专利名称：物品热处理装置与具有收纳部的装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及物品热处理装置。本发明的物品热处理装置适用于将各种电气、电子装置、其零件的各种材料等置于规定的温度中或进行其耐热性或耐寒性等的试验、或进行所希望的加热处理的用途。本发明的物品热处理装置，可应用于例如LCD(Liquid Crystal Display液晶显示器)的玻璃基板和热处理、或半导体制品的老化试验。
另外，本发明还涉及像物品热处理装置那样内部具有物品收纳部并具有用于向收纳部搬入或搬出物品的开关部的装置。
而这些电子装置，在制造工序与试验工序中具有进行热处理的工序。例如液晶显示器，在制造工序中要进行玻璃基板的热处理。另外在集成电路元件中，要进行被称作老化试验的试验，在该老化试验过程中进行热处理。
上述玻璃基板的热处理或集成电路的老化试验，都需将这些构件搬入物品热处理装置中进行。作为物品热处理装置，在日本特开平6-317514号与特开2000-169169号中所公开的内容已为公知。
在这些物品热处理装置中，在其内部设有被绝热材料覆盖的热处理室。在物品热处理装置中还设有用于向热处理室取出放入工件的开关部。在物品热处理装置内部设有载置物品的载置架。
这里已知，在现有技术的物品热处理装置的开关部中有具有上下方向移动的门的构造、和具有以铰链摆动的门的构造。在设置于物品热处理装置内部的物品载置架中有固定式的和升降式的构造。
即，在现有技术的物品热处理装置中采用的一种开关部，在物品处理装置的一面设置导向件，门沿该导向件上下移动。例如前述特开2000-169169号中即采用这种构造。
另一种构成是，在门的一端侧设置铰链，门以该铰链为支点摆动、开关。
在物品热处理装置中，为防止内部热空气跑出去，开关部的门设计得尽可能小。
即，如注重向装置内取出放入物品时的作业效率，最好开关部的门是相当于热处理室大小那样的大的构造。但是，开关部的门越大，内部处理气体或漏出、或外气侵入，内部维持规定的空气温度越困难。
因此，在这种物品热处理装置中，开关部的门要尽可能设计得小。
在前者的特开平6-317514号所公开的构成中，在热处理室内部设置升降式物品载置架，升降载置架侧使载置架移动到开关部的高度，以适当的间距在载置架上载置工件。
在后者的特开2000-169169号所公开的构成中，将小型的门沿高度方向多个排列，从各个门向设置于内部的物品载置架上载置工件。
但是，受近年来液晶显示器等需要量增加与大型化的影响，进行热处理的工件在现有基础上增大成大的工件。因此，如是前者构成那样在热处理室内部设置升降架的构成，升降架需要相当大的结构，设计上有限制，不能发挥充分的性能。
一方面，如采用后者固定式载置架和小型而多个门的组合构成，由于开关门彼此之间存在干扰宽度，有着不能以有效的间距在处理室内配置工件的缺点。
即，在后者的特开2000-169169号中所公开的构成，虽然具有由气缸升降的门，在气缸高度或行程方面自然存在下限，要以所希望的间距设置开口部就比较困难。
另外，若取代升降式的开关部而采用挡板式的门的情况也一样，打开挡板式的门时门自身厚度成了干扰尺寸，热处理室内的工件的间距变得太宽。即在这种装置中使用的门，由于内藏绝热材料而变厚。另外，用于使门摆动的铰链安装部分宽度也变宽，难于缩小配置工件的间距。
本发明即是着眼于现有技术的上述问题，其目的在于开发可以有效间距在热处理室内配置工件、可高效热处理大量工件的热处理装置。并提供具有能解决上述同样问题的收纳部的装置的方案。
在本发明的物品热处理装置中，开关部采用了由多个长形开关片层叠构成面的结构。
长形开关片在表面具有大致呈圆弧状的曲面的同时，可以长度方向的轴为中心旋转。另外，长形开关片与相邻接的长形开关片的前述曲面所描绘的旋转轨迹相干扰的部位为缺口形状。因此，各长形开关片可与相邻接的长形开关片无干扰地旋转。
