专利名称：单晶炉真空管道清洁器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种在单晶硅生产中使用的单晶炉真空管道清洁器。
背景技术：
制备单晶硅的时候，要用真空泵将单晶炉内抽成真空，达到生产所需的状态。当前 光伏产业迅猛发展，单晶硅大规模量产，生产规模日益壮大，单晶炉的数量也随之增大。考 虑到单晶炉的布局与美观，往往形成很大的阵列。这样真空泵和单晶炉之间就产生了很大 的距离，一般会用很长的管道将两者连接。连接的真空管道使用一段时间后，管道内部就容 易积聚挥发物，附着在管道内壁上，久而久之容易引出管道堵塞，影响生产。由于真空管道 很长，因此不便于清理，真空管道的清理疏通成为棘手的问题。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题是要提供一种结构简单、使用方便，能够快速清 洁真空管道内壁附着的挥发物和燃烧产物，可提高生产效率的单晶炉真空管道清洁器。本实用新型是这样实现的它有一个手柄，在手柄下端固接有不锈钢堵板，不锈钢 堵板的横截面为弧形且与单晶炉炉体内壁的曲率半径相等。上述的单晶炉真空管道清洁器，所述的手柄为T字形，以便于使用。本实用新型的优点是结构简单、使用方便，利用空气压力能够快速清洁真空管道 内壁附着的挥发物和燃烧产物，可提高生产效率。
图1是本实用新型的结构示意图；图2是图1的A-A剖视图。
具体实施方式
如图所示，该单晶炉真空管道清洁器有一个手柄1，在手柄1下端固接有不锈钢堵 板2，不锈钢堵板2的横截面为弧形且与单晶炉炉体内壁的曲率半径相等。所述的手柄1为 T字形，以便于使用。使用时，操作者手持手柄1将不锈钢堵板2置于单晶炉内壁的抽气口位置，开启连 接单晶炉的真空泵，真空泵开启后会在真空管道这个密闭空间内制造真空。当达到一定压 力差后，迅速提拉手柄1，使不锈钢堵板2脱离抽气口，瞬时压力差产生强气流，将真空管道 内的挥发物带走。
权利要求1.一种单晶炉真空管道清洁器，其特征是它有一个手柄，在手柄下端固接有不锈钢 堵板，不锈钢堵板的横截面为弧形且与单晶炉炉体内壁的曲率半径相等。
2.根据权利要求1所述的单晶炉真空管道清洁器，其特征是所述的手柄为T字形。
专利摘要本实用新型公开了一种单晶炉真空管道清洁器，其特殊之处是它有一个手柄，在手柄下端固接有不锈钢堵板，不锈钢堵板的横截面为弧形且与单晶炉炉体内壁的曲率半径相等，所述的手柄为T字形。优点是结构简单、使用方便，利用空气压力能够快速清洁真空管道内壁附着的挥发物和燃烧产物，可提高生产效率。
文档编号B08B9/035GK201895005SQ20102066363
公开日2011年7月13日 申请日期2010年12月16日 优先权日2010年12月16日
发明者刘玉颖, 杨广宇, 王存, 秦朗 申请人:锦州阳光能源有限公司