Fccsp全自动在线清洗的制造方法
【专利摘要】本发明属于清洗设备，具体涉及的是一种自动晶片覆晶载板清洗机。本清洗机中化学隔离室、第一风切干燥室和第二风切干燥室中对应的胶辊设有沿覆晶载板移动方向设置的扫风槽，扫风槽用于增大覆晶载板被扫风的面积，扫风槽为沿胶辊径向设置的环形凹槽，胶辊上设有多个扫风槽且沿胶辊轴向均匀设置。本发明采用上胶辊和下胶辊配合夹装覆晶载板，在胶辊上设置环形扫风槽，在风刀向覆晶载板扫风的时候，高速空气可以通过扫风槽通过覆晶载板表面，同时扫风槽设有多个且均匀分布，可以提供更大面积的向覆晶载板扫风面积，扫风槽的设置使得清除清洗液的效率更高。
【专利说明】FCCSP全自动在线清洗机
【技术领域】
[0001]本发明属于清洗设备，具体涉及的是一种自动覆晶载板板清洗机。
【背景技术】
[0002]PCBA (Printed Circuit Board Assembly)是 PCB 空板经过 SMT 上件，再经过DIP插件的整个制程，经过上述制程的PCB板称为PCBA，在对PCB板表面进行流焊或浸焊处理时，需要使用助焊剂，以去除氧化物和降低被焊接材质表面的张力，但是在这个过程中，会有一些助焊剂残留在板上，在后续过程中这些残留助焊剂容易吸附油污、灰尘等，对PCB板的工作造成不良影响和后果。
[0003]如中国专利201210580602.X提出的PCBA在线清洗机，此清洗机在通过网带带动PCBA板从左到右依次进行化学预洗、化学清洗、化学隔离、DI水预漂洗、DI水漂洗、喷淋、风切干燥以及热风烘干等处理，实现PCBA板的全自动在线清洗，使PCBA板的清洗和漂洗更加全面，提高了清洗及漂洗的质量。此清洗机通过网带传送PCBA板，此种传送方式使得PCBA板在通过风刀清理时，因风刀风速较大，PCBA板在网带中跳动，同时PCBA板会偏离预先设定的位置。与此同时，化学清洗和DI水清洗后的清洗也只通过下方的槽收集，并没有提出相应的处理办法，此种清洗液处理方法会造成清洗液的浪费。
【发明内容】
[0004]为解决上述问题，本发明提供FCCSP全自动在线清洗机，本清洗机使得覆晶载板在清洗过程中不会产生位置的偏差，便于清洗结束后的收集；同时本在线清洗机中使用的清洗液和DI水可回收并循环使用，高纯度的DI水槽中的DI水向低纯度的DI水槽中流入，使得DI水可以充分使用，避免DI水的浪费,具有较高的经济价值。
[0005]为实现上述目的，本发明提供一种FCCSP全自动在线清洗机，包括机体，所述机体内设置用于传送覆晶载板的两个水平设置的上胶辊组和下胶辊组，上胶辊组和下胶辊组分别包括多个胶辊，所述上胶辊组和下胶辊组之间设有用于覆晶载板通过的间隙，在上胶辊组和下胶辊组的上方且沿覆晶载板运行方向上依次设置有化学清洗室、化学隔离室、DI水预洗室、第一风切干燥室、DI水漂洗室、喷淋室、第二风切干燥室和热风干燥室,所述化学隔离室、第一风切干燥室和第二风切干燥室中均安装有上风刀和下风刀，所述上风刀和下风刀用于清理覆晶载板表面的清洗液体，所述化学隔离室、第一风切干燥室和第二风切干燥室中对应的胶辊设有沿覆晶载板移动方向设置的扫风槽，所述扫风槽用于增大覆晶载板被扫风的面积，所述扫风槽为沿胶辊径向设置的环形凹槽，所述胶辊上设有多个扫风槽且沿胶辊轴向均匀设置。
