基板用搬运除尘装置的使用方法以及基板用搬运除尘装置的制作方法

专利名称：基板用搬运除尘装置的使用方法以及基板用搬运除尘装置的制作方法
技术领域：
本发明是关于基板用搬运除尘装置的使用方法及这种基板用搬运除尘 装置，用以搬运玻璃板、合成树脂板或金属板等基板，对附着于该基板表 面上的尘土或灰尘(以下将其称为尘埃)等，只是利用的洗涤空气或以超音波 频率振动的超音波空气(以下将其总称为洗涤空气)使尘埃飞散后而吸引除去。
背景技术：
边参照图边说明以基板为对象的基板用搬运除尘装置。图18、图19 是现有技术的基板用搬运除尘装置的说明图。图20是说明基板的弯曲的说 明图，图20(a)是说明基板的前端的弯曲的说明图，图20(b)是说明基板的中 间位置的弯曲的说明图。
如图l8、图19所示，在搬运辊IOO上朝基板搬运方向(箭头a方向)搬 运基板G,利用除尘单元200除尘单元。除尘单元200包括下侧除尘单元 210及上侧除尘单元220。利用下侧除尘单元210、上侧除尘单元220在基 板G的表背面除尘。
下侧除尘单元210沿着基板搬运方向(箭头a方向)并列构成吸气室211、 喷气室212及吸气室213，配置于搬运辊100侧(下侧)。吸气室211、 213 分别与图上未示的吸气泵连接，并且，喷气室212与图上未示的送风泵连 接。吸气室211、喷气室212及吸气室213各自具有吸引缝裙214、喷出缝 隙215，、吸引缝隙216。
同样地，上侧除尘单元220朝着基板搬运方向(箭头a方向)并列构成吸 气室221、喷气室222及吸气室223,配置于无搬运辊100的侧(上侧)。吸 气室221、 223与图上未示的吸气泵连接，并且，喷气室222与图上未示的 送风泵连接。吸气室221、喷气室222及吸气室223各自具有吸引缝隙224、 喷出缝隙225，、吸引缝隙226。
在图18亦得知，下侧除尘单元210、上侧除尘单元220在上下相向配
置，在这些下侧除尘单元210、上侧除尘单元220之间搬运基板G。基板G 位于下侧除尘单元210、上侧除尘单元220之间时，配置成自基板G的背 面至下侧除尘单元210的间隔及自基板G的表面至上侧除尘单元220的间
隔大致相等。
如图18、 19所示，这种基板G的前端的一边相对下侧除尘单元210、 上侧除尘单元220的吸引缝隙214、 216、 224、 226及喷出缝隙215，、 225， 的长度方向大致平行，即，以相对基板搬运方向a大致垂直的状态搬运。
在下侧除尘单元210,自喷气室212喷出洗涤空气，用吸气室211、213 吸引而除去由洗涤空气所剥离的尘埃。下侧除尘单元210对基板G的除尘 对象面是与下侧除尘单元210相向的基板面(在图18为背面)。
同样地，在上侧除尘单元220，自喷气室222喷出洗涤空气，用吸气室 221、 223吸引而除去由洗涤空气所剥离的尘埃。上侧除尘单元220对基板 G的除尘对象面是与上侧除尘单元220相向的基板面(在图18为表面)。
在本基板用搬运除尘装置1000，利用在基板G的上面.(上侧除尘单元
板G的下面(下侧除尘单元210侧)流动的空气产生利用文杜里管效应的对下
衡，稳定地搬运基板G。
此外，在这种基板用搬运除尘装置的先前技术上，公开本专利申请人 之前申请的专利，例如公开于在特开2003-332401号公报段落编号 0027 0036、图3)
近年来，基板G对TFT(薄膜电晶体)液晶面板、PDP(等离子显示面板)、 或LCD(液晶显示器)等使用的玻璃基板的需求增加。
这种玻璃基板为防止受损，通过使玻璃基板具有柔软性而进行处理。 为确保柔软性，有玻璃基板的厚度变薄的倾向。随着玻璃基板变薄玻璃基 板的重量亦逐渐减少。于是，随着玻璃基板变薄，发生新的问题。以下说 明这些问题。
(1)空转的问题
在图18所示的基板用搬运除尘装置1000，随着基板G的重量减少， 搬运辊IOO和基板G之间的摩擦力减少，到处可见搬运基板G的搬运辊100 空转的现象。因此，为实现稳定地搬运，要求调整文杜里管效应的平衡以
增大向下侧吸引力。
(2) 除尘性能的增大的问题
亦要求除尘性能的增大。为了增大除尘性能，使来自喷气室212、 222 的喷出量变多，随着作用于基板G的来自吸气室211、 221、"及引室213、 223等的吸引力也需要变大。若依据本方式，在依然保持文杜里管效应的平 衡下，通过喷出压力的增大而可确实地除去尘埃。亦考虑上述的(l)的问题 时，想到在增大喷出压力、吸引压力下的同时调整文杜里管效应的平衡， 增大向下侧的吸引力。
(3) 振动的问题
尤其，因发生如图20(a)所示的弯曲，有在基板G发生振动的问题。关 于本振动进行说明。此外，在此为筒化说明，设吸引缝隙214、 224为VI 缝隙、设喷出缝隙215，、 225，为P缝隙、设吸引缝隙216、 226为V2缝隙。
在下侧除尘单元210、上侧除尘单元220之间无基板G的情况，如图 18所示，因喷出缝隙215'、 225，在上下方向伸长，自上下的P缝隙出的洗 涤空气相撞，空气变成乱流的状态。在这种情况下，基板G行进，如图18、 19所示，到吸气室211、 221的正下为止时，图19的基板G的前端的斜线 部位于上下的VI缝隙之间，空气不易流向上下的VI缝隙，相反侧的上下 的P缝隙-V2缝隙间的空气流量增加，在P缝隙-V2缝隙间和P缝隙-Vl缝 隙间发生压力差(P缝隙-V2缝隙间的压力比P缝隙-Vl缝隙间的压力^氐)。 因而，失去文杜里管效应的平衡。
