜玻璃，其特征在于：所 述的第四膜层Ag层（5)的层厚为8~12nm，所述的第八膜层Ag层（9)的层厚为8~12nm〇6. 根据权利要求1所述的可进行高温热处理的双银低辐射镀膜玻璃，其特征在于：所 述的第五膜层NiCrOx层（6)的层厚为5~15nm，所述的第九膜层NiCrOx层（10)的层厚为 5 ~15nm〇7. 根据权利要求1所述的可进行高温热处理的双银低辐射镀膜玻璃，其特征在于：所 述的第i 膜层ZrNx层（12)的层厚为10~25nm。
【专利摘要】本实用新型公开了一种可进行高温热处理的双银低辐射镀膜玻璃，包括有玻璃基片，在所述的玻璃基片的复合面上由内到外依次相邻地复合有二十个膜层，其中第一膜层即最内层为SiO2层，第二膜层为Si3N4层，第三膜层为AZO层，第四膜层为Ag层，第五膜层为NiCrOx层，第六膜层为Si3N4层，第七膜层为AZO层，第八膜层为Ag层，第九膜层为NiCrOx层，第十膜层为Si3N4层，第十一膜层即最外层为ZrNx层。本实用新型提供一种可进行高温热处理的双银低辐射镀膜玻璃，其热处理后颜色变化小，透过率较高，能防止玻璃在高温加工时膜层的开裂，使其保持完整性、均匀性、稳定性，能更好地应用在建筑幕墙上。
【IPC分类】B32B15/04, B32B9/04, B32B17/06
【公开号】CN204869893
【申请号】CN201520611357
【发明人】周永文, 范亚军, 梁健威, 苏少雄, 苗晓荣
【申请人】中山市格兰特实业有限公司
【公开日】2015年12月16日
【申请日】2015年8月14日