[0006]所述DI水预洗室、第一风切干燥室通过管路连接第二槽，所述第二槽用于收集DI水预洗室、第一风切干燥室中的DI水,所述第二槽中的DI水通过第二泵返回DI水预洗室；所述DI水漂洗室通过管路连接第三槽，所述第三槽用于收集DI水漂洗室中的DI水，所述第三槽中的DI水通过第三泵返回DI水漂洗室；所述喷淋室、第二风切干燥室通过管路连接第四槽，所述第四槽用于收集喷淋室、第二风切干燥室中的DI水，所述第四槽中的DI水通过第四泵返回喷淋室；
所述所述第四槽中的DI水可流入第三槽，所述第三槽中的DI水可流入第二槽。
[0007]所述第四槽设有流入管路，所述DI水可通过流入管路补充到第四槽。
[0008]所述化学清洗室、化学隔离室通过管路连接第一槽，所述第一槽用于收集化学清洗室、化学隔离室中的清洗液，所述第一槽中的清洗液通过第一泵返回化学清洗室。
[0009]所述化学清洗室、DI水预洗室、DI水漂洗室和喷淋室中均安装有上喷淋杆和下喷淋杆。
[0010]所述上喷淋杆和下喷淋杆有多组，所述上喷淋杆和下喷淋杆均设有喷头，所述相邻上喷淋杆的喷头在竖直方向的投影交错设置，所述相邻下喷淋杆的喷头在竖直方向的投影交错设置。
[0011]所述上风刀和下风刀与胶辊组所在平面之间的夹角呈70° -80°。
[0012]所述胶辊为耐腐蚀胶辊，所述胶辊为EDMP材料制成。
[0013]所述FCCSP全自动在线清洗机还包括动力轴，动力轴用于对胶辊提供动力，所述动力轴有多个，所述动力轴与下胶辊组中的胶辊齿啮合，所述下胶辊组中的奇数个胶辊与奇数动力轴齿啮合，下胶辊组中的偶数个胶辊与偶数动力轴齿啮合，所述下胶辊组中的胶辊通过直齿与上胶辊组中的胶辊齿啮合。
[0014]所述化学清洗室和化学隔离室内设有除雾冷凝器；所述除雾冷凝器用于提高化学清洗室和化学隔离室内可见度并冷凝收集气态清洗液。
[0015]本发明有益效果:
1、本发明采用上胶辊和下胶辊配合夹装覆晶载板，在胶辊上设置环形扫风槽，在风刀向覆晶载板扫风的时候，高速空气可以通过扫风槽通过覆晶载板表面，同时扫风槽设有多个且均匀分布，可以提供更大面积的向覆晶载板扫风面积，扫风槽的设置使得清除清洗液的效率更高。
[0016]2、第四槽收集喷淋室、第二风切干燥室中的DI水；第三槽用于收集DI水漂洗室中的DI水；第二槽用于收集DI水预洗室、第一风切干燥室中的DI水,使得清洗过程中的DI水可以回收并且循环使用。
[0017]3、第四槽中的高纯度DI水使用后流入第三槽中，第三槽中的DI水用于漂洗,漂洗需要的DI水纯度较低；第三槽中的DI水进一步的流入第二槽，第二槽中的DI水用于预洗，使用DI水纯度最低，第四槽中的DI水为高纯度的DI水，第四槽、第三槽、第二槽中DI水的浓度依次降低，第四槽中的DI水可流入第三槽，所述第三槽中的DI水可流入第二槽，这种设置可以使的DI水的使用率最大化，同时节约DI水的使用量。
[0018]4、上喷淋杆和下喷淋杆有多组，上喷淋杆和下喷淋杆均设有喷头，相邻上喷淋杆的喷头在竖直方向的投影交错设置，相邻下喷淋杆的喷头在竖直方向的投影交错设置，这种交错设置的喷头可以对覆晶载板的喷淋面积最大化，使得喷淋全方位无死角。
[0019]5、上风刀和下风刀与胶辊组所在平面之间的夹角呈70° -80°，上风刀和下风刀与覆晶载板之间设有一个夹角，风刀在清理覆晶载板时，清洗液(包括DI水、预洗液)可以快速脱离覆晶载板，风切清理的效率更高。6、胶辊为耐腐蚀胶辊，所述胶辊为EDMP材料制成，可以避免因胶辊被腐蚀造成覆晶载板二次污染。
