专利名称：气体泄漏时防扩散装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体领域，特别涉及一种气体泄漏时防扩散装置。
背景技术：
伴随集成电路制造エ艺的不断进步，半导体器件制造所需要的エ艺气体也更加的多祥，但是绝大部分的エ艺气体都具有高腐蚀性和可燃性，一旦泄漏扩散后果不堪设想，由于设备故障或设备老化引起的气体泄漏的安全事件屡有发生，所以如何在这些有毒有害的气体未危及人体或未造成安全事故时及时排除以防止扩散来減少事故造成的损失是业界亟待解决的ー个技术问题。目前的气体都是由供气端输入进入气体箱(gasbox)进行处理，处理后的气体通过管路供给各个设备端。其中气体箱为密闭的空间，顶端有排风系统，但是从气体箱到设备 端的管路是没有保护措施的，接头处一般用快速接头或衬圈(gas ket)连接，若是没有拧紧接头或管路老化出现漏点，气体就会泄漏扩散危及人体造成安全事故。气体泄漏时如何防扩散且处理掉有害气体变得十分必要。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种气体泄漏时防扩散的装置，以防止有害气体泄漏扩散危及人体及发生事故。本实用新型的技术解决方案是ー种气体泄漏时防扩散装置，包括底座，所述底座内具有一气体通道，所述气体通道围成一封闭形状，所述底座上设有至少ー进气孔，所述底座的上表面设有若干出气孔，所述进气孔和出气孔与所述气体通道相连通；保护罩，位于底座上方且呈倒漏斗形，所述保护罩的下开ロ尺寸大于所述底座的尺寸，所述保护罩上设有有害气体处理装置和抽风装置。作为优选所述底座上的进气孔连接已进气管，进气管上设有调节阀。作为优选所述调节阀的气压量程为0_160psi。作为优选所述保护罩的顶端通过已排风管与所述有害气体处理装置相连，所述有害气体处理装置另一端与所述抽风装置相连。作为优选所述抽风装置采用风机。作为优选所述底座的材料为不锈钢。作为优选所述保护罩的材料为有机玻璃。作为优选所述排风管的材料为有机玻璃。作为优选所述有害气体处理装置采用活性炭吸附装置。作为优选所述有害气体处理装置采用燃烧处理装置。与现有技术相比，本实用新型采用底座上向上的气流形成一圈气墙来阻止泄漏气体的扩散并通过保护罩上的抽气装置和有害气体处理装置及时排除有害气体，避免由于气体的泄漏造成人身或安全事故。所述气体泄漏时防扩散装置结构简单，成本低。
图I是本实用新型气体泄漏时防扩散装置的结构示意图。图2是图I的A-A剖视示意图。图3a_3b为两组气体通道和出气孔的结构示意图。
具体实施方式
本实用新型下面将结合附图作进ー步详述在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新 型内涵的情况下做类似推广，因此本实用新型不受下面公开的具体实施的限制。其次，本实用新型利用示意图进行详细描述，在详述本实用新型实施例吋，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是实例，其在此不应限制本实用新型保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。图I示出了本实用新型的一种气体泄漏时防扩散装置，包括底座I,所述底座I内具有一气体通道(图中未示)，所述通道围成一封闭形状，所述底座I上设有进气孔11(见图2)，所述底座I的上表面设有若干出气孔12，所述进气孔11和出气孔12与所述通道相连通；所述底座I上的进气孔11焊接ー进气管13，所述进气管13上设有调节阀14，所述调节阀14与进气管13螺纹连接，所述调节阀14的气压量程为
