专利名称：加装有压力调节阀的清洗管路系统及清洗机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种硅片电池生产线刻蚀岗位的清洗机及清洗管路系统，尤其是 一种加装有压力调节阀的清洗管路系统及清洗机。
背景技术：
现有技术中，在硅片电池生产线刻蚀岗位一般都使用KUTTLER清洗机，清洗机的 清洗管系统包括压缩空气气源、压缩空气输入管、连接管与压缩空气输出管，所述述压缩空 气气源、压缩空气输入管、连接管、压缩空气输出管依次相连接形成吹干气路，用于吹干硅 片。吹干气路上设置有用于在待机情况下关闭气路的气动阀，然而，在待机情况下由 于气路的压力过大，气动阀有时候不能有效的关闭，造成压缩空气的浪费，使硅片生产成本较高。
实用新型内容本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种在待机状况下能够有 效关闭气动阀同时可以延长气动阀使用寿命的加装有压力调节阀的清洗管路系统及清洗 机。按照本实用新型提供的技术方案，所述加装有压力调节阀的清洗管路系统，包括 压缩空气气源、压缩空气输入管、连接管与压缩空气输出管，其中，所述压缩空气气源、压缩 空气输入管、连接管及压缩空气输出管依次相连接形成吹干气路，吹干气路上设置有用于 在待机情况下关闭气路的气动阀，还包括设置在吹干气路上的用于调节吹干气路的压力范 围的压力调节阀。作为优选，所述气动阀具有气动阀膜片，所述压力调节阀在气动膜片所能承受的 压力范围之内调节。作为优选，所述压缩空气输入管的输入端与压缩空气气源相连接，压缩空气输入 管的输出端连接压力调节阀的输入端，压力调节阀的输出端连接连接管的输入端，连接管 的输出端连接气动阀的输入端，气动阀的输出端连接压缩空气输出管的输入端。本实用新型还提供一种清洗机，包括如上述的一种加装有压力调节阀的清洗管路 系统。作为优选，所述气动阀具有气动阀膜片，所述压力调节阀在气动膜片所能承受的 压力范围之内调节。作为优选，所述压缩空气输入管的输入端与压缩空气气源相连接，压缩空气输入 管的输出端连接压力调节阀的输入端，压力调节阀的输出端连接连接管的输入端，连接管 的输出端连接气动阀的输入端，气动阀的输出端连接压缩空气输出管的输入端。与现有技术相比，本实用新型的优点是由于本实用新型在原有的清洗管路系统 上加装了压力调节阀，压力调节阀可对调节吹干气路的压力范围进行可视化的调节，避免了压力过大而使气动阀无法有效关闭，同时可以延长气动阀使用寿命。
图1是本实用新型的整体结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。如图所示，所述加装有压力调节阀的清洗管路系统，包括压缩空气气源、压缩空气 输入管1、连接管3与压缩空气输出管5，其中，所述述压缩空气气源、压缩空气输入管1、连 接管3及压缩空气输出管5依次相连接形成吹干气路，吹干气路上设置有用于在待机情况 下关闭气路的气动阀2，还包括设置在吹干气路上的用于调节吹干气路的压力范围的压力 调节阀4，操作人员能够在可视吹干气路的压力情况下，根据情况手动调节气动阀2。所述气动阀2具有气动阀膜片，所述压力调节阀4在气动膜片所能承受的压力范 围之内调节，可使设备在待机状况下有效的关闭气动阀，同时可以延长气动阀的使用寿命， 节约生产成本。所述压缩空气输入管1的输入端与压缩空气气源相连接，压缩空气输入管1的输 出端连接压力调节阀4的输入端，压力调节阀4的输出端连接连接管3的输入端，连接管3 的输出端连接气动阀2的输入端，气动阀2的输出端连接压缩空气输出管5的输入端。