[0020]7、动力轴有多个，动力轴与下胶辊组中的胶辊齿啮合，下胶辊组中的奇数个胶辊与奇数动力轴齿啮合，下胶辊组中的偶数个胶辊与偶数动力轴齿啮合，这种动力轴的设置防止因胶辊之间齿轮过于密集产生的转动干涉，交替设置的动力轴故障率明显降低。
[0021]8、化学清洗室和化学隔离室内设有除雾冷凝器，由于用于清洗的清洗液比较昂贵，因此此举可以收集清洗液，并提高化学清洗室和化学隔离室内的可见度。
[0022]9、本清洗机可以同时兼容IC封装基板、CSP、MEMS, PBGA等不同形式基板的清洗，扩展性得到很大的提高。
【专利附图】
【附图说明】
[0023]图1是本发明FCCSP全自动在线清洗机整体结构示意图。
[0024]图2是本发明FCCSP全自动在线清洗机内部结构示意图。
[0025]图3是本发明FCCSP全自动在线清洗机水槽及流入、流出管路示意图。
[0026]图4是本发明FCCSP全自动在线清洗机胶辊结构示意图。
[0027]图5是本发明FCCSP全自动在线清洗机喷淋杆及传动装置示意图。
[0028]图6是本发明FCCSP全自动在线清洗机流体管道示意图。
[0029]图中1-机体、2-除雾冷凝器、3-化学清洗室、4-化学隔离室、5-DI水预洗室、6-第一风切室，7-DI水漂洗室、8-喷淋室、9-第二风切室、10-热风烘干室、11-上胶辊组，12-下胶辊组，13-第一槽，14-第二槽，15-第三槽，16-第四槽，1601-流入管路，17-扫风槽，18-上喷淋杆，19-下喷淋杆,20-动力轴。
【具体实施方式】
[0030]为阐述本发明的思想及目的，下面将结合附图和具体实施例对本发明做进一步的说明。
[0031]FCCSP全自动在线清洗机，包括机体I，其特征在于:机体I内设置用于传送覆晶载板的两个水平设置的上胶辊组11和下胶辊组12，上胶辊组11和下胶辊组12分别包括多个胶辊，上胶辊组11和下胶辊组12之间设有用于覆晶载板通过的间隙，在上胶辊组11和下胶辊组12的上方且沿覆晶载板运行方向上依次设置有化学清洗室3、化学隔离室4、DI水预洗室5、第一风切室6、DI水漂洗室7、喷淋室8、第二风切室9和热风烘干室10，化学隔离室4、第一风切室6和第二风切室9中均安装有上风刀和下风刀，上风刀和下风刀用于清理覆晶载板表面的清洗液体，化学隔离室4、第一风切室6和第二风切室9中对应的胶辊设有沿覆晶载板移动方向设置的扫风槽17，扫风槽17用于增大覆晶载板被扫风的面积，扫风槽17为沿胶辊径向设置的环形凹槽，胶辊上设有多个扫风槽17且沿胶辊轴向均匀设置。本发明采用上胶辊和下胶辊配合夹装覆晶载板，在胶辊上设置环形扫风槽17，在风刀向覆晶载板扫风的时候，高速空气可以通过扫风槽17通过覆晶载板表面，同时扫风槽17设有多个且均匀分布，可以提供更大面积的向覆晶载板扫风面积，扫风槽17的设置使得清除清洗液的效率更闻。
[0032]DI水预洗室5、第一风切室6通过管路连接第二槽14,第二槽14用于收集DI水预洗室5、第一风切室6中的DI水，第二槽14中的DI水通过第二泵返回DI水预洗室5 ；DI水漂洗室7通过管路连接第三槽15，第三槽15用于收集DI水漂洗室7中的DI水，第三槽15中的DI水通过第三泵返回DI水漂洗室7 ;喷淋室8、第二风切室9通过管路连接第四槽16,第四槽16用于收集喷淋室8、第二风切室9中的DI水,第四槽16中的DI水通过第四泵返回喷淋室8 ;第四槽16中的DI水可流入第三槽15,第三槽15中的DI水可流入第二槽14。第四槽16设有流入管路1601，DI水可通过流入管路1601补充到第四槽16。