虽然本来，利用在基板G的上面和下面流动的洗涤空气在两面产生利 用文杜里管效应所产生的吸引力，又利用文杜里管效应的平衡稳定地搬运 基板G，但是在图18、 19的状况，因下侧除尘单元210、上侧除尘单元220 都因在P缝隙-V1缝隙间的流量少，失去文杜里管效应的平衡。在这种状况 下进一步搬运而如图20(a)所示前端到达P缝隙为止时，基板G在表背面承 受自上下的P缝隙出来的空气，线状的喷射力自上下作用于基板G的前端 (请参照图19的基板G的前端斜线部)，该基板G的前端在上下方向振动。 而且，因基板G的柔软性增加，振动量变大。
虽然在基板G的前端向下方向动的情况，利用搬运辊10 0作用抵抗力， 但是在基板G的前端上下方向动的情况，因未受到限制，向上方向抬起的 力作用于基板G。在此，亦随着基板G的重量的减少，可能实际上易抬起。
因此，有要影响这种振动的要求。 (4)弯曲的问题。
变薄的基板G因具有柔软性而易弯曲。例如，如图20(a)所示，若基板 G的前端受到吸引而弯曲，则作用下侧除尘单元210的附近的搬运辊100 的力变大，成为制动力的车轮阻力变大，又，在外侧的搬运辊IOO,反而基 板G浮起而不易传达转动力，这些作用相辅相乘，具有导致空转的问题。
此外，如图20(b)所示，虽然弯曲是在搬运途中亦会常发生的问题，但 是在此情况，因用两侧的搬运辊100支承基板G，弯曲量变小，如图20(a) 所示，仅考虑前端的弯曲即可。虽然为解决前面的(1) (3)的课题，检讨调整 文杜里管效应的平衡以增加向下侧的吸引力，但是在增加向下侧的吸引力 的情况，亦有弯曲反而增大的问题。因此，有亦想抑制弯曲的要求。

发明内容
因此，为解决上述的课题，本发明目的在于提供一种基板用搬运除尘 装置的使用方法及基板用搬运除尘装置，使在将基板的前端引入除尘单元 时不发生弯曲或振动，而且调整文杜里管效应的平tf，使增加向下侧的吸 引力，即使是薄且具有柔软性的基板亦实现稳定地搬运或尘埃等的吸引的
增力口。
本发明的方面1的基板用搬运除尘装置的使用方法是一种基板用搬运 除尘装置的使用方法，该基板用搬运除尘装置包括搬运装置，自基板的 下侧供给支承力，向规定的基板搬运方向搬运基板；及除尘单元，在基板 的表背面两侧以两个一组相向配置至少具有各一个的吸气室及喷气室的上 侧除尘单元及下侧除尘单元，而且经由喷气室的线状的缝隙向基板表面喷 出洗涤空气，经由吸气室的线状的缝隙吸引飞散的尘埃，其特征在于一 边方向配置成相对除尘单元的吸气室的吸引缝隙的长度方向及喷气室的线
基板的突端成为前头那样地一边搬运到除尘单元一边接受除尘。
又，本发明的方面2的基板用搬运除尘装置的使用方法是在方面1的 基板用搬运除尘装置的使用方法，其中，吸引缝隙及喷出缝隙的长度方向 相对基板搬运方向是大致垂直，而且大致四边形的基板的一边方向相对基 板搬运方向的大致垂直方向以规定的交叉角倾斜。
又，本发明的方面3的基板用搬运除尘装置的使用方法是在方面1的
基板用搬运除尘装置的使用方法，其中，而且大致四边形的基板的一边方 向相对基板搬运方向的大致垂直，而且吸引缝隙及喷出缝隙的长度方向相 对基板搬运方向的大致垂直方向以规定的交叉角倾斜。
本发明的方面4的基板用搬运除尘装置是一种基板用搬运除尘装置， 包括搬运装置，自基板的下侧供给支承力，向规定的基板搬运方向搬运 基板；及除尘单元，在基板的表背面两侧以两个一组相向配置至少具有各 一个的吸气室及喷气室的上侧除尘单元及下侧除尘单元，而且经由喷气室 的线状的缝隙向基板表面喷出洗涤空气，经由吸气室的线状的缝隙吸引飞 散的尘埃，其特征在于除尘单元的吸气室的线状的吸引缝隙的长度方向 及喷气室的线状的喷出缝隙的长度方向配置成大致平行，而且各自相相对 基板搬运方向大致垂直；并且，在大致四边形的基板的一边方向相对基板 搬运方向的大致垂直方向以规定的交叉角倾斜的状态，使基板的突端成为 前头那样地一边搬运到除尘单元一边接受除尘。
又，本发明的方面5的基板用搬运除尘装置是一种基板用搬运除尘装 置，包括搬运装置，自基板的下侧供给支承力，向规定的基板搬运方向 搬运基板；及除尘单元，在基板的表背面两侧以两个一组相向配置至少具 有各一个的吸气室及喷气室的上侧除尘单元及下侧除尘单元，而且经由喷 气室的线状的缝隙向基板表面喷出洗涤空气，经由吸气室的线状的缝隙吸 引飞散的尘埃，其特征在于除尘单元的吸气室的线状的吸引缝隙的长度 方向及喷气室的线状的喷出缝隙的长度方向配置成大致平行，对基板搬运 方向的大致垂直方向以规定的交叉角倾斜，并且大致四边形的基板的搬运 前端的 一 边相对基板搬运方向大致垂直，而且使基板的突端成为前头那样 地一边搬运到除尘单元一边接受除尘。
又，本发明的方面6的基板用搬运除尘装置是在方面4的基板用搬运 除尘装置，其中，该搬运装置包含棒形的搬运辊，棒形的搬运辊的轴向配 置成与除尘单元的吸气室的线状的吸引缝隙的长度方向及喷气室的线状的 喷出缝隙的长度方向大致平行，而且各自相对基板搬运方向大致垂直。
又，本发明的方面7的基板用搬运除尘装置是在方面5的基板用搬运 除尘装置，其中，该搬运装置包含在倾斜的配列方向并列配置的多个圓板 形的搬运辊，圓板形的搬运辊的排列方向配置成与除尘单元的吸气室的线
状的吸引缝隙的长度方向及喷气室的线状的喷出缝隙的长度方向大致平 行，而且相对基板搬运方向的大致垂直方向以规定的交叉角倾斜。
又，本发明的方面8的基板用搬运除尘装置是在方面4~7中任一项的
基板用搬运除尘装置，其中，使下侧除尘单元的文杜里管效应所产生的吸 引力比上侧除尘单元的文杜里管效应所产生的吸引力大，赋予向搬运装置 推压基板的力。
又，本发明的方面9的基板用搬运除尘装置是在方面8的基板用搬运 除尘装置，其中，通过使向下侧除尘单元的吸引压力和向上侧除尘单元的 吸引压力变成相等，而且使来自下侧除尘单元的喷出压力比来自上侧除尘 单元的喷出压力大，而使下侧除尘单元的文杜里管效应所产生的吸引力比 上侧除尘单元的文杜里管效应所产生的吸引力大，赋予向搬运装置推压基 板的力。