当 然，在进行局部压力调节时，压力调节阀4也可以设置在气动阀2之后。一种清洗机，包括如上所述的加装有压力调节阀的清洗管路系统。清洗机的清洗 管路系统的气动阀2具有气动阀膜片，所述压力调节阀4在气动膜片所能承受的压力范围 之内调节。所述压缩空气输入管1的输入端与压缩空气气源相连接，压缩空气输入管1的输 出端连接压力调节阀4的输入端，压力调节阀4的输出端连接连接管3的输入端，连接管3 的输出端连接气动阀2的输入端，气动阀2的输出端连接压缩空气输出管5的输入端。当 然，在对清洗机清洗管路系统进行局部压力调节时，压力调节阀4也可以设置在气动阀2之后。这种清洗机通过安装压力调节阀4可以有效地控制吹干气路的压力范围在气动 阀膜片所能承受的范围之内，与现有技术相比，由于能够根据压力调节阀的压力表来调节 吹干气路的压力，防止气动阀由于压力过大无法有效的关闭，节约了生产成本。以上实施例仅为本实用新型的示例性实施例，不用于限制本实用新型，本实用新 型的保护范围由权利要求书限定。本领域技术人员可以在本实用新型的实质和保护范围 内，对本实用新型做出各种修改或等同替换，这种修改或等同替换也应视为落在本实用新 型的保护范围内。
权利要求一种加装有压力调节阀的清洗管路系统，包括压缩空气气源、压缩空气输入管(1)、连接管(3)与压缩空气输出管(5)，、压缩空气输入管(1)、连接管(3)、压缩空气输出管(5)依次相连接形成吹干气路，吹干气路上设置有用于在待机情况下关闭气路的气动阀(2)，其特征是还包括设置在吹干气路上的用于调节吹干气路的压力范围的压力调节阀(4)。
2.根据权利要求1所述的加装有压力调节阀的清洗管路系统，其特征是所述气动阀 (2)具有气动阀膜片，所述压力调节阀(4)在气动膜片所能承受的压力范围之内调节。
3.根据权利要求1所述的加装有压力调节阀的清洗管路系统，其特征是所述压缩空 气输入管(1)的输入端与压缩空气气源相连接，压缩空气输入管(1)的输出端连接压力调 节阀(4)的输入端，压力调节阀(4)的输出端连接连接管(3)的输入端，连接管(3)的输出 端连接气动阀(2)的输入端，气动阀(2)的输出端连接压缩空气输出管(5)的输入端。
4.一种清洗机，其特征是包括如权利要求1所述的加装有压力调节阀的清洗管路系统。
5.根据权利要求4所述的清洗机，其特征是所述气动阀(2)具有气动阀膜片，所述压 力调节阀(4)在气动膜片所能承受的压力范围之内调节。
6.根据权利要求4所述的清洗机，其特征是所述压缩空气输入管(1)的输入端与压 缩空气气源相连接，压缩空气输入管(1)的输出端连接压力调节阀(4)的输入端，压力调节 阀(4)的输出端连接连接管(3)的输入端，连接管(3)的输出端连接气动阀(2)的输入端， 气动阀(2)的输出端连接压缩空气输出管(5)的输入端。
专利摘要本实用新型涉及一种加装有压力调节阀的清洗管路系统。包括压缩空气气源、压缩空气输入管、连接管与压缩空气输出管，所述述压缩空气气源、压缩空气输入管、连接管、压缩空气输出管依次相连接形成吹干气路，吹干气路上设置有用于在待机情况下关闭气路的气动阀，还包括设置在吹干气路上的用于调节吹干气路的压力范围的压力调节阀，压力调节阀使清洗机在待机状况下能够有效地关闭气动阀同时可以延长气动阀使用寿命。本实用新型还公开了一种包括上述加装有压力调节阀的清洗管路系统的清洗机。
文档编号B08B5/02GK201558830SQ200920284690
公开日2010年8月25日 申请日期2009年12月18日 优先权日2009年12月18日
发明者吴洋, 陆杰 申请人:无锡尚德太阳能电力有限公司