材料去除的方法和装置的制作方法

文档序号:876675阅读:713来源:国知局
专利名称:材料去除的方法和装置的制作方法
技术领域
本发明涉及一种用激光照射来去除材料的方法及其装置。
背景技术
采用激光束对准物体表面来去除物体表面材料的方法和装置已为人们所熟知。其中有些方法和装置是用激光束对表面进行扫描,对材料进行限定的去除,并有目的地改变物体的几何尺寸。
这种方法的关键是,激光能量施加到去除部位时不能对去除区域、特别是对于对温度敏感的软材料造成严重的热损害。具有特殊意义的是如果要去除的材料湿度很大,而且应该防止材料由于得到能量而变得干燥,以避免材料性能及材料去除条件、诸如去除速度等在去除过程期间产生不希望的变化。
这种情况的例子是,为了用隐形眼镜来矫正人眼的视力,需要加大或减小人工隐形眼镜表面的曲率。但是,在加工死的或活的生物组织,诸如软骨、牙齿硬组织或在眼角膜成型(照相折射角膜切除术)的眼外科手术中,不仅要仔细成型,而且还要保持剩余材料的性能。
在上述应用时,保持材料去除期间去除部位处环境的空气调节条件不变,对于规定材料的去除具有特殊的意义,其中主要取决于材料表面及其周围的温度和湿度。
对于所规定的材料的去除,另外具有意义的还有加到材料处的能量的连续性。因为照射在发射光源和去除部位之间路径上的激光,横穿过自由的大气空间或必要的保护气体,因此在材料去除时产生的废物,诸如烟尘或材料颗粒可能有损于去除部位邻近区域的大气。由于它们横穿过激光束,还能够对激光照射的强度产生不可预知的减弱。
由US 5,344,418可知一种装置,在材料去除设备所产生的激光束的出口附近设置流动通道。在材料去除期间,气体流或空气流从流动通道朝向去除部位流出,以此达到吹跑去除部位烟尘和材料颗粒的目的。但是此时的缺点是,由于气体流和空气流吹涂去除部位处的材料表面,这不仅使表面上已有的湿润薄膜遭到破坏,使其丧失了保护作用,而且还特别使具有保湿、强吸湿作用材料的内部变得不允许的干燥,去除时材料中的水化作用状态也受到不利的影响。
US 5,181,916描述的设备不是吹掉诸如烟尘或材料颗粒等杂质,而是借助于气体流将其吸掉。为此目的而围绕设备的出口同心地设置了一个吸入口,激光束由该设备出来射向去除部位。但是在去除部位上方流动的气体不仅带走了此处材料表面的湿度,而且还至少使去除部位附近的材料变得干燥。
DE 100 20 522 A1描述了在去除生物组织时吸走废料的装置。此处激光束通过一个管形通道对准所述组织,并将废料吸入通道中。在通道内部产生一个与激光照射方向相反的空气流。此处吸走的空气不是来自去除部位的环境,而是从位于通道出口附近的进气口流入。这就使得材料表面不受空气流的吹涂,从而避免了干燥。此外,空气流从激光束经过的通道中心沿径向向外对齐,因此使烟尘和材料颗粒远离中心,从而也远离了激光束,这样就防止这些杂质对激光照射强度产生不利的影响。
但是,这里采用的方法还不能保证用激光能量进行材料去除,特别是进行表面精加工时主要摆脱环境的影响。尽管采取了前面列举的措施,但是去除条件总还是受到去除过程中去除部位温度和湿度变化的影响。为了能够使材料去除具有较高的成型精度,始终需要减少这些影响。

发明内容
由此出发本发明任务的任务是,遵守或改善已公开的措施,避免激光束横截面的的污染,在整个去除过程时间内保持去除部位的空气调节环境条件不发生变化。
按照本发明开头所述的一种方法,借助于一种在去除过程期间、经由去除部位上方、按预先规定方向流动的气体,使去除部位和/或其邻近区域的温度和/或湿度基本保持不变。此时,气体具有规定的温度、规定的湿度和/或规定的流动速度。
本发明的第一个实施方案是,在整个去除过程期间空气流以不变的温度、不变的湿度和不变的流动速度在去除部位上方流过。
因此,在利用空气作为传输介质的情况下,在对准去除部位的空气的相应预选的温度低于去除部位的额定温度时,过剩的热量将被带走。相反,如果对准去除部位的空气具有较高的相对湿度,则将保证湿度的引入,并防止材料表面和内部变干燥。例如空气流可在流速约为0.5米/秒的情况下,以37°的温度和100%的相对湿度对准去除部位。