又，本发明的方面10的基板用搬运除尘装置是在方面8的基板用搬运 除尘装置，其中，通过使来自下侧除尘单元的喷出压力和来自上侧除尘单 元的喷出压力变成相等，而且向下侧除尘单元的吸引压力比向上侧除尘单 元的吸引压力大，而使下侧除尘单元的文杜里管效应所产生的吸引力比上 侧除尘单元的文杜里管效应所产生的吸引力大，赋予向搬运装置推压基板 的力。
又，本发明的方面11的基板用搬运除尘装置是在方面8的基板用搬运 除尘装置，其中，通过将自下侧除尘单元至基板面的间隔调整成小于自上 侧除尘单元至基板表面的间隔，而使下侧除尘单元的文杜里管效应所产生 的吸引力比上侧除尘单元的文杜里管效应所产生的吸引力大，赋予向搬运 装置推压基板的力。
又，本发明的方面12的基板用搬运除尘装置的使用方法是在方面9的 基板用搬运除尘装置，其中，测量来自下侧除尘单元及上侧除尘单元的喷 出压力，在来自上侧除尘单元的喷出压力比来自下侧除尘单元的喷出压力 大的情况控制成停止向除尘单元搬运基板。
又，本发明的方面13的基板用搬运除尘装置是在如方面4 12中任一 项的基板用搬运除尘装置，其中，下侧除尘装置包括抵接搬运的基板而转 动的辅助辊。
又，本发明的方面14的基板用搬运除尘装置是在方面13的基板用搬
运除尘装置，其中，在下侧除尘单元的^:入侧的外侧部配置所述辅助辊。
又，本发明的方面15的基板用搬运除尘装置是在方面13或14的基板 用搬运除尘装置，其中，在下侧除尘单元的吸气室的吸引缝隙内配置所述
辅助辊。
又，本发明的方面16的基板用搬运除尘装置的使用方法是在方面4~15 的其中之一的基板用搬运除尘装置，其中，该下侧除尘单元及上侧除尘单 元沿着基板搬运方向并列配置喷气室及隔着喷气室的两个吸气室。
若依据以上所示的本发明，可提供基板用搬运除尘装置的使用方法及 基板用搬运除尘装置，使在将基板的前端引入除尘单元时不发生弯曲或振 动，而且调整文杜里管效应的平衡，而增加向下侧的吸引力，即使是薄且 具有柔软性的基板亦实现稳定地搬运或尘埃等的吸引的增加。


图1是说明基板用搬运除尘装置及其使用方法的说明图。 图2是基板用搬运除尘装置的结构图。
图3是自基板搬运方向看的搬运辊的结构图，图3(a)是第一结构图， 图3(b)是第二结构图。
图4是除尘单元的剖面图。
图5是基板搬运的说明图，图5(a)是突端到达前侧的吸引缝隙的状态 的说明图，图5(b)是突端到达喷出缝隙的状态的说明图，图5(c)是突端到达 内侧的吸引缝隙的状态的说明图。
图6是第二形态的基板用搬运除尘装置的结构图。
图7是第三形态的基板用搬运除尘装置的结构图。
图8是辅助辊的结构图，图8(a)是第一结构图，图8(b)是第二结构图。
图9是改良形态的基板用搬运除尘装置的结构图。
图IO是第四形态的基板用搬运除尘装置的结构图。
图11是辅助辊结构的说明图。
图12是改良形态的基板用搬运除尘装置的结构图。
图13是第五形态的基板用搬运除尘装置的结构图。
图14是第五形态的基板用搬运除尘装置的基板搬运的说明图。
图15是第五形态的基板用搬运除尘装置的基板搬运的说明图，图15(a)
是突端到达前侧的吸引缝隙的状态的说明图，图15(b)是突端到达喷出缝隙 的状态的说明图，图15(C)是突端到达内侧的吸引缝隙的状态的说明图。
图16是搬运辊的支轴的说明图。 图17是辅助辊的说明图。
图18是现有技术的基板用搬运除尘装置的说明图。 图19是现有技术的基板用搬运除尘装置的说明图。 图20是说明基板的弯曲的说明图，图20(a)是说明基板的前端的弯曲 的说明图，图20(b)是说明基板的中间位置的弯曲的说明图。 图21是表示相对交叉角的喷出压力上限的图。 主要元件符号说明 1 基板用搬运除尘装置
100搬运辊
101支轴
102、103 辅助辊
104搬运辊
105支轴
106板簧
200除尘单元
210下侧除尘单元
211、213 吸气室
212喷气室
214、216 吸引缝隙
喷出缝隙
220上侧除尘单元
221、223 "及气室
222喷气室
224、226 吸引缝隙
225喷出缝隙
300摘g运控制部
301压力引入部
302差压感测图
303驱动控制部
G 基板
具体实施方式
. 接着，边参照图边说明本发明的最佳实施形态(第 一形态)的基板用搬运 除尘装置及其使用方法。图1是说明基板用搬运除尘装置及其使用方法的
说明图。图2是基板用搬运除尘装置的结构图。图3是自基板搬运方向看 的搬运辊的结构图，图3(a)是第一结构图，图3(b)是第二结构图。图4是除 尘单元的剖面图。图5是基板搬运的说明图，图5(a)是突端到达前侧的吸引 缝隙的状态的说明图，图5(b)是突端到达喷出缝隙的状态的说明图，图5(c) 是突端到达内侧的吸引缝隙的状态的说明图。
如图1、图2所示，本形态的基板用搬运除尘装置1包括搬运辊100 和除尘单元200。本除尘单元200又包括下侧除尘单元210及上侧除尘单元 220，利用下侧除尘单元210及上侧除尘单元220将基板G的表背面除尘。
搬运辊IOO是搬运装置的一具体实例是支承、搬运基板G的辊。搬运 辊100构成为供给搬运基板G的驱动力的结构，或者，构成为自由转动以 从动于利用别的驱动源搬运的基板G。
如图3(a)所示，搬运辊100具有设为横跨基板G的两侧的长杆形的搬 运辊100的情况，和如图3(b)所示仅抵接基板G的一部分的多个(在图3(b) 为4个)短棒形的搬运辊100的情况的两种形态。适当地选择这种形态。以 下说明本形态的搬运辊100是如图3(a)所示的长的搬运辊100。