[0033]第四槽16收集喷淋室8、第二风切室9中的DI水；第三槽15用于收集DI水漂洗室7中的DI水；第二槽14用于收集DI水预洗室5、第一风切室6中的DI水，使得清洗过程中的DI水可以回收并且循环使用。第四槽16中的高纯度DI水使用后流入第三槽15中，第三槽15中的DI水用于漂洗，漂洗需要的DI水纯度较低；第三槽15中的DI水进一步的流入第二槽14，第二槽14中的DI水用于预洗，使用DI水纯度最低，第四槽16中的DI水为高纯度的DI水，第四槽16、第三槽15、第二槽14中DI水的浓度依次降低，第四槽16中的DI水可流入第三槽15,第三槽15中的DI水可流入第二槽14,这种设置可以使的DI水的使用率最大化，同时节约DI水的使用量。
[0034]化学清洗室3、化学隔离室4通过管路连接第一槽13，第一槽13用于收集化学清洗室3、化学隔离室4中的清洗液，第一槽13中的清洗液通过第一泵返回化学清洗室3。
[0035]化学清洗室3、DI水预洗室5、DI水漂洗室7和喷淋室8中均安装有上喷淋杆18和下喷淋杆19。上喷淋杆18和下喷淋杆19有多组，上喷淋杆18和下喷淋杆19均设有喷头，相邻上喷淋杆18的喷头在竖直方向的投影交错设置，相邻下喷淋杆19的喷头在竖直方向的投影交错设置。上喷淋杆18和下喷淋杆19有多组，上喷淋杆18和下喷淋杆19均设有喷头，相邻上喷淋杆18的喷头在竖直方向的投影交错设置，相邻下喷淋杆19的喷头在竖直方向的投影交错设置，这种交错设置的喷头可以对覆晶载板的喷淋面积最大化，使得喷淋全方位无死角。
[0036]上风刀和下风刀与胶辊组所在平面之间的夹角呈70° -80°。上风刀和下风刀与胶辊组所在平面之间的夹角呈70° -80°，上风刀和下风刀与覆晶载板之间设有一个夹角，风刀在清理覆晶载板时，清洗液(包括DI水、预洗液)可以快速脱离覆晶载板，风切清理的效率更高。
[0037]胶辊为耐腐蚀胶辊，胶辊为EDMP材料制成。胶辊为耐腐蚀胶辊，胶辊为EDMP材料制成，可以避免因胶辊被腐蚀造成覆晶载板二次污染。
[0038]FCCSP全自动在线清洗机还包括动力轴20，动力轴20用于对胶辊提供动力，动力轴20有多个，动力轴20与下胶辊组12中的胶辊齿啮合，下胶辊组12中的奇数个胶辊与奇数动力轴20齿啮合，下胶辊组12中的偶数个胶辊与偶数动力轴20齿啮合，下胶辊组12中的胶辊通过直齿与上胶辊组11中的胶辊齿啮合。这种动力轴20的设置防止因胶辊之间齿轮过于密集产生的转动干涉，交替设置的动力轴20故障率明显降低。
[0039]化学清洗室3和化学隔离室4内设有除雾冷凝器2 ;除雾冷凝器2用于提高化学清洗室3和化学隔离室4内可见度并冷凝气态清洗液。化学清洗室3和化学隔离室4内设有除雾冷凝器2，由于用于清洗的清洗液比较昂贵，因此此举可以收集清洗液，并化学清洗室3和化学隔离室4内的可见度。
[0040]化学清洗室3主要由化学清洗立式泵、上喷淋杆18、下喷淋杆19、汇流管、化学液箱、管道以及水刀等组成，化学液体通过化学清洗泵的作用，从化学液箱经过泵、管道直达汇流体和上下喷淋杆19，通过上下喷淋杆19的喷嘴，对上胶辊组11、下胶辊组12上的覆晶载板进行化学清洗，化学液体经过加热的水基型清洗液由高压泵吸入并产生较高的压力液体通过管道进入每个喷嘴，液体由喷嘴射出，并行成扇形水幕冲击在产品表面。清洗后的化学液体通过化学液箱中的过滤网可回留至化学液箱中，进行回收利用。