依据待去除材料的性能,空气流在去除部位上方流过的最佳范围是温度在20℃~30℃的范围内,相对湿度在0~100%范围内,流动速度在1米/秒~10米/秒的范围内。常见的有利变型是,在去除部位上方流过的空气温度为-8℃,相对湿度为80%,流速约为3米/秒。
因此,在去除期间的空气调节条件能够保持在较小的限度内不变。如果在去除过程中,例如有大约0.5瓦的功率连续扫描到材料中,那么虽然用于去除的功率的绝大部分已消耗掉,但是还有不小的一部分功率转化为热能。这部分热能按照本发明的方法可在很大程度上传输掉,因此如前所述而基本上保持静态平衡。
本发明的另一方案是,空气流的流动速度和供气量应该根据去除所使用的激光照射脉冲重复频率如此预先规定使在脉冲期间所去除掉的组织要在后续脉冲序列开始前的时间间隔内能够被空气流传输掉。这在脉冲重复频率为1千赫兹、去除部位的去除面积例如为8平方毫米的情况下,可使用的流动速度约为8米/秒,此时的空气流量应为40立方厘米/秒左右。在此情况下可使用直径约为8毫米的软管。
另外,本发明的一种优选的方案是,空气流以恒定温度和不变的湿度含量、但是以去除过程期间逐渐增高的流动速度在去除部位上方流过。此处的空气流温度可达例如37°、相对空气湿度约为100%、但是去除开始时的流动速度约为0.2米/秒,在去除持续期内提高到10米/秒。因此以这种方式在进行具有较高功率值的能量输入时,多余的热能被带走。
本发明的另一方案是,空气流以恒定流速在去除部位上方流过。但是与此相反,在去除过程期间流动空气的温度降低和/或相对湿度提高。与此相关的例子是,空气流速在整个去除过程期间为0.5米/秒,而空气温度在大约42℃(去除过程开始)至大约10℃(去除过程终了)的范围内变化,空气湿度则在大约80%(去除过程开始)至大约100%(去除过程终了)的范围内变化。在对材料和材料表面处空气调节环境之间的温度和湿度平衡进行调节的情况下,还可以达到比温度和湿度值不变的情况更好的结果,从而得到更好的成型再现条件。
与此相关的实施方案变型还有,在去除过程期间温度和/或空气湿度的变化不仅可以连续地、而且还可以根据预先规定的不连续的进程函数进行。
对此可供选择的方案还可能是,空气的温度、相对湿度和/或流速根据去除过程期间在去除部位或其附近区域重复测量、分析所得的温度和湿度值来进行变化,并将其用来作为空气流进行变化的主导参数。因此在去除部位处连续测量温度和湿度可以提供信息,该信息能够用来降低空气温度、提高它的湿度或者用来改变流速,以便能够在适当的程度上使去除部位的空气调节条件保持不变而不断地施加积极的影响。
此外,在采取前述措施来保持环境条件不变的同时,还不断地如此对准空气流,使得去除期间产生的废物,诸如烟尘和材料颗粒由空气流席卷,并由流动的空气从去除部位除去,而不横向穿过对准去除部位的激光束。
还须明确指出,本发明不限于使用空气作为热能和湿度的传输介质,而且还可以应用其他各种合适的气体、例如氮气等。
本发明方法的优点在于适合人造隐形眼镜表面曲率的变化,以达到加强或减少曲率来矫正人眼视力缺欠的目的。这种方法的主要优点在于,可以在以后戴隐形眼镜的人缺席的情况下完成去除。
本发明还涉及适合用于实施前述方法步骤的、用于去除材料的装置,以及所描述的方法不仅允许去除人造材料,而且还允许去除自然材料,其中也有生物组织。在这种装置中所设置的机构使得在激光能量作用期间有一种气体流在去除部位上方流过,其中可以规定去除部位上方流过的气体温度、相对湿度和/或流动速度。此处优选地采用空气来作为所述气体,但是还有其他的气体、例如氮气也是合适的。
在一个特别优选的方案中,所述装置没有能够从规定的数值范围内预选出温度、相对湿度和/或流动速度的机构。这种选择可以在去除过程开始前发生,其中具有将预选数值在整个去除过程期间保持不变的机构。
此外须规定,用于预选或变改温度、相对湿度和/或流动速度的机构都与控制电路相连,所述控制电路例如根据进程函数所规定的数值发出调节信号。此外,这个控制电路可以和空气加热机构和/或空气加湿机构相连。