如图4所示，下侧除尘单元210沿着基板搬运方向(箭头a方向)并列构 成为吸气室211、喷气室212及吸气室213，并配置于搬运辊IOO侧(下侧)。 吸气室211、 213与图上未示的吸气泵连接，又喷气室212与图上未示的送 风泵连接。吸气室211、喷气室212及吸气室213各自具有吸引缝隙214、 喷出缝隙215、吸引缝隙216。
同样地，上侧除尘单元220朝着基板搬运方向(箭头a方向)并列构成为 吸气室221、喷气室222及吸气室223，并配置于无^:运辊100的侧(上侧)。 吸气室221、 223与图上未示的吸气泵连接，又喷气室222与图上未示的送 风泵连接。吸气室221、喷气室222及吸气室223各自具有吸引缝隙224、 喷出缝隙225 、吸引缝隙226。
在图2亦得知，下侧除尘单元210、上侧除尘单元220在上下相向配置，
又，吸引缝隙214、喷出缝隙215、吸引缝隙216、吸引缝隙224、喷出缝 隙225及吸引缝隙226的长度方向大致平行。尤其将吸引缝隙214、 224、 喷出缝隙215、 225、吸引缝隙216、 226形成为自正上看为一条线。在这些 下侧除尘单元210、上侧除尘单元220之间搬运基板G。基板G位于下侧除 尘单元210、上侧除尘单元220之间时，配置成自基板G的背面至下侧除 尘单元210的间隔，及自基板G的表面至上侧除尘单元220的间隔大致相 等。又，在本形态，使来自下侧除尘单元210的喷气室212的喷出压力比 来自上侧除尘单元220的喷气室222的喷出压力大，利用文杜里管效应取 得平tf并且向下侧吸引。
说明利用文杜里管效应的平衡。首先，说明利用文杜里管效应的吸引 现象。首先，仅考虑上侧除尘单元220单体。自喷气室222所喷出的洗涤 空气，具有例如不是如光那样进行反射并朝向吸气室221、 223,而具有沿 着基板G的表面流动的特性。又，成为在上侧除尘单元220的正下方流路 窄，而在上侧除尘单元220的两外侧流路宽的结构。
在这种状况下，利用文杜里管效应，因在流^^窄的上侧除尘单元220 的正下方使压力变成低状态，发生吸引上侧除尘单元220和基板G的吸引 现象。 .
在此情况，虽然机械地固定上侧除尘单元220，但是因基板G只是放 置于搬运辊100上，基板G离开搬运辊100而上升。
于是，利用文杜里管效应，向上侧除尘单元220吸引基板G。
因此，在下侧除尘单元210亦同样地施加喷出压力，施加向下侧吸引 的文杜里管效应。此时，如前面的说明所示，使向下侧除尘单元210的吸 气室211、吸气室213的吸引压力和向上侧除尘单元220的吸气室221、吸 气室223的吸引压力相等，而且，使来自下侧除尘单元210的喷气室212 的喷出压力比来自上侧除尘单元220的喷气室222的喷出压力大，利用文 杜里管效应取得平ff，并且向下侧吸亏1 。
因而，使下侧除尘单元210的利用文杜里管效应所产生的吸引力比上 侧除尘单元220的利用文杜里管效应所产生的吸引力大，使基板G抵接搬 运辊100。 -
基板G例如是在TFT(薄膜电晶体)液晶面板、PDP(等离子显示面板)、 或LCD(液晶显示器)等使用的玻璃基板。在图1 图5所示的基板G仅图示
长基板G的一部分。在本专利说明书，将基板G的上面定义为表面，将下 面定义为背面。
尤其，在本实施形态以薄且具有柔软性的TFT液晶面板用的玻璃基板 为对象。
接着，说明本形态的除尘。
在隔着规定的间隔所设置的搬运辊100上依次搬运多片基板G。 此时，基板G如图1、图2所示，利用搬运辊100支承而在搬运平面 上移动，又，在大致四边形的基4反G的一边方向和下侧除尘单元210、上 侧除尘单元220的吸气室211、 213、 221、 223的吸引缝隙214、 216、 224、 226及喷气室212、 222的喷出缝隙215、 225的长度方向以少见定的交叉角倾 斜而交叉下搬运。若以基板搬运方向a为基准，吸引缝隙214、 216、 224、 226及喷出缝隙215、 225的长度方向相对基板搬运方向a是大致垂直，而 且大致四边形的基^l的一边方向相对基板"l般运方向a的大致垂直方向以头见 定的交叉角ot倾斜。本交叉角如图l(a)所示，配置成构成角度a。关于本交
叉角(X将后述。
将这种倾斜的状态的基板G搬至下侧除尘单元210、上侧除尘单元220 进行除尘。在此情况，除尘单元200总是进行利用喷气室212、 222的洗涤 空气的喷出及利用吸气室211、 213、 221、吸气室223的尘埃的吸引。即， 在基板G,表背两面成为除尘对象面。
首先，在下侧除尘单元210的正上朝箭头a方向搬运要除尘的基板G。
基板G的突端Gl是前端的一部分，如图5(a)所示突端Gl进入吸气室 211、 221的吸引缝隙214、 216。在此情况，因吸引压力仅作用于基板G的 突端G1的斜线部，吸引压力小，因不像现有技术般吸引压力作用于前端整 体(参照图19),显著降低发生弯曲的可能性。
又，亦抑制振动。说明这一点。此外，在此亦为了简化说明，设吸引 缝隙214、 224为VI缝隙、设喷出缝隙215、 225为P缝隙、设吸引缝隙 216、 226为V2缝隙而进行说明。如图4所示，上下的P缝隙朝基板拍殳运 方向a的相反侧倾斜，基板G往这些P缝隙行进。
在这种状况下变成图5(a)所示的状态时，虽然基板G的行进妨碍空气 往VI缝隙的流入，^旦是其遮蔽区域窄，避免洗涤空气立刻难流入上下的 Vl缝隙的情况，不会发生洗涤空气的流动变成乱流的情况。'此外，因利用
P缝隙的倾斜在P-V1间的方向强迫地送洗涤空气，空气大部分不变地在 P-V1间流动。
因而，P缝隙-Vl缝隙间的空气流量和相反侧的P缝隙-V2缝隙间的空
气流量平衡，在P缝隙-V1缝隙间和P缝隙-V2缝隙间的压力差保持几乎为 O(P缝隙-Vl缝隙间的压力与P缝隙-V2缝隙间的压力几乎相等)的状态，在 这点亦不会发生洗涤空气的流动变成乱流的情况。因此，加上这些作用而 保持文杜里管效应的平衡。