如前所述，由于在长形开关片上有缺口部分，当长形开关片旋转到规定角度时，该缺口部分连通热处理室内外。即，用于向热处理室搬入或搬出物品的开关部呈打开状态。
另一方面，当表面非欠缺部分位于外面侧或内面侧的旋转角度的情况下，开关部呈关闭状态。
第二项发明的物品热处理装置，在内部具有热处理室，并具有向该热处理室搬入或搬出物品的开关部；其特征在于，前述开关部是由多个长形开关片层叠构成面的结构，各长形开关片表面具有凸状面，同时可以长度方向的轴为中心旋转；长形开关片的旋转轨迹与相邻接的长形开关片的旋转轨迹重复；而且，长形开关片与相邻接的长形开关片的前述凸状面所描绘的旋转轨迹相干扰的部位欠缺，使长形开关片旋转特定角度时，前述凸状面可侵入相邻接的长形开关片的旋转轨迹内。
在本发明的物品热处理装置中，也是采用开关部由多个长形开关片层叠构成面的结构。
长形开关片表面具有凸状面，同时可以长度方向轴为中心旋转。另外在本发明中，也是长形开关片在与相邻接的长形开关片的凸状面所描绘的旋转轨迹相干扰的部位为缺口形状。因此，各长形开关片可与相邻接的长形开关片无干扰地旋转。
另外，在本发明中也是当长形开关片旋转到规定角度时，缺口部分连通热处理室内外，用于向热处理室搬入或搬出物品的开关部呈打开状态。
在本发明的物品热处理装置中，长形开关片旋转到特定角度开关部呈打开状态时，凸状面侵入相邻接的长形开关片的旋转轨迹内。因此，从实质上消除了开关部件的厚度损失，可使开关部更大的范围地开关。
第三项发明的物品热处理装置，在内部具有热处理室，并具有用于向该热处理室搬入或搬出物品的开关部，其特征在于，前述开关部是由多个长形开关片层叠构成面的结构，各长形开关片，具有面对配置的一对遮蔽壁，同时可与相邻接的长形开关片无干扰地以长度方向的轴为中心旋转。
在本发明的物品热处理装置中，其开关部也是采用由多个长形开关片层叠构成面的结构。
在本发明的物品热处理装置中，长形开关片具有面对配置的一对遮蔽壁。长形开关片可与相邻接的长形开关片无干扰地以长度方向的轴为中心旋转。
在本发明的物品热处理装置中，由于长形开关片具有面对配置的一对遮蔽壁，当处在该遮蔽壁位于外面侧与内面侧的旋转角度的情况下，开关部成关闭状态。
另一方面，当遮蔽壁对连结外面侧与内面侧的线略呈大致平行状态时，用于向热处理室搬入或搬出物品的开关部成打开状态。
第四项发明是在第一～第三项发明中任一项所记载的物品热处理装置中，其特征在于，长形开关孔为中空圆筒状，面对的二面欠缺，当使长形开关片的前述欠缺的二面向着热处理室的内外方向时，通过该二面连通热处理室内外；当使长形开关片的圆筒面向着热处理室的内外方向时，热处理室内外被遮蔽。
这里，所谓中空圆筒状是指在内部具有空洞部的大致圆筒形状的意思，内部空洞形状未必都是柱状。
在本发明的物品热处理装置中，长形开关片为中空圆筒形，面对的二面欠缺，因此，长形开关片的二面可连通。因此，当使长形开关片的前述欠缺的二面向着收纳部内外方向时，通过该二面热处理室内外连通，开关部成打开状态。
另一方面，当使长形开关片的圆筒面向着收纳部的内外方向时，热处理室内外被遮蔽，开关部成关闭状态。
第五项发明是在第一～第三项发明中的任一项所记载的物品热处理装置中，其特征在于，在热处理室内部设物品载置架，该物品载置架有多层，其高度对应于长形开关片的位置。
在本发明的物品热处理装置中，在热处理室内部设置具有多层的物品载置架。且物品载置架层的高度对应于长形开关片的位置。因此，如果将长形开关片旋转到打开位置开关部打开时，架的层处位于呈开口的部位的高度。因此，向热处理室的工件的搬入容易。
第六项发明是在第一～第三项发明中的任一项所记载的物品热处理装置中，其特征在于，为长形开关片的一部分，通过长形开关片热处理室的内外被遮蔽的状态时，在接近相邻接的长形开关片的部位上设置具有弹性的密封构件。