该空气加湿机构最好应该具有一个雾化器,较好的方案是配备一个超声波雾化器,它喷出具有不变的、液滴尺寸小于4微米的湿气。在采用的激光照射波长为193纳米的1情况下,这例如也适用于折射激光外科,此时的雾化流量为0.5~2毫升/分钟。从而考虑到操作处具有所需的湿润和最小的水离析而达到最佳的雾化密度。
此外还设置了影响气体或空气流动方向的机构,使所去除的废物不横向穿过激光束横截面,从而不对照射强度产生不可确定的影响。这方面的例子是两个都是围绕激光束的环形同心布置的流动通道,所述通道沿激光照射方向彼此上下布置,其中一个具有空气流的排出口,另一个具有空气流的入口。此时,两个流动通道的第一个的排气口和另一个的进气口的定位使空气流基本上与激光束的方向平行,最好是流动方向与激光照射的方向相反。
按照应用情况另外证明有利的是,流入空气的方向与去除部位的上方的切线成0~70°角;从去除部位吸走空气流的入口如此设计,使流出空气的方向与去除部位上方的切线同样呈0~70°角。
为了查明去除部位的湿度值,例如采用一种散光测量机构,其中将分离的、对准材料表面激光束的折射强度—所述激光束的波长处于可见光或红外线光谱范围内—作为衡量表面湿度的尺度。其中这种分离出的激光照射的物理参数、特别是强度和波长、应根据所要去除的材料的性质如此选择,使材料的性能不由于这种照射而发生变化。在去除期间,材料表面实际温度的无接触测量可以采用商业上常用的热红外照相机。


下面用一个实施例对本发明进行详细的说明。附图表示图1一种采用激光照射方法来去除材料的装置图,其中激光束对准材料表面,并设置一个用于引入空气调节的空气流的机构,以便对所述表面环境进行空气调节;图2向材料表面输入和导出由空气调节的空气流的机构的实施例及其在去除部位附近的布置;图3用于查明去除部位附近温度和湿度值的测量机构的定位方案;图4用于引入和导出空气调节的空气流的机构的另一种方案。
具体实施例方式
图1表示一个管形通道1,激光束3由它的端部出来对准物体2的表面。这样的装置可以用来例如改变隐形眼镜的曲率,或用于照相折射角膜切除术,其中人眼角膜的弯率在激光照射的作用下通过对角膜的生物组织进行去除而得到矫正。
假定去除过程期间加到组织中的功率为0.5瓦,则功率的大部分为去除所消耗,但是还有不小的一部分变成了所不希望的热、声和荧光能。此时主要是热损失部分干扰了去除条件,因为它影响了泪液膜,从而本身影响角膜的湿度和角膜的水化作用性能。
为了能够达到规定的去除量,从而使角膜表面达到规定的形状,本发明的任务是,通过使空气调节的环境条件保持不变来降低和尽可能完全消除去除条件中的不利影响。
为此本发明设置了一个管形通道4,它通过一个连接管5和一个与其相连的连接管路(未示出)同一个空气供给机构(未表示出)相连。
空气供给机构的功能是将空气导入管形流动通道4内,空气从流动通道4通过排气口6排出。
排气口6的布置使排出的空气的流动方向7与激光束3成锐角而对准物体2的表面。
流动通道4弯曲成环状,并同心地围绕激光束3布置,而排气口6围绕激光束径向对称地分布,因此流动方向7总体上大致形成一个圆锥面,其中心有激光束3通过。
流动通道4离物体2的距离应使这个圆锥面的顶点大致与激光束3在物体2上的交点重合。
因此流动方向7大致与激光束3在物体2上的交点处彼此相遇,并在这种情况下相互产生影响,使流动方向7转向、流动空气径向向外流出,从而使诸如烟尘和剥离下来的组织颗粒等去除废物由空气席卷,并随空气沿径向排出。
另外还可以因此使去除产物不横向穿过激光束3,因此激光照射强度也不会受到损害。
此外,本发明还规定,空气供给机构与向流动通道4导入空气的空调机构相连接。空调机构设计为能够影响空气的温度和相对湿度。此外,还有在去除过程开始前能够预先调节温度值、相对湿度值以及每单位时间内的空气供给量的机构。因此无论是空气供给机构还是空调机构都具有输入命令的机构,例如配备了按键、开关或旋钮等控制零件。这种空气供给机构和空气调节机构以及相应的输入机构都是现有技术所公开的,在此不再赘述。
