新锗烷废气处理装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开一种新锗烷废气处理装置，主要包括：塔体、填料层，进气通道、储液槽、抽风机，该装置还包括将储液槽中的液体泵入填料层中的循环泵，该处理装置还包括一超声波装置，该超声波装置包括依次连接的超声电源、超声波发生器和至少一个设于塔体底部的超声波换能器，清洗时，启动所述超声波装置，储液槽中的清洗液经由循环泵泵入填料层中进行清洗。本实用新型通过在锗烷废气处理装置中增设超声波清洗装置，不必再将填料层取出清洗，使用方便。
【专利说明】新锗烷废气处理装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种新锗烷废气处理装置。
【背景技术】
[0002]中国专利CN102078759公开一种含锗烷废气的处理装置，所述装置包括塔体，在所述塔体内部具有填料层，所述填料层下方为进气通道，所述塔体底部设置有储液槽，顶部具有抽风机，所述装置还包括将储液槽中的液体泵入填料层中的循环泵，所述含锗烷废气经由所述进气通道，在抽风机的作用下进入所述填料层内部与填料层中的液体反应，除去锗烷气体，剩余气体由抽风机排出塔体。该专利的含锗烷废气的处理装置能够直接应用于太阳能电池和集成电路制造企业的含锗烷废气的处理，但是在对塔进行清洗时需要将填料取出，清洗完毕再装回去，费时费力，操作很不方便。
实用新型内容
[0003]本实用新型要解决的技术问题是提供一种新锗烷废气处理装置，该装置可以方便对塔内填料进行清洗。
[0004]为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案实现:
[0005]新锗烷废气处理装置，主要包括:塔体、所述塔体内部具有填料层，所述填料层下方设有进气通道，所述塔体底部设置有储液槽，顶部设有抽风机，所述装置还包括将储液槽中的液体泵入填料层中的循环泵，其特征在于，该处理装置还包括一超声波装置，该超声波装置包括依次连接的超声电源、超声波发生器和至少一个设于塔体底部的超声波换能器，清洗时，启动所述超声波装置，储液槽中的清洗液经由循环泵泵入填料层中进行清洗。
[0006]其中，至少有四组超声波换能器均匀设于所述塔体底部。
[0007]有益效果:本实用新型通过在锗烷废气处理装置中增设超声波清洗装置，不必再将填料层取出清洗，使用方便。
【专利附图】
【附图说明】
[0008]图1是本实用新型新锗烷废气处理装置结构示意图。
[0009]主要元件符号
[0010]10塔体 11填料层 12进气通道 13储液槽 14抽风机 15循环泵161超声电源162超声波发生器163超声波换能器
【具体实施方式】
[0011]为详细说明本实用新型的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图详予说明。
[0012]请参阅图1，
[0013]新锗烷废气处理装置，主要包括:塔体10、所述塔体内部具有填料层11，填料层11下方设有进气通道12，塔体10底部设置有储液槽13，顶部设有抽风机14，该装置还包括将储液槽中的液体泵入填料层11中的循环泵15，该处理装置还包括一超声波装置，该超声波装置包括依次连接的超声电源161、超声波发生器162和至少一个设于塔体底部的超声波换能器163。
[0014]其中，至少有四组超声波换能器163均匀设于所述塔体底部。
[0015]超声波清洗的主要清洗功能取决于超声波的“空化”作用，液体中的空化核在超声场的作用下振动，当声压达到某个临界值时，空化泡将迅速增长，突然破碎，在空化泡破碎瞬间，产生巨大的冲击波，破坏被清洗物表面的污染物，使之溶解或沉淀在清洗液中。空化气泡在振荡过程中，伴随着声学效应，产生辐射扭力，引起液体本身的微环流运动。
[0016]清洗时，先将储液槽中液体抽出，将清洗液装入储液槽13中，清洗液高度可将填料层11浸没，启动所述超声波装置16，储液槽13中的清洗液经由循环泵15从填料层11上方淋下，并由循环泵15带动不断在塔内循环，填料层11在超声波作用下载清洗液里产生震动，由此填料层11可以与清洗液充分接触，其表面污泥受到超声波撞击和震动脱落，并与清洗液充分反应，达到清洗目的。
[0017]本实用新型结构简单，可有效去除填料层11表面的污物；该结构的装置，清洗方便，可大大减轻人工劳动强度，增加生产效益。
[0018]以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的【技术领域】，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
【权利要求】
1.新锗烷废气处理装置，主要包括:塔体、在所述塔体内部具有填料层，所述填料层下方设有进气通道，所述塔体底部设置有储液槽，顶部设有抽风机，所述装置还包括将储液槽中的液体泵入填料层中的循环泵，其特征在于，该处理装置还包括一超声波装置，该超声波装置包括依次连接的超声电源、超声波发生器和至少一个设于塔体底部的超声波换能器，清洗时，启动所述超声波装置，储液槽中的清洗液经由循环泵泵入填料层中进行清洗。
2.根据权利要求1所述的新锗烷废气处理装置，至少有四组超声波换能器均匀设于所述塔体底部。
【文档编号】B08B3/12GK203577609SQ201320763519
【公开日】2014年5月7日 申请日期:2013年11月27日 优先权日:2013年11月27日
【发明者】陈国富, 施宏伟 申请人:福建博纯材料有限公司