真空热压炉用水冷压头的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及真空热压炉技术领域，具体的说是一种具有高温密封性和高耐压能力的真空热压炉用水冷压头。
【背景技术】
[0002]ITO靶材(氧化铟锡靶材)是生产ITO透明导电膜玻璃真空镀膜的原料，要求在工作压力50T?300T中压、10—1Pa中真空和1600°C?2000°C高温环境下成型。由于耐高温高压压头部件是制取高强度ITO靶材设备的必要部件，该部件的密封性和耐热耐压能力直接影响设备的正常运行。生产该ITO靶材设备的压头承受的最高温度2200°C，最大压力630吨，其对压头部件的强度和密封需要有更高的要求，必须在保证密封性的同时兼具高强度。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的是提供一种真空热压炉用水冷压头，以满足生产ITO靶材真空热压炉的压头所承受的高温、高压的需求。
[0004]为解决上述问题，本实用新型所采取的技术方案为:
[0005]—种真空热压炉用水冷压头，该压头贯穿真空热压炉炉壁上的安装短管，它包括压头本体、压盖，所述压头本体分为压头上部、压头中部和石墨压头三部分，压头上部与压头中部焊接在一起，压头中部与石墨压头通过法兰连接在一起，石墨压头延伸至真空热压炉炉腔内，压头中部的中心设有中心冷水管道，压头中部的侧壁外设有外水套，中心冷水管道的底部通过连通管与外水套相连接，压盖与安装短管的管口通过螺栓相连接。
[0006]作为本实用新型的进一步改进，所述外水套的外壁与安装短管的内壁之间依次填充有两个密封圈、钢套。
[0007]作为本实用新型的更进一步改进，所述两个密封圈之间设有隔环。
[0008]作为本实用新型的更进一步改进，所述密封圈为V型夹织物橡胶密封圈。
[0009]作为本实用新型的更进一步改进，所述压头中部与石墨压头的连接处设有绝热棉。
[0010]作为本实用新型的更进一步改进，所述中心冷水管道的顶部设有进水管、出水管。
[0011]本实用新型在使用时，在中心冷水管道与外水套中注入冷水，既增加了密封圈的冷却效果，又能降低压头本体的温度。
[0012]本实用新型的有益效果为:
[0013](I)本实用新型采用中心冷水管道与外水套的双水冷形式，既增加了密封圈的冷却效果，又能降低压头本体的温度，提高了压头的耐高温特性，延长了密封圈的使用寿命；
[0014](2)本实用新型采用耐高压的V形夹织物橡胶材料的密封圈，保证了压头与真空热压炉炉腔的真空密封性；
[0015](3)本实用新型在压头中部与石墨压头的连接处设有绝热棉，将石墨压头与金属压头隔开，由于绝热棉的抗压特性，其可以在绝热的同时确保整体压头的强度不受影响，降低了真空热压炉在2200°C作业高温时金属压头端部的温度，减少了金属压头在高温时的变形，延长了设备的使用寿命；
[0016](4)本实用新型具有结构紧凑，维护方便的特点。
【附图说明】
[0017]图1是本实用新型的结构不意图；
[0018]图2密封结构的局部放大不意图
[0019]图中:1、压头本体，2、压盖，3、密封圈，4、隔环，5、铜套，6、法兰，7、绝热棉，8、石墨压头，9、压头上部，10、压头中部，11、安装短管，101、中心冷水管道，102、外水套，103、连通管，104、出水管，105、进水管。
【具体实施方式】
[0020]下面结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。
[0021]如图1所示的一种真空热压炉用水冷压头，该压头贯穿真空热压炉炉壁上的安装短管11，它包括压头本体1、压盖2，压头本体I分为压头上部9、压头中部10和石墨压头8三部分，压头上部9与压头中部10焊接在一起，压头中部10与石墨压头8通过法兰6连接在一起，压头中部10与石墨压头8的连接处设有绝热棉7。石墨压头8延伸至真空热压炉炉腔内，压头中部10的中心设有中心冷水管道101，压头中部10的侧壁外设有外水套102，中心冷水管道101的底部通过连通管103与外水套102相连接，顶部设有进水管105，出水管104。
[0022]压盖2与安装短管11的管口通过螺栓相连接。外水套102的外壁与安装短管11的内壁之间依次填充有两个V型夹织物橡胶材料的密封圈3、钢套5。两个密封圈3之间设有隔环4。
[0023]本实用新型在使用时，在中心冷水管道101与外水套102中注入冷水，既增加了密封圈3的冷却效果，又能降低压头本体I的温度。
[0024]本实用新型采用中心冷水管道与外水套的双水冷形式，既增加了密封圈的冷却效果，又能降低压头本体的温度，提高了压头的耐高温特性，延长了密封圈的使用寿命;本实用新型采用耐高压的V形夹织物橡胶材料的密封圈，保证了压头与真空热压炉炉腔的真空密封性。
【主权项】
1.一种真空热压炉用水冷压头，该压头贯穿真空热压炉炉壁上的安装短管(11)，它包括压头本体(I)、压盖(2)，其特征在于:所述压头本体(I)分为压头上部(9)、压头中部(10)和石墨压头(8)三部分，压头上部(9)与压头中部(10)焊接在一起，压头中部(10)与石墨压头(8)通过法兰(6)连接在一起，石墨压头(8)延伸至真空热压炉炉腔内，压头中部(10)的中心设有中心冷水管道(101)，压头中部(10)的侧壁外设有外水套(102)，中心冷水管道(101)的底部通过连通管(103)与外水套(102)相连接，压盖(2)与安装短管(11)的管口通过螺栓相连接。2.根据权利要求1所述的真空热压炉用水冷压头，其特征在于:所述外水套(102)的外壁与安装短管(11)的内壁之间依次填充有两个密封圈(3)、钢套(5)。3.根据权利要求2所述的真空热压炉用水冷压头，其特征在于:所述两个密封圈(3)之间设有隔环(4)。4.根据权利要求2或3所述的真空热压炉用水冷压头，其特征在于:所述密封圈(3)为V型夹织物橡胶密封圈。5.根据权利要求1或2或3所述的真空热压炉用水冷压头，其特征在于:所述压头中部(10)与石墨压头(8)的连接处设有绝热棉(7)。6.根据权利要求5所述的真空热压炉用水冷压头，其特征在于:所述中心冷水管道(101)的顶部设有进水管(105)、出水管(104)。
【专利摘要】本实用新型涉及真空热压炉技术领域，公开了一种真空热压炉用水冷压头，它包括压头本体、压盖，压头本体分为压头上部、压头中部和石墨压头三部分，压头上部与压头中部焊接在一起，压头中部与石墨压头通过法兰连接在一起，石墨压头延伸至真空热压炉炉腔内，压头中部的中心设有中心冷水管道，压头中部的侧壁外设有外水套，中心冷水管道的底部通过连通管与外水套相连接，压盖与安装短管的管口通过螺栓相连接。本实用新型采用中心冷水管道与外水套的双水冷形式，既增加了密封圈的冷却效果，又能降低压头本体的温度，提高了压头的耐高温特性，延长了密封圈的使用寿命；采用V形夹织物橡胶材料的密封圈，保证了设备的真空密封性能。
【IPC分类】F27D9/00
【公开号】CN205300273
【申请号】
【发明人】王顺英, 马强, 李世珍, 李春辉, 张文静, 龙国梁
【申请人】兰州真空设备有限责任公司
【公开日】2016年6月8日
【申请日】2015年12月25日