如果例如采用激元-激光器、最好是能发出波长为193纳米、非常敏感的激光的MEL 70G-Scan型激光器,则本发明可以通过预选来使温度为37℃、相对空气湿度约为100%和流速约为0.5米/秒,使去除期间去除部位附近的空气调节环境条件保持在较窄的范围内不变,因此也保证了去除速度相对不变,从而在造型时最大程度地达到所需的精度。
另外,无论是空气供给机构,还是空调机构都配备有保持预选数值不变的机构。这些机构保持空气的温度、湿度以及流动速度不变。同样,这些机构都是现有技术所公开的,因此在此不再赘述。
图2表示本发明装置的一个实施例,除管形流动通道4以外,还有另外的一个管形流动通道8,它与流动通道4一样,围绕激光束3环行布置,但是比流动通道4距物体2更远,并且与流动通道4不同,不是与导入空气的空气供给机构相连,而是与一个抽吸机构(图中未表示出)相连。该抽吸机构通过一个软管(同样图中未表示出)和一个连接管9与流动通道8相连。
流动通道8具有进气口10,该进气口基本上与流动通道4的排气口的布局相同。
当这种布置起作用时,则形成围绕激光束3的环形空气流,它先从流动通道4的排气口6出来并对准物体2,然后从物体2对准流动通道8的进气口10。
与图1的变型方案不同,这种装置的任务是,不是将去除废物从激光束3径向地向外排走,而是(大致与激光束3相反的方向)经过进气口10进入流动通道8,再由那里排往抽吸机构。这样就使得去除废物(烟尘、组织颗粒)不能横向穿过激光束3,此外也不会污染去除部位处的环境,不产生令工作人员讨厌的气味。
此处规定空气以预先规定保持不变的温度、相对湿度和流速由排气口6排出,并以这种方式保证了物体2处规定的空气调节条件。
与此相反,在所述装置另一个布置方案中使去除期间空气的温度和湿度值以及其流速不保持为常数,而是安装测量值传感器来测量去除部位附近的温度和湿度值,并通过一个控制机构与空气供给机构和空调机构相连。
因此能够通过按照所测量的数值来提高或降低流动空气的温度或者其相对湿度而对空气调节的环境条件的实际变化做出很快的反应,从而能够在很窄的限度内抵消热损失功率的影响。
该测量值传感器的布置例如表示在图3中示出。其中为了测量去除部位湿度值例如设置有一个散光测量机构,它由一个激光器二极管11和一个光电探测器12组成,所述激光器二极管所发出的在可见光或红外线光谱范围内的光对准物体2;光电探测器12接收激光二极管11发出的激光的反射光,它的输出信号作为衡量角膜表面处湿度的尺度。
光电二极管12通过一个分析和控制电路(未表示出)经由信号路径13与空调机构相连。由光电二极管11发出的激光射线的反射分散强度主要取决于角膜-表面上是否还有湿润膜、以及已干燥到何种程度。
为了得到去除部位邻近区域的温度值可以应用商业上常用的温度遥测机构、譬如热红外照相机;同时对准它的测量方向,以获得去除部位的温度值,并经由信号路径14传递给与空调机构相连的所述分析和控制电路。
采用本发明的方法可以在操作区域、例如在照相反射角膜切除术时的待作手术的眼睛区域附近采用紧凑的布置,除了将去除废物吸走以外,还能够调节设定的温度和空气湿度,从而使角膜组织的去除性能保持不变。如详尽所述,通过在激光操作期间,在操作部位附近规定流动速度的情况下,适当地引入和导出被调温和调湿的空气来调定空气温度和湿度的静态平衡。
一个优选的实施方案是,在整个去除过程期间,采用被加热到体温左右的饱和空气和大约为0.5米/秒的较低的流动速度进行工作。在去除过程开始时,物体2上存在的湿润膜主要取决于低的去除速度,但是由于去除期间热能的释放引起湿润膜逐渐被干燥,因此提高去除速度。对此采用前述的方式和方法进行克服。
在用激元-激光器作为波长为193纳米的发射源进行工作时,须注意的是,对于这种波长的吸收在水中比在空气或其它冲刷气体、例如氮气中明显要高。由此可明显看出,需要抵制干燥化,以便保持不变的去除条件。就这方面而言,采用本发明的装置能够成功地对物体(隐形眼镜或角膜)和其表面处的空气调节的环境之间的温度和湿度的平衡进行连续不断地调节。诸如开始存在的较厚的湿润膜和随着能量的加入而逐渐干燥等干扰因素,由于采用本发明推荐的装置而得到平衡。
