基板湿制程设备的复向移动喷洗机构的制作方法

文档序号:1544330阅读:190来源:国知局
专利名称:基板湿制程设备的复向移动喷洗机构的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种基板湿制程设备的复向移动喷洗机构,尤其涉及一种可以应 用在多层印刷电路板、液晶显示器面板、薄膜太阳能电池及触控面板等基板湿制程设备上 的复向移动喷洗机构。
背景技术
如图1及图2所示,为目前业者所惯用的基板清洗设备,其具有设置在机台10上 的摆动机构20,并结合有喷洗装置30与驱动装置40,使摆动机构20可于机台10上方呈 直线往复运动;其中,该摆动机构20由轴承座201、轴杆202、横梁203及框架204组成,其 在机台10相对内侧面结合有复数轴承座201,相互对称的轴承座201轴心之间可供一轴杆 202枢设,该轴杆202的一端以一横梁203结合,该横梁203再结合有框架204,故可借由驱 动装置40驱动框架204而使摆动机构20呈直线往返运动,进一步使喷洗装置30针对输入 机台10内的各种基板施行清洗作业。但,上述现有的摆动机构20只能被驱动装置40带动 直线往返运动,为了能全面清洗基板,必需在摆动机构20上结合有多数组排列的喷洗装置 30,再分别接上水阀301、水管302等组件,如此导致其结构繁琐、维护工作麻烦、成本增加, 亟待加以改进。因此,如何发明出一种基板湿制程设备的复向移动喷洗机构,以使复向移动 喷洗机构可以利用精简的运动原理,达成直线往复移动及往复滚转作动的功能,以使清洗 设备可以对基板进行多向全面清洗,将是本实用新型所欲积极提供之处。
发明内容有鉴于上述现有技术的缺憾,发明人有感其未臻于完善,遂竭其心智悉心研究克 月艮,凭其从事该项产业多年的累积经验,进而研发出一种基板湿制程设备的复向移动喷洗 机构,以期达到结构精简及多向全面清洗基板的目的。本实用新型的主要目的在提供一种基板湿制程设备的复向移动喷洗机构,其主要 借着复向移动喷洗机构的第一轴承座、第二轴承座及管路的结构改良设计,致使该管路除 了可以直线往复移动之外,同时可以产生往复滚转作动,并使管路的喷嘴可对基板进行喷 洗,进而达到结构精简及多向全面清洗基板的目的。为达上述目的,本实用新型基板湿制程设备的复向移动喷洗机构实施内容包含 该复向移动喷洗机构结合在一机台上,被一驱动装置驱动而能直线移动及滚转作动进行喷 洗者,其特征在于该复向移动喷洗机构具有一组以上结合在机台一侧的第一轴承座,一组 以上结合在机台另一侧与第一轴承座相对应的第二轴承座,及一支以上结合在第一轴承座 与第二轴承座之间的管路;该第一轴承座设有一轴孔,在轴孔的内孔壁设有凸螺纹;该管 路设有喷嘴,且该管路一端设有一可轴向活动及转动状穿设在第一轴承座轴孔中的螺杆, 该螺杆设有与凸螺纹相匹配结合的凹螺纹,该管路的另一端结合在第二轴承座。借此,本实用新型一种基板湿制程设备的复向移动喷洗机构,可经由该驱动装置 带动复向移动喷洗机构的管路作直线往复移动,并在直线往复移动时经由第一轴承座的凸螺纹匹配管路一端螺杆的凹螺纹结构,使该管路可以同步产生往复滚转动作,因此当输入清洗液进入该管路之后,即可再经由管路下方的喷嘴针对基板进行多面向的清洗作业,进 而达成结构精简及多向全面清洗的功效。