在本发明的物品热处理装置中，为长形开关片的一部分，在接近相邻接的长形开关片的部位设置具有弹性的密封构件。因此，在长形开关片处于关闭状态时，密封构件位于长形开关片彼此之间，可提高长形开关片相互间的气密性。当使长形开关片旋转时，虽然存在密封构件与长形开关片相干扰的情况，但由于本发明所采用的密封构件具有弹性，当使长形开关片旋转时，如长形开关片抵上密封构件，密封构件可靠自身的弹性力脱开。因此，密封构件不会成为长形开关片旋转时的障碍。
第七项发明是关于具有收纳部的装置，该收纳部有着与上述各发明大致相同的作用效果。该装置内部具有收纳物品的收纳部，并具有用于向该收纳部搬入或搬出物品的开关部；其特征在于，前述开关部是由多个长形开关片层叠构成面状的结构，各长形开关片为中空圆筒状、面对的二面欠缺，而且，各长形开关片可以长度方向的轴为中心旋转；当使长形开关片的前述欠缺的二面向着收纳部的内外方向时，通过该二面收纳部的内外连通；当使长形开关片的圆筒面向着收纳部的内外方向时，收纳部的内外被遮蔽。
在本发明的具有收纳部的装置中，和前述第一、第二项发明一样，开关部采用了由多个长形开关片层叠构成面的结构。
在本发明的装置中，长形开关片为中空圆筒状，面对的二面欠缺。因此，当长形开关片的前述欠缺的二面向着收纳部内外方向时，通过该二面收纳部的内外连通，开关部成打开状态。
另一方面，当长形开关片的圆筒面向着收纳部的内外方向时，收纳部内外被遮蔽，开关部成关闭状态。
图2是
图1的物品热处理装置正视图。
图3是图1的物品热处理装置俯视剖面图。
图4是图1的物品热处理装置侧视图。
图5是图1的物品热处理装置开关部的放大立体图，表示开关部关闭的状态。
图6是图1的物品热处理装置开关部的放大立体图，表示开关部打开的状态。
图7(a)是开关部关闭状态的图1的物品热处理装置开关部的剖面图；(b)是开关部打开状态的图1的物品热处理装置开关部的剖面图；(c)是表示长形开关片的端面的说明图。
图8是图1的物品热处理装置驱动部分的局部放大正视图。
图9是图1的物品热处理装置驱动部分的局部放大侧视图。
图10表示本发明第二实施例的物品热处理装置；(a)是开关部关闭状态的物品热处理装置开关部的剖面图；(b)是开关部打开状态的物品热处理装置开关部的剖面图；(c)是表示长形开关片端面的说明图。
图11是图10所示的物品热处理装置中采用的密封构件立体图。
图12是本发明第三实施例物品热处理装置中采用的开关部的放大立体图；表示开关部关闭的状态。
图13(a)是开关部关闭状态的图12的物品热处理装置开关部的剖面图；(b)是开关部打开状态的图12的物品热处理装置开关部的剖面图；(c)是表示长形开关片端面的说明图。
图14是本发明第三实施例的物品热处理装置中采用的开关部的放大立体图；表示开关部关闭的状态。
图15(a)是开关部关闭状态的图14的物品热处理装置开关部的剖面图；(b)是开关部打开状态的图14的物品热处理装置开关部的剖面图；(c)是表示长形开关片的端面的说明图。
图1是本发明实施例的物品热处理装置的立体图。图2是图1的物品热处理装置正视图。图3是图1的物品热处理装置的俯视剖面图。图4是图1的物品热处理装置的侧视图。图5是图1的物品热处理装置的开关部之放大立体图，所示为开关部关闭的状态。图6是图1的物品热处理装置的开关部放大立体图，所示为开关部打开的状态。图7(a)是开关部关闭状态的图1的物品热处理装置的开关部的剖面图；图7(b)是开关部打开状态的图1的物品热处理装置的开关部的剖面图；图7(c)是表示长形开关片的端面的说明图。图8是图1的物品热处理装置驱动部分的局部放大正视图。图9是图1的物品热处理装置驱动部分的局部放大侧视图。
在图中，1是本发明实施例的物品热处理装置。本发明的物品热处理装置1，外形形状是立方体，其内部设有热处理槽2。热处理槽2是与公知的热处理槽同样由绝热壁围起来的空间。具体而言，热处理槽2，是由除正面之外的5个绝热壁围成的空间。即热处理槽2具有顶面壁5、底面壁6、背面壁7和左右侧面8、9，其中任何一件都是由绝热材料做成。