图4表示另一个实施方案,它是将空气调节的空气流7向物体2的表面引入或从物体2的表面导出。由图4可知,管形流动通道1面向物体2的一端是一个锥形部分16,所述锥形部分具有两个同心围绕激光束3的小室17和18。小室17通入到环形排气口19中并与空气调节和供给机构(图中未表示出)相连,所述机构用来使小室17中的被空气调节的空气产生超压。环形排气口19的布置是使排出的被空气调节的空气流7由于超压而对准物体2的表面,并在那里反射。
小室18与一个产生低压的抽吸机构(图中未表示出)相连,并具有一个环形的进气口20。从物体2表面反射的空气流7通过该进气口吸入到小室18中,并排往抽吸机构。
为了使小室17与所述空气调节和供给机构相连并使小室18与抽吸机构相连,常常可以采用与连接管相连的软管。所述空气调节和供给机构以及抽吸机构可以采用商业上常用的部件,所以在此可不再赘述。
图4的方案和图2所示的装置一样,可以将去除废物吸走,而不使其横向穿过激光束3,从而可以不损害激光照射的强度。物体2的表面由于空气流7进行了空气调节而不会干燥,因此保证始终不变的去除条件。
权利要求
1.采用激光照射来去除材料的方法,其中在去除过程期间借助于去除部位上方流过的气体流使得去除部位和/或它邻近区域处的组织的温度和/或湿度基本上保持不变。
2.根据权利要求1的方法,其特征在于,具有不变温度、不变湿度和不变流动速度的空气流在去除部位的上方流过。
3.根据权利要求2的方法,其特征在于,具有温度约为37℃、相对湿度约为100%和流动速度约为0.5米/秒的空气流在去除部位的上方流过。
4.根据权利要求2的方法,其特征在于,具有温度范围为-20℃到30℃、最好为-8℃、相对空气湿度范围为0%到100%、最好为80%、流动速度范围为1米/秒到10米/秒、最好为3米/秒的空气流在去除部位的上方流过。
5.根据上述权利要求中任一项的方法,其特征在于,空气流的流动速度和空气量依据激光照射的脉冲重复频率来决定;在一个脉冲序列期间所去除的组织在至下一个脉冲序列开始前的时间间隔内用空气流带走,其中最好规定脉冲重复频率为1千赫兹,去除部位的加工面积为8平方毫米,流动速度为8米/秒左右,空气量约为40立方厘米/秒。
6.根据权利要求1的方法,其特征在于,具有不变温度、不变湿度含量、但是在去除过程期间流动速度逐渐增加的空气流在去除部位的上方流过。
7.根据权利要求6的方法,其特征在于,具有温度约为37℃、相对空气湿度约为100%、流动速度在去除开始时为0.2米/秒、在去除结束时增加到10米/秒的空气流在去除部位的上方流过。
8.根据权利要求1的方法,其特征在于,具有不变流动速度的空气流在去除部位的上方流过,而且在去除过程期间流动空气的温度提高和/或它的相对空气湿度降低。
9.根据权利要求8的方法,其特征在于,具有流动速度约为0.5米/秒,从10℃增加到42℃的温度和从100%降低到10%的相对空气湿度的空气流在去除部位的上方流过。
10.根据上述权利要求中任一项的方法,其特征在于,温度、相对空气湿度和/或流动速度按照预先给定的进程函数进行变化。
11.根据上述权利要求中任一项的方法,其特征在于,温度、相对空气湿度和/或流动速度依据去除期间在去除部位处或其附近处直接测量的温度和/或湿度值进行变化。
12.根据前述权利要求中任一项的方法,其特征在于,气体或空气流在去除部位上方沿着这种方向流过,使得去除期间所形成的废物、诸如烟尘和组织颗粒由该气流席卷,并从操作部位处带走,而且在这种情况下不横向穿过对准去除部位的激光束。
13.采用激光照射从物体表面来去除材料的装置,其中,在去除过程持续期间空气流在去除部位的上方流过;设置用于影响流过去除部位上方空气的温度、相对空气湿度和/或流动速度的机构。
14.根据权利要求13的装置,其特征在于,设置用于在去除过程开始前从给定的数值范围内预选温度、相对空气湿度和/或流动速度的机构,并存在使预选数值在去除过程期间保持不变的机构。