[0041]化学隔离室4主要由电机、外罩、风轮、上风刀、下风刀、分流管、风刀调节装置等组成，电机带动风轮，将空气通过风轮后形成一定的压力，通至分流管和风刀中，风刀中的高压空气对胶辊上的经过化学漂洗的覆晶载板进行风切，将覆晶载板上经过化学清洗残留下来的化学液体吹掉，从而达到化学隔离的效果，减少化学液体对后续工艺的影响，而通过风刀调节装置能调节风刀的角度，使达到更好的风切效果，吹掉下来的化学液经过化学隔离室4中的过滤网可以回流至化学液箱中。
[0042]DI水预洗室5主要由DI水预洗卧式泵、上喷淋杆18、下喷淋杆19、DI水箱、管道、风刀、风刀调节装置等组成，DI水通过DI水预洗泵的作用，从DI水箱中的预洗箱中通过泵、管道直达上下喷淋杆19，通过上下淋喷杆的喷嘴，对通过胶辊上的覆晶载板进行DI水预洗，同时液体通过DI水箱中的过滤网可回流至DI水箱中的预洗箱。
[0043]DI水预洗室5中包括有上下两把风刀，其与前面的化学隔离共用动力装置，这样既优化了设计，节约成本，同时可对PBCA板预洗中的DI水进行风切，使后续DI水漂洗更加
充分。
[0044]DI水漂洗室7主要由DI水漂洗立式泵、上喷淋杆18、下喷淋杆19、汇流管、DI水箱、管道、水刀等组成，DI水通过DI水漂洗立式泵的作用，从DI水箱通过泵、管道直达汇流体和上下喷淋杆19，通过上下喷淋杆19的喷嘴，对胶辊上的覆晶载板进行DI水漂洗，上侧的最后漂洗为水刀，通过水刀的漂洗，可使覆晶载板的漂洗更加全面，能够有效提高漂洗的质量,而且DI水通过DI水箱中的过滤网可回流至DI水箱中。
[0045]喷淋室8主要由喷淋卧式泵式泵、上喷杆、下喷杆、DI水箱和管道等组成，DI水通过喷淋卧式泵的作用，从DI水箱通过泵、管道直达上下喷淋杆19，通过上下喷淋杆19的喷嘴，对胶辊上的覆晶载板进行DI水喷淋，同时DI水可通过DI水箱中的过滤网回流至DI水箱中。
[0046]风切室包括第一风切室6和第二风切室9，由风机、风刀、分流管、风刀调节装置等组成，空气通过风机并形成一定的压力并通至分流管和风刀中，风刀中的高压空气对胶辊上的刚经过最后喷淋的PBCA板进行另外风切干燥，将PBCA板上经过最后喷淋残留下来的DI水吹掉，达到风切干燥的效果，减少DI水对后面热风干燥工艺段的影响，同时通过调节风刀调节装置调节风刀的角度，可达到更好的风切效果，而吹掉下来的DI水经过DI水箱中的过滤网可回流至DI水箱中。
[0047]化学清洗室3和化学隔离室4设有除雾冷凝器2，冷凝器的目的是收集汽化的清洗液，并提闻机体内的能见度。
[0048]热风烘干室10主要由鼓风机、加热箱和发热管等组成，空气通过鼓风机并形成一定的压力，通至吸口法兰进入到加热箱中，加热箱分上下两层，并设置有15根发热管，将进入加热箱中的高压空气进行加热，并通过所设置的气孔对刚经过风切干燥的PBCA板进行热风烘干，直至出板。
[0049]本发明利用水基型的清洗液进行化学清洗，将载板表面的助焊剂残留、焊膏、锡球、杂质、灰尘、油溃等有害污染清除，使用DI水进行漂洗以及最后的烘干，使覆晶载板达到100%的洁净度，无任何安全隐患，并且对人体和环境无伤害。本发明首先执行化学清洗；此过程一般采用水基型清洗液，由外部添加,清洗作业前必须由加热器对液体进行加热，以增强清洗能力，经过加热的水基型清洗液，由高压泵浦吸入并产生较高的压力，液体通过管道进入每个嗔嘴，并由嗔嘴嗔射出，形成扇型水.冲击在覆晶载板表面，在液体冲击覆晶载板表面时，与板表面的物质发生物理反应，液体产生的压力和物理反应能力能够将覆晶载板表面的锡膏、松香、助焊剂和污染物剥离，通过多个喷嘴交错进行清洗，将覆晶载板面的所有物质全部剥离干净，从而达到化学清洗的目的。而剥离后的污染物经过过滤装置被过滤出来，使清洗液能够循环使用，同时延长清洗液的寿命周期，而且这类清洗液无表面活性剂和无固态物的配方，使清洗件干燥后不会有残留物。不会因靠表面活性剂和污染物的永久结合导致溶液中的有效成分逐渐减少而寿命缩短，清洗后安全可靠。