0-160psi。所述底座I的材料为不锈钢，如图3a、3b所示，所述底座I内的气体通道可以围成矩形，也可以为环形或其它封闭形状，所述出气孔12的形状可以为圆形、也可以为矩形或其它形状，只要使得当气体从出气孔12喷出时能形成ー圈气墙即可。保护罩2，位于底座I上方呈下大上小两开ロ的倒漏斗形，所述保护罩的两开ロ可以为圆形、椭圆形或其它形状，所述保护罩2的下开ロ 24的长宽分别大于底座I的长宽，所述保护罩2上设有有害气体处理装置21和抽风装置22。所述保护罩2的顶端通过排风管23与有害气体处理装置21相连，有害气体处理装置21另一端与抽风装置22相连。所述抽风装置22采用风机，所述保护罩2的材料为有机玻璃，所述排风管23的材料为有机玻璃，所述保护罩2与排风管23热胶连接。所述有害气体处理装置21可采用活性炭吸附装置、燃烧处理装置或其它的处理装置。下面提供本实用新型的一较佳实施例，所述底座呈矩形，底座上的气体通道呈矩形，所述底座上出气孔12的孔径为10mm，所述出气孔等间隔设置为底座上表面每隔IOmm开设ー个出气孔12，所述进气管13通入的是压缩空气，所述保护罩2的下开ロ 24的长度和宽度都分别大于底座I的长度和宽度200mm，保护罩2的高度为保护罩2下开ロ 24长度的1/4。所述气体泄漏时防扩散装置的使用过程如下将所述气体泄漏时防扩散装置设置在各个需要进行漏气保护的位置处，当发现有泄漏的气体源3吋，开启泄漏处的气体泄漏时防扩散装置的调节阀14向底座I通入压缩空气，调节调节阀14在底座I上方形成ー圈有效的气墙，防止泄漏的气体向外扩散，再打开保护罩2上的风机22抽气，泄漏的有害气体扩散至气墙且随气墙的向上气流向上进入保护罩2 ;泄漏的有害气体被吸入排风管23进入有害气体处理装置21进行处理；经过处理后变成无害气体排入大气中。本实用新型采用底座上向上的气流形成一圈气墙来阻止泄漏气体的扩散并通过保护罩上的抽气装置和有害气体处理装置及时排除有害气体，避免由于气体的泄漏造成人身或安全事故。所述气体泄漏时防扩散装置结构简单，成本低。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，凡依本 实用新型权利要求范围所做的均等变化与修饰，皆应属本实用新型权利要求的涵盖范围。
权利要求1.一种气体泄漏时防扩散装置，其特征在于，包括 底座，所述底座内具有一气体通道，所述气体通道围成一封闭形状，所述底座上设有至少ー进气孔，所述底座的上表面设有若干出气孔，所述进气孔和出气孔与所述气体通道相连通； 保护罩，位于底座上方且呈倒漏斗形，所述保护罩的下开ロ尺寸大于所述底座的尺寸，所述保护罩上设有有害气体处理装置和抽风装置。
2.根据权利要求I所述的气体泄漏时防扩散装置，其特征在于所述底座上的进气孔连接ー进气管，进气管上设有调节阀。
3.根据权利要求2所述的气体泄漏时防扩散装置，其特征在于所述调节阀的气压量程为 0-160psi。
4.根据权利要求I所述的气体泄漏时防扩散装置，其特征在于所述保护罩的顶端通 过ー排风管与所述有害气体处理装置的一端相连，有害气体处理装置的另一端与所述抽风装置相连。
5.根据权利要求4所述的气体泄漏时防扩散装置，其特征在于所述抽风装置采用风机。
6.根据权利要求I所述的气体泄漏时防扩散装置，其特征在于所述底座的材料为不锈钢。
7.根据权利要求I所述的气体泄漏时防扩散装置，其特征在于所述保护罩的材料为有机玻璃。
8.根据权利要求4所述的气体泄漏时防扩散装置，其特征在于所述排风管的材料为有机玻璃。
9.根据权利要求I所述的气体泄漏时防扩散装置，其特征在于所述有害气体处理装置采用活性炭吸附装置。
10.根据权利要求I所述的气体泄漏时防扩散装置，其特征在于所述有害气体处理装置采用燃烧处理装置。
专利摘要本实用新型涉及一种气体泄漏时防扩散装置，包括底座，所述底座内具有一气体通道，所述气体通道围成一封闭形状，所述底座上设有至少一进气孔，所述底座的上表面设有若干出气孔，所述进气孔和出气孔与所述气体通道相连通；保护罩，位于底座上方且呈倒漏斗形，所述保护罩的下开口尺寸大于所述底座的尺寸，所述保护罩上设有有害气体处理装置和抽风装置。本实用新型采用底座上向上的气流形成一圈气墙来阻止泄漏气体的扩散并通过保护罩上的抽气装置和有害气体处理装置及时排除有害气体，避免由于气体的泄漏造成人身或安全事故。所述气体泄漏时防扩散装置结构简单，成本低。
文档编号B08B17/00GK202479195SQ20122006639
公开日2012年10月10日 申请日期2012年2月27日 优先权日2012年2月27日
发明者张伟 申请人:上海集成电路研发中心有限公司