图1为现有基板清洗设备的立体图。图2为现有基板清洗设备的俯视图。图3为本实用新型较佳具体实施例的组合立体图。图4为本实用新型较佳具体实施例的局部分解立体图。图5为本实用新型较佳具体实施例的局部组合立体图。图6为本实用新型较佳具体实施例的应用状态俯视图一。图7为本实用新型较佳具体实施例的应用状态俯视图二。图8为本实用新型较佳具体实施例的应用状态侧视图。主要组件符号说明1......复向移动喷洗机构11.....第一轴承座111····轴孔112····凸螺纹113....夹块114....圆环12.....第二轴承座13.....管路14.....喷嘴15.....螺杆151····凹螺纹16.....轴杆17.....横杆18.....框架2......机台3......驱动装置
具体实施方式
为充分了解本实用新型的目的、特征及功效,现通过下述具体的实施例,并配合附 的图,对本实用新型做一详细说明,说明如后如图3及图4所示,本实用新型基板湿制程设备的复向移动喷洗机构,其较佳的具 体实施例包含该复向移动喷洗机构1结合在一机台2上,被一驱动装置3驱动而能直线往 复移动及往复滚转作动进行喷洗者,其中该复向移动喷洗机构1具有一组以上结合在机 台2内部一侧的第一轴承座11,一组以上结合在机台2内部另一侧与第一轴承座11轴心呈 相对应的第二轴承座12,以及一支以上结合在该第一轴承座11与第二轴承座12之间的管路13 ;如图4及图5所示,所述该第一轴承座11设有一轴孔111,在该轴孔111的内孔壁设 有凸螺纹112 ;所述该管路13设有一个以上的喷嘴14,且管路13 —端设有一可轴向活动及 转动状穿设在第一轴承座11轴孔111中的螺杆15,该螺杆15设有与凸螺纹112相匹配结 合的凹螺纹151,且管路13的另一端结合在第二轴承座12。再如图3、图4及图5所示,本实用新型较佳的具体实施例更包含所述该第一轴 承座11 二夹块113结合一圆环114所构成,并使该轴孔111及凸螺纹112设置在圆环114 之中,因此可通过更换圆环114动作达成简易维修的功效。所述该管路13的另一端结合有 一可轴向活动及转动状穿设在第二轴承座12的轴杆16。且该管路13的一端或二端结合有 一横杆17,该横杆17另结合一框架18,借该框架18与基板湿制程设备的驱动装置3结合, 即使该驱动装置3可以驱动框架18、横杆17及管路13直线往复移动及往复滚转作动。再如图3、图4及图5所示,本实用新型较佳的具体实施例更包含该复向移动喷 洗机构1具有两组分别结合在机台2内部一侧的第一轴承座11,两组分别结合在机台2内 部另一侧与第一轴承座11轴心呈相对应的第二轴承座12,及两支各别结合在第一轴承座 11与第二轴承座12间的管路13。该两支管路13的一端设有所述与第一轴承座11结合的 螺杆15,另一端分别设有一可轴向活动及转动状穿设在第二轴承座的轴杆16。借此在该两 支管路13相同的一端及另一端之间分别跨置结合有一横杆17,并在其中的一横杆17中央 结合一框架18,借框架18与基板湿制程设备的一驱动装置3结合,使该驱动装置3可以驱 动框架18、横杆17及管路13直线往复移动及往复滚转作动。如图6、图7及图8所示,本实用新型基板湿制程设备的复向移动喷洗机构应用实 施时,可作为多层印刷电路板、液晶显示器面板、薄膜太阳能电池及触控面板的湿制程设备 之一,安装在所述设备的机台1上,如此经由该驱动装置3带动复向移动喷洗机构1的框架 18及横杆17,再推动上述该管路13、螺杆15及轴杆16作直线往复移动,并在直线往复移动 时经由第一轴承座11的凸螺纹112匹配管路13 —端螺杆15的凹螺纹151结构,使该管路 13可以同步产生往复滚转作动,因此当输入清洗液进入该管路13之后,即可再经由管路13 下方的喷嘴14喷出,在直线往复移动及滚转作动时针对基板进行多面向的清洗作业。由此 可见,本实用新型将前述现有的摆动机构20及喷洗装置30整合成结构更精简的复向移动 喷洗机构1,将可达成结构精简及多面向全面清洗的功效。如上所述,本实用新型完全符合专利三要件新颖性、进步性和产业上的可利用 性。