[0050]化学隔离是将覆晶载板由化学清洗段带出的化学液体，利用高压鼓风机产生的高压风力，经过风刀对其进行隔离。隔离后的液体回流至清洗液箱。目的是降低液体的消耗，减少后段清洗的难度；预漂洗是利用DI水漂洗段溢留出的脏水作为漂洗液，对化学隔离后的覆晶载板表面残留的化学物质的初次漂洗，由高压泵浦将溢留箱的漂洗液吸入并产生较高的压力，液体通过管道进入每个喷嘴，液体由喷嘴喷射出，并形成扇型水幕冲击在覆晶载板表面，在液体冲击覆晶载板表面时，将覆晶载板表面的化学物质剥离，目的是减少后段漂洗的难度，清洗过的DI水直接排走。
[0051]DI水漂洗采用DI水作为漂洗液，由外部管道添加，对预漂洗后的覆晶载板表面残留的化学物质在次漂洗，漂洗作业前必须由加热器对漂洗液进行加热，以增强漂洗能力，经过加热的漂洗液，由高压泵浦吸入并产生较高的压力，液体通过管道进入每个喷嘴，液体由喷嘴喷射出，并形成扇型水幕冲击在覆晶载板表面，通过多个喷嘴交错进行清洗，将覆晶载板面的所有物质全部剥离，达到漂洗的目的，而且该过程漂洗液循环使用，并有溢流功能，在漂洗过程中比重较清的物质会漂浮在水面，通过溢流口流至溢留箱，以减少化学物质对漂洗箱液体的污染。
[0052]喷淋是利用水处理设备产生的DI水作为漂洗液，DI水的电阻值非常高，可达1M以上，其离子含量在清洗行业规定范围内，使用纯净的DI水对DI水漂洗段后的PCB板表面进行最后的漂洗，DI水由外部管道接入并保持相应的压力，DI水通过管道进入每个喷嘴，液体由喷嘴喷射出，并形成扇型水幕冲击在覆晶载板表面，在液体冲击覆晶载板表面时，将覆晶载板表面的所有化学物质剥离干净，达到100%洁净，漂洗过的DI水回流至漂洗箱，目的节省水的消耗。
[0053]另外，胶辊传输的具体链接方式为线接触，减少接触面积可以使清洗更充分，产品在上下胶辊之间传输，上下胶辊的间隙很小，仅容产品在中间通过，因此在产品传输的过程当中可保持产品的稳定性，而不会导致基板被清洗时候或者是经过风刀时候引起上下跳动。
[0054]清洗段喷嘴选用的是大流量高压力方式清洗，预漂洗到DI水漂洗段用窄角型扇形喷嘴流量小，压力高，最后喷淋阶段使用的是外部DI水，电阻率高作为最后清洗阶段。
[0055]清洗液箱和漂洗水箱出水口都设置有高压设置有液泵，过滤器(精度5 μ m)箱体内都设置有过滤网(精度2*2mm)。
[0056]以上是对本发明所提供的覆晶载板在线清洗机进行了详细的介绍，本文中应用了具体个例对本发明的结构原理及实施方式进行了阐述，以上实施例只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在【具体实施方式】及应用范围上均会有改变之处，综上，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。
【权利要求】