15.根据权利要求13或14的装置,其特征在于,所述机构用于使温度保持约为37℃、相对空气湿度保持约为100%和流动速度保持约为0.5米/秒不变。
16.根据权利要求13的装置,其特征在于,设置用于在去除过程期间使流过去除部位上方的空气的温度、相对空气湿度和/或流动速度在规定的数值范围内发生变化的机构。
17.根据权利要求16的装置,其特征在于,所述机构与控制电路相连,通过所述控制电路使去除过程期间的温度、空气湿度和/或流动速度根据预先给定的进程函数进行变化。
18.根据权利要求16的装置,其特征在于,设置用于测量去除部位临近部位的温度和/或湿度值的测量值传感器,并通过处理机构与控制电路相连,通过所述电路根据测量值来改变温度、相对空气湿度和/或流动速度。
19.根据权利要求16至18中任一项的装置,其特征在于,在去除过程期间使温度在10℃到42℃的数值范围内发生变化,相对空气湿度在100%到10%的数值范围内发生变化和/或流动速度在0.2米/秒到10米/秒的数值范围内发生变化。
20.根据权利要求13至19中任一项的装置,其特征在于,存在一个与控制电路相连的空气加热机构。
21.根据权利要求13至20中任一项的装置,其特征在于,存在一个与控制电路相连的空气加湿机构。
22.根据权利要求21的装置,其特征在于,所述空气加湿机构设有一个雾化器、最好是超声波雾化器,所述雾化器每分钟将0.5毫升至2毫升的水雾化为尺寸小于4微米的液滴。
23.根据权利要求13至22中任一项的装置,其特征在于,存在一个与控制电路相连的空气供给机构。
24.根据权利要求23的装置,其特征在于,通过两个沿激光束(3)方向彼此上下布置的、绕激光束环状同心设置的流动通道(4、8)来供给空气并预先规定流动方向,所述流动通道中的一个设置有空气流的排气口(6),另一个设置有空气流的进气口(10)。
25.根据权利要求24的装置,其特征在于,排气口(6)的定位使得空气流与激光照射的方向相反。
26.根据权利要求18的装置,其特征在于,为了测量湿度值设置了一个散光测量机构,其中波长在可见光或红外线光谱范围内的激光束在材料表面处的反射强度用来作为衡量材料表面湿度的尺度。
27.根据权利要求18的装置,其特征在于,为了无接触地测量材料表面上的实际温度设置了一个热红外照相机(14)。
28.根据权利要求13至27中任一项的装置,其特征在于,流来的空气的方向与去除部位上方的切线成0°至70°的夹角。
29.根据权利要求13至28中任一项的装置,其特征在于,存在一个用于对准去除部位的空气的抽吸机构,其中流出空气的方向与在去除部位上方的切线成0°至70°的夹角。
30.根据权利要求13至29所述的装置在去除生物组织方面的应用,特别是采用由一种激元-激光器发出的波长为193纳米的射线在人眼照相折射角膜切除术时去除角膜组织方面的应用。
全文摘要
本发明涉及一种用于借助于激光来去除材料的方法及其所属的装置。本发明的任务是,保证在去除过程之中不仅不污染激光束横截面,而且使去除部位处的空气调节的环境条件保持不变。根据本发明,借助于沿着规定方向在去除部位处上方流过的气体使得在去除部位处的温度和/或湿度基本上保持不变。在这种情况下,所述气体以本发明的不同的方案在除去过程中具有不变的或者变化的温度、湿度值和流动速度。一个用于实施所述方法的装置具有一个管形通道(1),通过所述通道的端部出来一束激光束(3)并射到一个物体(2)的一个表面上,并在此处去除材料。在这种情况下,从一个流动通道(4)的出口(6)中出来具有限定湿度的、具有温度的空气流(7),该空气流对准去除部位,而所述流动通道通过一个连接管(5)与一个输送机构相连接。
文档编号A61B17/00GK1516565SQ02812002
公开日2004年7月28日 申请日期2002年6月5日 优先权日2001年6月15日
发明者M·迪克, J·埃尔布雷希特, E·施罗德, B·赛茨, M 迪克, 祭紫L, 薜 申请人:卡尔蔡司医疗技术股份公司
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