接着，如图5(b)、图5(c)所示，沿着基板搬运方向a搬运基板G。 此时亦施加吸引压力、喷出压力等。可是，因不仅基板G自搬运辊100 突出的量(以下称为外伸量)远小于基板G的全长，依据前面所说明的原理， 使利用喷射、吸引施加的压力如以斜线区域所示比以往少，而且亦保持文 杜里管效应的平衡，在抑制弯曲、振动下依然继续搬入，利用下侧除尘单 元210的两侧的搬运辊100支承。以后，基板G因加上吸引力和自重而向 搬运辊100坚固地抵接，不会发生基板G脱离拍《运辊100的情况。
接着，说明前面所说明的交叉角a。本交叉角a是自0。至45。的锐角， 优选约为1° 30°。依据基板G适当地决定这种交叉角a的具体值，例如图 21表示使用玻璃400mmx500mmx厚度0.7mm的基板G变更交叉角a的情
于是，有随着交叉角a增加喷出压力的上限增大的倾向。推测这是由 于随着交叉角a增加喷出压力的面积(图5的斜线部)减少而施力减少。
若依据以上所说明的基板用搬运除尘装置及其使用方法，利用在基板 G上面和下面流动的空气产生的文杜里管效应的平衡得到基'板G的稳定地 搬运，因在基板G进入通过下侧除尘单元210、上侧除尘单元220的正中 亦得到文杜里管效应的平衡，可得到稳定地搬运。尤其通过采用倾斜的V1 缝隙、P缝隙、V2缝隙，可将来自喷气室201P、 301P的喷出压力设为至现 在为止的程度，在确保除尘性能下使基板G的弯曲变小，可稳定地搬运(因 基板G在喷出缝隙的附近不会浮起，又向下侧的吸引力弱，而不易发生基 板G的弯曲所引起的搬运故障的搬运。)。又，若使交叉角a大至最大，喷 出压力亦可增加，在保持文杜里管效应的平衡下亦可预估吸引力或除尘性 能的改善。
接着，边参照图边说明本发明的基板用搬运除尘装置及其使用方法的
第二形态。此外，对于和前面所说明的现有技术或第一形态相同的结构， 赋予相同的符号而且省略重复的说明。图6是第二形态的基板用搬运除尘
装置的结构图。
本形态的基板用搬运除尘装置如图6所示，包括搬运辊100、除尘单元 200及搬运控制部300。是在图2所示的第一形态的结构又追加搬运控制部 300的结构。在本基板用搬运除尘装置1在箭头a方向搬运基板G。 搬运辊100及除尘单元200和第一形态的相同，省略其重复说明。 拍殳运控制部300由图6所示的压力引入部301、差压感测器302及驱动 控制部303构成。
压力引入部301 i殳置于喷气室212、 222的室内，引入在喷气室212、
222的空气。
差压感测器302输入来自两个压力引入部301的空气，测量这些空气 的差压后，输出差压信号。
驱动控制部303根据自差压感测器302输出的差压信号，进行搬运辊 100的驱动控制。
此外，搬运控制部300未限定为上述的结构，例如，虽未图示，亦可 在喷气室212、 222的室内各自设置压力检测感测器(转换器)，测量在喷气 室212、 222的喷出压力，各自输出压力信号，根据自这两处传送的压力信 号计算差压信号，根据本差压信号，使驱动控制部303进行搬运辊100的 驱动控制。
适当地选择这些结构，例如在小规模的装置，由成本等的观点使用如 图4所示的差压感测器302的形态为优选。
接着，说明本形态的除尘。 .
隔着规定的间隔依次搬运多片基板G,而进行除尘。在此情况，下侧 除尘单元210、上侧除尘单元220 —直进行利用喷气室212、 222的洗涤空 气的喷出及利用吸气室211、 213、 221、 223的尘埃的吸引。
首先，在下侧除尘单元210、上侧除尘单元220之间朝箭头a方向拍殳运 除尘的基板G。本基板G的表背两面成为除尘对象面。
在此情况，使自下侧除尘单元210的喷气室212(下侧)喷出的洗涤空气 的喷出压力比自上侧除尘单元220的喷气室201P(上侧)喷出的洗涤空气的 喷出压力大，如前面的说明所示调整成向下侧吸引。
又，在基板G位于下侧除尘单元210、上侧除尘单元220之间的情况， 配置成自基板G的背面至下侧除尘单元210的间隔和自基板G的表面至上 侧除尘单元220的间隔大致相等。
而，在洗涤空气的喷出中，经由两个压力引入部301向差压感测器302 引入空气后，自差压感测器302向驱动控制部303输出差压信号。
驱动控制部303若由上侧所喷出的洗涤空气的喷出压力较由下侧所喷 出的洗涤空气的喷出压力大，则判定成异常状态，除此之外，则判定成正 常状态。
驱动控制部303若判断喷出压力是正常状态，控制成使搬运辊100转 动，使基板G进入下侧除尘单元210、上侧除尘单元220之间。而，在异 常状态控制成使搬运辊100停止。
因而，因在结构上在因喷出压力变动而上侧除尘单元220的吸引力比 下侧除尘单元210的吸引力更大的异常状态使基板G停止，.另一方面，在 正常状态向搬运辊100搬运基板G,使基板G自搬运辊100浮起而脱离的 可能性更小，在基板G确实地抵接搬运辊100的状态除尘。
因而，因降低基板G受损的可能性，而且在搬运机构上仅最低限的搬 运辊100即可，不需要广大的设备空间或复杂、昂贵的装置结构。尤其， 适合需要洗涤基板双面的情况。
接着，边参照图边说明本发明的基板用搬运除尘装置及其使用方法的 第三形态。此外，对于和前面所说明的现有技术、第一、第二形态相同的 结构，赋予相同的符号而且省略重复的说明。图7是本形态的基板用搬运 除尘装置的结构图。图8是辅助辊的结构图，图8(a)是第一结构图，图8(b) 是第二结构图。图9是改良形态的基板用搬运除尘装置的结构图。
本形态的基板用搬运除尘装置，是对图2所示的第一形态又追加辅助 辊102的形态。
