专利名称：紫外线表面处理装置的制作方法
技术领域：
本实用新型是关于一种紫外线表面处理装置，尤其是指一种具有循环冷却系统的紫外线表面处理装置。
背景技术：
一般地，需要提高成品率的半导体器件、液晶显示元件、光学制品的制造中，需要对其表面进行清洗以去除工件表面的污渍及改善其表面的接着性、附着性。传统的技术使用湿法清洗，在工作的表面施以药液使其与工作表面的污渍发生反应，在这样的传统工艺下，在其反应后需要对工作表面的药液残留物进行清洗。在清洗的过程中会产生新的污染。在此基础上产生了干法光表面的处理技术。近年来由于大功率超高出力低气压UV放电管开发的进展，以及随着微电子等产品的超微细化，在微电子、超精密器件等产品的制造过程中，由短波长紫外线及其产生的臭氧对其产品的表面进行超精密清洗或改善其表面的接着性、附着性的干式光表面处理技术的实用化进展得很快。作为氟里昂的替代技术，光表面清洗技术将逐渐代替湿法的清洗技术。
然而，在现有的干法清洗中，依然存在以下问题l、UV的照度小，不能集中大量的紫外线进行表面清洗。
2、臭氧浓度低，无法充分发挥臭氧的超强氧化作用。
3、臭氧分布不均，对表面清洗的效果不均匀。
4、发热温度高对处理对象产生影响。
5、臭氧排出量大，排出后要考虑对周围人员环境产生的不利影响，有时甚至需要用活性碳等措施来消除。
因此，需要研制一种能够克服以上缺点，有效对物品表面进行清洗同时也能改善其表面接着性、附着性的清洗设置为当前业界所急需。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种紫外线表面处理装置，由于该装置具备紫外线表面处理基本特性，故可用在广泛的紫外线表面处理中。
为实现本实用新型的目的，本实用新型采用如下技术方案一种紫外线表面处理装置，其包括有主壳体、照射室、设于照射室内用以发射紫外线的放电管、放电管下方具有放置需要处理的物品的工作台，其特征在于主壳体上开设有出气口和进气口，且出气口与进气口之间通过导管串接抽气泵和冷却装置，从而将照射室内空气抽出冷却并重新导入主壳体内。该放电管可以发出波长低于280NM的紫外线。
与现有技术相比，由于采用冷却装置，进而使得臭氧可在冷却后再进入照射室，可以降低放电管及照射室内空气的温度，使得放电管的输出量最大化；同时配合主壳体上的出气口、导管及进气口等设置，会使空气循环进入主壳体，从而臭气浓度增加，使处理效果增加，并减少向外排出臭氧的量。
图1为本实用新型立体示意图。
图2为本实用新型的主壳体自另一角度的示意图。
图3为本实用新型图1所示的A-A向剖视图。
图4为本实用新型反射板示意图。
图5为本实用新型另一实施例的示意图。
图6为本实用新型流程示意图。
具体实施方式如图1及图2所示，本实用新型紫外线表面处理装置包括有主壳体1、主壳体1内设置照射室19，照射室19上方设置一反射板4，反射板4上装有用以发射紫外线的多个放电管2、放电管2下方具有放置需要处理的物品的工作台3，反射板4上开设若干透气孔41。主壳体1上部开设有出气口11，其一侧方具有另一开口，即进气口13，在出气口11与进气口13之间由一导管5、抽气泵12和冷却装置14相连，在主壳体1内产生的臭氧经使用后，自出气口11抽出，并经过抽气泵12和导管5部分送至冷却装置14，冷却后再经进气口13重新进入照射室19内。所述工作台3为一个通过两端的带轮驱动的传送带，主壳体1两端面具有开口可以使需要处理的物品进入主壳体1。
请参阅图2及图3所示，上述主壳体1内的放电管2紧密排列，而且上述放电管2还可以发出波长低于280NM的紫外线。
请参阅图3所示，在主壳体1的两个端面上具有柔性的挡板6。当需要处理的物品随着工作台3(参阅图1)进入主壳体1时，可以自动将挡板6推开从而物品进入主壳体1内进行表面处理，而当物品进入后，柔性挡板6自动挡住主壳体1的端部，防止产生的臭氧和紫外线泄露。
参照图5，所述工作台3也可为一个抽屉式16的传送装置，被处理的物品可随抽屉进出照射室。抽气泵12还接有一第二排气口15，部分从照射室19被抽出的气体可被排放。
本实用新型的主壳体1具有导管5将混合有臭氧的空气再度导入主壳体1再次使用紫外线进行照射，这样臭氧的浓度会增加很大。放电管2紧密排列，所以其照度增加，且照射室和放电管温度可以降低，使得放电管2的输出量最大化。
权利要求1.一种紫外线表面处理装置，其包括有主壳体、照射室、设于照射室内用以发射紫外线的放电管、放电管下方具有放置需要处理的物品的工作台，其特征在于主壳体上开设有出气口和进气口，且出气口与进气口之间通过导管串接抽气泵和冷却装置。
2.根据权利要求1所述的紫外线表面处理装置，其特征在于所述放电管可以发出波长低于280NM的紫外线。
3.根据权利要求1或2所述的紫外线表面处理装置，其特征在于所述放电管上方设置反射板。
4.根据权利要求3所述的紫外线表面处理装置，其特征在于所述放电管上方的反射板上开设有若干透气孔。
5.根据权利要求1所述的紫外线表面处理装置，其特征在于抽气泵接有一第二排气口。
6.根据权利要求1所述的紫外线表面处理装置，其特征在于所述主壳体两侧面具有柔性挡板。
专利摘要本实用新型公开一种紫外线表面处理装置，其可应用于食品、电子、化工、医学、保健、饮料、农业等领域的杀菌、表面清洗、表面改性，其包括有主壳体、设于主壳体内部用以发射紫外线的放电管、放电管下方具有放置需要处理的物品的工作台，且主壳体上开设有出气口，出气口与导管相连从而将空气冷却后自另一开设于主壳体上的进气口重新导入。本实用新型能够杀菌、除异味、去污染，而且能够提供较佳的处理效果。
文档编号B08B7/00GK2741681SQ200420023569
公开日2005年11月23日 申请日期2004年6月9日 优先权日2004年6月9日
发明者王国征 申请人:上海国达特殊光源有限公司