专利名称：硅片清洗机喷淋用水加热设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种多晶硅片生产设备，具体涉及一种硅片清洗机喷淋用水加热设备。
背景技术：
硅片清洗机中使用的喷淋用水水温需保持在40°C，现有的硅片清洗机中没有加热设备，常因水温不足引起多晶硅片的脏片和花片现象，远远达不到生产工艺的要求。
发明内容本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足，提供一种硅片清洗机喷淋用水加热设备，解决了因水温不足所引起的多晶硅片的脏片和花片现象。本实用新型采用的技术方案是一种硅片清洗机喷淋用水加热设备，包括喷淋用水水箱和电加热管，所述喷淋用水水箱内设有电加热管；所述电加热管包括金属管、电阻丝和氧化镁粉，所述金属管内设置有电阻丝，金属管内空隙部分填充有氧化镁粉。工作原理本实用新型在耐高温不锈钢无缝管内均勻地分布高温电阻丝，在空隙部分致密地填入导热性能和绝缘性能均良好的结晶氧化镁粉，当高温电阻丝中有电流通过时，产生的热通过结晶氧化镁粉向金属管表面扩散，再传递到喷淋用水中去，达到加热的目的，再供硅片清洗机使用。有益效果通过使用本实用新型产品后，水温达到了工艺要求，保持在40°C左右， 杜绝了多晶硅片脏片和花片现象，提高了产品的合格率，降低了生产成本。
附图为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步说明如附图所示一种硅片清洗机喷淋用水加热设备，包括喷淋用水水箱1和电加热管2，所述喷淋用水水箱1内设有电加热管2 ；所述电加热管2包括金属管、电阻丝和氧化镁粉，所述金属管内设置有电阻丝，金属管内空隙部分填充有氧化镁粉。
权利要求1. 一种硅片清洗机喷淋用水加热设备，其特征在于包括喷淋用水水箱(1)和电加热管(2)，所述喷淋用水水箱(1)内设有电加热管(2)；所述电加热管(2)包括金属管、电阻丝和氧化镁粉，所述金属管内设置有电阻丝，金属管内空隙部分填充有氧化镁粉。
专利摘要本实用新型公开了一种硅片清洗机喷淋用水加热设备，包括喷淋用水水箱和电加热管，所述喷淋用水水箱内设有电加热管；所述电加热管包括金属管、电阻丝和氧化镁粉，所述金属管内设置有电阻丝，金属管内空隙部分填充有氧化镁粉。通过使用本实用新型产品后，水温达到了工艺要求，保持在40℃左右，杜绝了多晶硅片脏片和花片现象，提高了产品的合格率，降低了生产成本。
文档编号B08B3/02GK201985079SQ20112009072
公开日2011年9月21日 申请日期2011年3月31日 优先权日2011年3月31日
发明者姚兴平 申请人:江苏新潮光伏能源发展有限公司