因才般运辊100及除尘单元200和第一形态的相同，省略其重复说明， 仅说明相异点。
如图7所示，在下侧除尘单元210的搬入侧和搬出侧的两外侧部配置 辅助辊102。辅助辊102是例如如图8(a)所示自侧面看为一环形的结构，或 如图8(b)所示为二环形(或三环形以上的多环形)的结构都可。在本形态，是 以图8(b)的多环形说明。
接着，关于本形态的除尘，以和第一形态的相异点为重点说明。 隔着规定的间隔依次搬运多片基板G，而进行除尘。在此情况，在除
尘单元200， 一直进行利用喷气室212、 222的洗涤空气的喷出及利用吸气 室211、 213、 221、 223的尘埃的吸引。
首先，向除尘单元200在箭头a方向搬运除尘的基板G。 利用文杜里管效应向有下侧除尘单元210的下侧吸引基板G。可是， 因不仅搬运辊IOO，而且辅助辊102支承基板G，使外伸量比以往减少，在 依然抵接辅助辊102、搬运辊100下搬入基板G，受到位于下侧除尘单元 210的两侧的辅助辊102、搬运辊100支承。然后，加上吸引力，因基板G 确实地抵接辅助辊102、搬运辊IOO，不会发生基板G脱离搬运辊100的情 况。
如以上的说明所示，在本形态，不仅具有不离开搬运辊100上地搬运 基板G的效果，而且通过在进入下侧除尘单元210、上侧除尘单元220时 利用辅助辊102使外伸量减少，使吸引基板G的前端的可能性更小。
因而，因排除基板G受损的可能性，而且在搬运机构上仅最低限的搬 运辊IOO、辅助辊102即可，不需要宽大的设备空间或复杂、昂贵的装置结 构。
此外，如图9所示，采用在第二形态加上辅助辊102的改良形态，亦 可具有和本第三形态一样的效果。
接着，边参照图边说明本发明的基板用搬运除尘装置及其使用方法的 第四形态。此外，对于和现有技术、第一、二、三形态相同的结构，赋予 相同的符号而且省略重复的说明。图IO是本形态的基板用搬运除尘装置的 结构图，图11是辅助辊结构的说明图。图12是改良形态的基板用搬运除 尘装置的结构图。本形态的基板用搬运除尘装置是对第 一形态又设置辅助 辊的形态，但是与第三形态在相异的位置配置辅助辊上相异。
在本形态，如图IO所示，在下侧除尘单元210的吸气室211、 213的 上侧配置辅助辊103。辅助辊103例如如图11所示，配置于吸气室211、 213 吸引缝隙214、 216内。此外，本辅助辊103是例如如图8(a)所示自基板搬 运方向看为一环形的结构，或如图8(b)所示自侧面看为多环形(如图8(b)所 示至少二环形)的结构。虽然存在这种辅助辊103,可是只要确保对尘埃的 吸引无影响的充分大的吸引缝隙214、 216,对除尘能力不会发生问题。
如以上的说明所示，在本形态，不仅具有不会离开搬运辊100上地搬
运基板G的效果，而且通过在进入下侧除尘单元210、上侧除尘单元220 时利用辅助辊103使外伸量减少，使吸引基板G的前端的可能性更小。
因而，因排除基板G受损的可能性，而且在搬运机构上仅最低限的搬 运辊IOO、辅助辊103即可，不需要宽大的设备空间或复杂、昂贵的装置结构。
此外，如图12所示，采用在第二形态加上辅助辊103的改良形态，亦 可具有与本第四形态一样的效果。
接着，边参照图边说明本发明的基板用搬运除尘装置及其使用方法的 第五形态。此外，对于与现有技术、第一、二、三、四形态相同的结构， 赋予相同的符号而且省略重复的说明。图13是本形态的基板用搬运除尘装 置的结构图。图14是本形态的基板用搬运除尘装置的基本反搬运的说明图。 图15是本形态的基板用搬运除尘装置的基板搬运的说明图，图15(a)是突端 到达前侧的吸引缝隙的状态的说明图，图15(b)是突端到达喷出缝隙的状态 的说明图，图15(c)是突端到达内侧的吸引缝隙的状态的说明图。图16是搬 运辊的支轴的说明图。图17是辅助辊的说明图。
虽然本形态的基板用搬运除尘装置1具有和前面所说明的第一、二、 三、四形态相同的结构，但是相异点是，使下侧除尘单元210、上侧除尘单 元220倾斜，替代使基板G倾斜。在此情况，在下侧除尘单元210的前段、 后段配置排列方向倾斜的搬运辊104。本搬运辊104如图13所示，是圓板 形并在斜方向并列配置多个。因而，可倾斜地配置下侧除尘单元210。
又，除尘单元200变斜，自正上看时吸引缝隙214、 224、喷出缝隙215、 225及吸引缝隙216、 226亦看起来一条线。
而且，在结构上相对于大致四边形的基板G的一边方向，下侧除尘单 元210与上侧除尘单元220的喷气室212、 222的线状的喷出缝隙215、 225 的长度方向及吸气室211、 213、 221、 223的线状的吸引缝隙214、 216、 224、 226的长度方向以规定的交叉角倾斜。此外，若以基板搬运方向a为基准， 大致四边形的基板G的一边方向相对基板搬运方向a是大致垂直，而且喷 出缝隙215、 225及吸引缝隙214、 216、 224、 226的长度方向相对基板搬 运方向a的大致垂直方向以规定的交叉角a倾斜。在如这种基板G的突端 Gl变成前头的方式被纟般至除尘单元200而接受除尘。如图14所示，本交
叉角配置成构成角度a。
接着，说明本形态的除尘。
在隔着规定的间隔所设置的搬运辊100、 104上依次搬运多片基板G。 将这种倾斜的状态的基板G进入下侧除尘单元210及上侧除尘单元 220，进行除尘。在此情况，下侧除尘单元210及上侧除尘单元220总是进 行利用喷气室212、 222的洗涤空气的喷出及利用吸气室211、 213、 221、
吸气室223的尘埃的吸引。即，在基板G，表背两面成为除尘对象面。
首先，在下侧除尘单元210的正上朝箭头a方向搬运要除尘的基板G。 如图15(a)所示，基板G的突端Gl是前端的一部分进入吸气室211、