1.FCCSP全自动在线清洗机，包括机体，其特征在于:所述机体内设置用于传送覆晶载板的两个水平设置的上胶辊组和下胶辊组，上胶辊组和下胶辊组分别包括多个胶辊，所述上胶辊组和下胶辊组之间设有用于覆晶载板通过的间隙，在上胶辊组和下胶辊组的上方且沿覆晶载板运行方向上依次设置有化学清洗室、化学隔离室、DI水预洗室、第一风切干燥室、DI水漂洗室、喷淋室、第二风切干燥室和热风干燥室,所述化学隔离室、第一风切干燥室和第二风切干燥室中均安装有上风刀和下风刀，所述上风刀和下风刀用于清理覆晶载板表面的清洗液体，所述化学隔离室、第一风切干燥室和第二风切干燥室中对应的胶辊设有沿覆晶载板移动方向设置的扫风槽，所述扫风槽用于增大覆晶载板被扫风的面积，所述扫风槽为沿胶辊径向设置的环形凹槽，所述胶辊上设有多个扫风槽且沿胶辊轴向均匀设置。
2.根据权利要求1所述的FCCSP全自动在线清洗机，其特征在于:所述DI水预洗室、第一风切干燥室通过管路连接第二槽，所述第二槽用于收集DI水预洗室、第一风切干燥室中的DI水，所述第二槽中的DI水通过第二泵返回DI水预洗室；所述DI水漂洗室通过管路连接第三槽，所述第三槽用于收集DI水漂洗室中的DI水，所述第三槽中的DI水通过第三泵返回DI水漂洗室；所述喷淋室、第二风切干燥室通过管路连接第四槽，所述第四槽用于收集喷淋室、第二风切干燥室中的DI水，所述第四槽中的DI水通过第四泵返回喷淋室； 所述第四槽中的DI水可流入第三槽，所述第三槽中的DI水可流入第二槽。
3.根据权利要求2所述的FCCSP全自动在线清洗机，其特征在于:所述第四槽设有流入管路，所述DI水可通过流入管路补充到第四槽。
4.根据权利要求1所述的FCCSP全自动在线清洗机，其特征在于:所述化学清洗室、化学隔离室通过管路连接第一槽，所述第一槽用于收集化学清洗室、化学隔离室中的清洗液，所述第一槽中的清洗液通过第一泵返回化学清洗室。
5.根据权利要求1所述的FCCSP全自动在线清洗机，其特征在于:所述化学清洗室、DI水预洗室、DI水漂洗室和喷淋室中均安装有上喷淋杆和下喷淋杆。
6.根据权利要求5所述的FCCSP全自动在线清洗机，其特征在于:所述上喷淋杆和下喷淋杆有多组，所述上喷淋杆和下喷淋杆均设有喷头，所述相邻上喷淋杆的喷头在竖直方向的投影交错设置，所述相邻下喷淋杆的喷头在竖直方向的投影交错设置。
7.根据权利要求1所述的FCCSP全自动在线清洗机，其特征在于:所述上风刀和下风刀与胶辊组所在平面之间的夹角呈70° -80°。
8.根据权利要求1所述的FCCSP全自动在线清洗机，其特征在于:所述胶辊为耐腐蚀胶辊，所述胶辊为EDMP材料制成。
9.根据权利要求1所述的FCCSP全自动在线清洗机，其特征在于:所述FCCSP全自动在线清洗机还包括动力轴，动力轴用于对胶辊提供动力，所述动力轴有多个，所述动力轴与下胶辊组中的胶辊齿啮合，所述下胶辊组中的奇数个胶辊与奇数动力轴齿啮合，下胶辊组中的偶数个胶辊与偶数动力轴齿啮合，所述下胶辊组中的胶辊通过直齿与上胶辊组中的胶辊齿啮合。
10.根据权利要求1所述的FCCSP全自动在线清洗机，其特征在于:所述化学清洗室和化学隔离室内设有除雾冷凝器；所述除雾冷凝器用于提高化学清洗室和化学隔离室内可见度并冷凝收集气态清洗液。
【文档编号】B08B3/02GK104226624SQ201410468379
【公开日】2014年12月24日 申请日期:2014年9月16日 优先权日:2014年9月16日
【发明者】杨智文, 李健 申请人:深圳市凯尔迪光电科技有限公司