以新颖性和进步性而言,本实用新型借着复向移动喷洗机构1的第一轴承座11、第二轴 承座12及管路13的结构改良设计,致使该管路13除了可以直线往复移动之外,同时可以 产生滚转作动,并使管路13的喷嘴14对基板进行喷清,进而达到结构精简、多向及全面清 洗基板的效用。就产业上的可利用性而言,利用本实用新型所衍生的产品,当可充分满足目 前市场的需求。本实用新型在上文中已以较佳实施例提供,但本领域技术人员应理解的是,该实 施例仅用于描绘本实用新型,而不应解读为限制本实用新型的范围。应注意的是,凡是与该 实施例等效的变化与置换,均应设为涵盖于本实用新型的范畴内。因此,本实用新型的保护 范围当以下文的权利要求所界定者为准。
权利要求一种基板湿制程设备的复向移动喷洗机构,该复向移动喷洗机构结合在一机台,被一驱动装置驱动而能直线往复移动及往复滚转作动进行喷洗,其特征在于该复向移动喷洗机构具有一组以上结合在机台一侧的第一轴承座,一组以上结合在机台另一侧与第一轴承座相对应的第二轴承座,及一支以上结合在第一轴承座与第二轴承座之间的管路;该第一轴承座设有一轴孔,在轴孔的内孔壁设有凸螺纹;该管路设有喷嘴,且该管路一端设有一可轴向活动及转动状穿设在第一轴承座轴孔中的螺杆,该螺杆设有与凸螺纹相匹配结合的凹螺纹,该管路的另一端结合在第二轴承座。
2.如权利要求1所述基板湿制程设备的复向移动喷洗机构,其特征在于,该第一轴承 座结合有一圆环,该轴孔及凸螺纹设置在圆环中。
3.如权利要求1所述基板湿制程设备的复向移动喷洗机构,其特征在于,该管路的另 一端设有一可轴向活动及转动状穿设在第二轴承座的轴杆。
4.如权利要求1所述基板湿制程设备的复向移动喷洗机构,其特征在于,该管路的一 端结合有一横杆,横杆结合一框架,框架与该驱动装置结合,该驱动装置驱动框架及横杆及 管路直线移动。
5.如权利要求1所述基板湿制程设备的复向移动喷洗机构,其特征在于,该复向移动 喷洗机构具有两组结合在机台一侧的第一轴承座,两组结合在机台另一侧与第一轴承座相 对应的第二轴承座,及两支各别结合在第一轴承座与第二轴承座之间的管路。
6.如权利要求5所述基板湿制程设备的复向移动喷洗机构,其特征在于,该两支管路 的另一端分别设有一可轴向活动及转动状穿设在第二轴承座的轴杆。
7.如权利要求5所述基板湿制程设备的复向移动喷洗机构,其特征在于,该两支管路 相同的一端之间跨置结合有一横杆,横杆中央结合一框架,框架与一驱动装置结合,该驱动 装置驱动框架及横杆及管路直线移动。
8.如权利要求7所述基板湿制程设备的复向移动喷洗机构,其特征在于,该两支管路 相同的另一端之间跨置结合有一横杆。
专利摘要本实用新型提供一种基板湿制程设备的复向移动喷洗机构,其包含一结合在机台一侧的第一轴承座,一结合在机台另一侧的第二轴承座,及一结合在第一轴承座与第二轴承座之间的管路;该第一轴承座设有轴孔,轴孔的内孔壁设有凸螺纹,该管路结合有喷嘴,且一端结合有可轴向活动及转动状穿设在第一轴承座轴孔中的螺杆,该螺杆设有与凸螺纹匹配结合的凹螺纹。借此,本实用新型基板湿制程设备的复向移动喷洗机构,可经由驱动装置带动该管路直线往复移动,并在直线往复移动时利用凸螺纹与凹螺纹结构同步产生往复滚转作动,进而达成结构精简及多向全面清洗的目的。
文档编号B08B3/02GK201586645SQ20092029319
公开日2010年9月22日 申请日期2009年12月15日 优先权日2009年12月15日
发明者何瑞竹, 刘素珍, 周坤麟, 蓝文正, 郭先立, 高自强 申请人:叙丰企业股份有限公司
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