221之间，在此情况，因吸引压力仅作用于基板G的斜线部，吸引压力小，
因不像现有技术那样吸引压力作用于前端整体(参照图19)，显著降低发生弯
曲的可能性。
又，关于振动亦如使用图4的说明所示，P缝隙-V1缝隙间的空气流量 和相反侧的P缝隙-V2缝隙间的空气流量平衡，在P缝隙-Vl缝隙间和P缝 隙-V2缝隙间保持压力差几乎为O(P缝隙-V1缝隙间的压力和P缝隙-V2缝 隙间的压力几乎相等)的状态。因此，加上这些作用而保持文杜里管效应的平衡。
以下接着，如图15(b)、图15(c)所示，向基板搬运方向搬运基板G。此 时施加如斜线部所示的吸引压力、喷出压力，但是因不仅基板G自搬运辊 104(或者辅助辊102或辅助辊103)突出的量(以下称为外伸量)仅是远小于基 板G的全长的一部分，而且依据前面所说明的原理，保持文杜里管效应的 平衡，在抑制弯曲、振动等的同时依然继续搬入，利用下侧除尘单元210 的两侧的搬运辊104(或者辅助辊102或辅助辊103)支承。以后，基板G因 加上吸引力和自重而向搬运辊100、 104坚固地抵接，不会发生基板G脱离 搬运辊100、 104的情况。
此外，搬运辊104有多个，但是在有一个高度比别的辊高的搬运辊104 的情况下，因基板G仅位于该搬运辊104之上，力集中于该位置，有对基 板G产生弯曲等不良影响的可能性。因此，图16使搬运辊104的支轴105 经由板簧106可调整高度。若依次方式，可避免力集中于基板G的一个位 置的情况。又，由于定位的关系在搬运辊的排列方向的最外，若拆掉板簧 106而仅有支轴105,可确保定位。
又，如图17所示，亦可在下侧除尘单元210的吸气室211、 213的p及 引缝隙215、 225的上侧配置辅助辊103(变成如图10、图11所示的结构)。 圓板形的辅助辊的排列方向与下侧除尘单元的吸气室211、 213的吸引缝隙 215、 225的长度方向一致。虽然这种辅助辊103存在，可是只要确保对尘 埃的吸引无影响的充分大的吸引口，在除尘性能不会发生问题。
于是，在本形态，不仅可得到与上述的第一 第四形态相同的效果，而 且不需要使基板G朝向斜方向放置于搬运辊100的作业，只要进行基板G 的一边方向相对基板搬运方向a变成垂直的一般的配置，亦自动地设定交叉 角a，可赋予预先所设计的吸引力。又，作业员不必进行使只倾斜交叉角a 的作业，亦可提高作业性。
虽然以上说明了第一 第五形态，但是此外各种变形形态亦可能。在第 一 第五形态，虽然说明下侧除尘单元210、上侧除尘单元220在2个吸气 室之间配置一个喷气室的例子(V-P-V结构)，但是除此以外亦可在2个喷气 室之间配置一个吸气室的例子(P-V-P结构)、或并列一个吸气室和一个喷气 室而配置的例子(P-V结构或V-P结构)。适当地选"t奪这些结构。
又，虽然在第一 第五形态在调整文杜里管效应上变更上下的喷出压 力，但是亦可调整别的。
例如，亦可通过^吏来自下侧除尘单元210的喷出压力与来自上侧除尘 单元220的喷出压力相等，而且<吏对下侧除尘单元210的吸引力比对上侧 除尘单元220的吸引压力大，而使下侧除尘单元210的文片土里管效应所产 生的吸引力比上侧除尘单元220的文杜里管效应所产生的吸引力大，使赋 予向搬运辊100、 104或辅助辊102、 103推压基4反G的力。此外，在此情 况，无法采用图6、图9、图12的形态的搬运控制部。
又，亦可通过将自下侧除尘单元210至基板G的背面的间隔调整成小 于自上侧除尘单元220至基板G的表面的间隔，而使下侧除尘单元210的 文杜里管效应所产生的吸引力比上侧除尘单元220的文杜里管效应所产生 的吸引力大，使赋予向搬运辊100、 104或辅助辊102、 103推压基板G的 力。此外，在此情况，无法采用图6、图9、图12的形态的搬运控制部。
又，虽然在搬运装置上说明考虑搬运辊100、 104或辅助辊102、 103 的结构，但是在搬运装置的其他例子上，亦可采用例如确保高度方向的定 位装置，而且作为形成喷气的无数的喷出孔的搬运面，将基板G配置于本
搬运面之上利用空气进行搬运的结构。在此情况，亦若在基板搬运方向和 各缝隙的长度方向确保规定的交叉角a，可具有如上述的效果。
又，亦可采用都包括图7的辅助辊102和图10的辅助辊103的搬运装置。
以上说明本形态的基板用搬运除尘装置及其使用方法。若依据本方式 的基板用搬运除尘装置及其使用方法，解决上述的(l)空转的问题、(2)除尘 性能的增大、(3)振动的问题、及(4)弯曲的问题。
首先，因利用图4所示的倾斜缝隙能够使空气不会变成乱流而不破坏 文杜里管效应的平衡，所以，能够消除(3)振动的问题、及(4)弯曲的问题。
又，因在如图1、图14所示的大致四边形的基板G的一边方向和除尘 单元的吸气室的吸气缝隙及喷气室的喷出缝隙的长度方向以规定的交叉角 交叉并且进行搬运、除尘，使对外伸的基板G的压力减少，在这一点亦能 够消除(3)振动的问题、及(4)弯曲的问题。
而且，因不易发生振动或弯曲，使喷出压力或吸引压力增大而且调整 文杜里管效应的平衡，亦可使对下侧的吸引力增大，分别消除(l)空转的问 题、及(2)除尘性能的增大的问题。
可采用这些效果相辅相乘而提高可靠性的基板用搬运除尘装置及其使 用方法。
权利要求
1.一种基板用搬运除尘装置的使用方法，该基板用搬运除尘装置包括搬运装置，其自基板的下侧供给支承力，向规定的基板搬运方向搬运基板；及除尘单元，其在基板的表背面两侧以两个一组相向配置至少具有各一个的吸气室及喷气室的上侧除尘单元及下侧除尘单元，而且经由喷气室的线状的缝隙向基板表面喷出洗涤空气，经由吸气室的线状的缝隙吸引飞散的尘埃，其特征在于大致四边形的基板的一边方向相对除尘单元的吸气室的线状的吸引缝隙的长度方向及喷气室的线状的喷出缝隙的长度方向配置成以规定的交叉角倾斜，使本基板的突端成为前头那样地一边搬运到除尘单元一边接受除尘。
2. 如权利要求1的基板用搬运除尘装置的使用方法，其中，吸引缝隙 及喷出缝隙的长度方向相对基板搬运方向是大致垂直，而且大致四边形的 基板的一边方向相对基板搬运方向的大致垂直方向以规定的交叉角倾斜。
3. 如权利要求1的基板用搬运除尘装置的使用方法，其中，大致四边 形的基板的 一边方向相对基板搬运方向大致垂直，而且吸引缝隙及喷出缝 隙的长度方向相对基板搬运方向的大致垂直方向以规定的交叉角倾斜。
4. 一种基板用搬运除尘装置，包括搬运装置，自基板的下侧供给支承力，向规定的基板搬运方向搬运基 板；及除尘单元，在基板的表背面两侧以两个一组相向配置至少具有各一个 的吸气室及喷气室的上侧除尘单元及下侧除尘单元，而且经由喷气室的线 状的缝隙向基板表面喷出洗涤空气，经由吸气室的线状的缝隙吸引飞散的 尘埃，其特征在于把除尘单元的吸气室的线状的吸引缝隙的长度方向及喷气室的线状的 喷出缝隙的长度方向配置成大致平行，而且各自相对基板板运方向配置成 大致垂直；并且，在大致四边形的基板的 一边方向相对基板搬运方向的大致垂直方向以 规定的交叉角倾斜的状态下，使基板的突端成为前头那样地一边搬运到除 尘单元一边接受除尘。
5. —种基板用搬运除尘装置，包括搬运装置，自基板的下侧供给支承力，向规定的基板搬运方向搬运基 板；及除尘单元，在基板的表背面两侧以两个一组相向配置至少具有各一个 的吸气室及喷气室的上侧除尘单元及下侧除尘单元，而且经由喷气室的线 状的缝隙向基板表面喷出洗涤空气，经由吸气室的线状的缝隙吸引飞散的 尘埃，其特征在于除尘单元的吸气室的线状的吸引缝隙的长度方向及喷气室的线状的喷 出缝隙的长度方向配置成大致平行，并且相对基板搬运方向的大致垂直方 向以规定的交叉角倾斜；并且，大致四边形的基板的搬运前端的 一边相对基板搬运方向大致垂直，而 且使基板的突端成为前头那样地一边搬运到除尘单元一边接受除尘。
6. 如权利要求4的基板用搬运除尘装置，其中，该搬运装置包含棒形 的搬运辊；棒形的搬运辊的轴向配置成，与除尘单元的吸气室的线状的吸引缝隙 的长度方向及喷气室的线状的喷出缝隙的长度方向大致平行，而且各自相 对拍《运方向大致垂直。
7. 如权利要求5的基板用搬运除尘装置，其中，该搬运装置包含在倾 斜的排列方向并列配置的多个圆板形的搬运辊；圆板形的搬运辊的排列方向配置成，与除尘单元的吸气室的线状的吸 引缝隙的长度方向及喷气室的线状的喷出缝隙的长度方向大致平行，而且 相对基板搬运方向的大致垂直方向以规定的交叉角倾斜。
8. 如权利要求4至7中任一项的基板用搬运除尘装置，其中，使下侧 除尘单元的文杜里管效应所产生的吸引力比上侧除尘单元的文杜里管效应 所产生的吸引力大，赋予向搬运装置推压基板的力。
9. 如权利要求8的基板用搬运除尘装置，其中，通过使向下侧除尘单 元的吸引压力和向上侧除尘单元的吸引压力变成相等，而且使来自下侧除尘单元的喷出压力比来自上侧除尘单元的喷出压力大，而4吏下侧除尘单元 的文杜里管效应所产生的吸引力比上侧除尘单元的文杜里管效应所产生的 吸引力大，赋予向搬运装置推压基板的力。
10. 如权利要求8的基板用搬运除尘装置，其中，通过使来自下侧除尘 单元的喷出压力和来自上侧除尘单元的喷出压力变成相等，而且向下侧除 尘单元的吸引压力比向上侧除尘单元的吸引压力大，而使下侧除尘单元的 文杜里管效应所产生的吸引力比上侧除尘单元的文杜里管效应所产生的吸 引力大，赋予向搬运装置推压基板的力。
11. 如权利要求8的基板用搬运除尘装置，其中，通过将自下侧除尘单 元至基板面的间隔调整成小于自上侧除尘单元至基板表面的间隔，而使下 侧除尘单元的文杜里管效应所产生的吸引力比上侧除尘单元的文杜里管效 应所产生的吸引力大，赋予向搬运装置推压基板的力。
12. 如权利要求9的基板用搬运除尘装置，其中，测量来自下侧除尘单 元及上侧除尘单元的喷出压力，在来自上侧除尘单元的喷出压力比来自下 侧除尘单元的喷出压力大的情况下进行控制，以停止向除尘单元搬运基板。
13. 如权利要求4 12的任何一项所述的基板用搬运除尘装置，其中， 下侧除尘装置包括抵接搬运的基板而转动的辅助辊。
14. 如权利要求13的基板用搬运除尘装置，其中，在下侧除尘单元的 搬入侧的外侧部配置所述辅助辊。 .
15. 如权利要求13或14的基板用搬运除尘装置，其中，在下侧除尘单 元的吸气室的吸引缝隙内配置所述辅助辊。
16. 如权利要求4 15的任何一项所述的基板用搬运除尘装置，其中， 所述下侧除尘单元及上侧除尘单元沿着基板搬运方向并列配置喷气室及隔 着喷气室的两个吸气室。
全文摘要
一种基板用搬运除尘装置的使用方法及基板用搬运除尘装置，使在将基板的前端引入除尘单元时不发生弯曲或振动，而且调整文杜里管效应的平衡，增加向下侧的吸引力，即使是薄且具有柔软性的基板也实现稳定地搬运、尘埃等的吸引的增加。一种基板用搬运除尘装置及其使用方法，将下侧除尘单元(210)的吸气室(211、213)的吸引缝隙的长度方向配置成对基板搬运方向(a)大致成直角，而且在基板(G)的一边方向相对基板搬运方向(a)的大致垂直方向以规定的交叉角(α)倾斜的状态，使基板(G)的突端成为前头那样地一边搬运到下侧除尘单元(210)一边接受除尘。
文档编号B08B5/00GK101171092SQ20058004971
公开日2008年4月30日 申请日期2005年8月5日 优先权日2005年7月6日
发明者中村康平, 管野盛利, 饭田秀夫 申请人:修谷鲁电子机器股份有限公司