在热处理槽2的正面侧，设有高度比较低的正面壁10(图4)。正面壁10，与热处理槽2的全高相比较低，即热处理槽2的正面侧大部分没有壁。
热处理槽2的内部，大体被分割为物品热处理室11与气体供给循环部12。即在热处理槽2内部里侧位置成壁状配置着过滤器13，再在热处理槽2内部离开底面壁6的80cm左右高度位置，设置底面构件15(图4)。在物品热处理室11的正面侧(开口侧)近旁的两侧部分，立设着吸气筒4。且在底面构件15上设未图示的开口。
底面壁6与底面构件15间及过滤器13与背面壁7间的空间作为气体供给循环部12发挥作用。
另外，由热处理槽2的顶面壁5、过滤器13、左右侧面8、9和底面构件15构成物品热处理室11。
在前述气体供给循环部12设有电加热器16和风扇17，由电加热器16将内部空气升温到希望的温度，由风扇17使该空气循环向物品热处理室11中送入高温空气。将物品热处理室保持高温空气。
另一方面，在物品热处理室11的内部，设有物品载置架20。物品载置架20，具有共计40层架层22。各架层22由分别成悬臂支承的3个带状板21构成。
物品热处理室11的架层22配置成每5层为1组。即，架层22，5层以一定间隔配列，在与下一个5层间设有比前述间隔宽的间隔。更具体一点说，从上边到第5层的架层22，以一定的间隔配列，从第5层到第6层的间隔比前述间隔要宽。接下来，从第6层至第10层以和至前述第5层同样的间隔配置。同样，从第10层到第11层的间隔又比前边的间隔宽，从第11层到第15层的间隔又和至第5层的间隔相同。
物品热处理室11的架层22各组高度，与后述的开关部25的长形开关片26的各高度相一致。
在物品热处理室11的正面侧无绝热壁，而是设置用于向物品热处理室11搬入或搬出物品的开关部25。即如前所述，热处理槽2的正面壁10与热处理槽的全高比较低，物品热处理室11的正面侧无绝热壁。而是在物品热处理室11的正面侧设置开关部25。
在物品热处理室11的正面侧设置的开关部25，是本实施例中特有的构成，详细说明如下。
在本实施例的物品热处理装置1中，开关部25，如图1所示是多个长形开关片26纵向层叠起来构成面的结构。
长形开关片26，是将厚度1mm左右的钢板加工制作而成，做成图5、6(为明确其特征部分将全长缩短描绘)所示的中空圆筒状。但是，如后所述，由于长形开关片26的内部配有绝热材料，即使是所谓的“中空圆筒状”，长形开关片26的内部空间形状也不是柱状。
而且，长形开关片26，面对的二面欠缺。
即，长形开关片26，如图7所示(为明确其特征部分，使壁厚比实际的要厚)，具有外周部，在长度方向的两端设有端面壁30、31。
长形开关片26的外周部，具有由缺口部32、33分割的外壁部27、28。外壁部27、28的形状是圆筒形的一部分，是扇形具有圆弧面。外壁27、28的形状可以说是向外侧凸状的面。
在长形开关片26的外周部，设有前述那样的角度θ为80°～90°左右的缺口部32、33(图7)。二个缺口部32、33的相互位置成轴对称。二个缺口部32、33任何一个都跨过长形开关片26的长度方向的全区域。
从而，长形开关片26的横断面外形线，任何部位都成圆的一部分欠缺的形状。即，长形开关片26的横断面外形线，圆弧状的外壁部27、28处于轴对称位置，圆弧状外壁部27、28相互间壁欠缺。换言之，长形开关片26为，面对配置做成圆弧状的一对遮蔽壁(凸状的外壁部27、28)。
如将目光转移到长形开关片26内部，像图7那样在其内部安装着绝热材料35。如更具体地说明的话，长形开关片26如前所述是扇形、具有凸状圆弧面的外壁部27、28。在外壁部27、28的端面相互间设有里板构件36。换言之，外壁部27、28的内面侧凹部由里板构件36填塞。而且，在由外壁部27、28和里板构件36围成的空隙内充填着绝热材料35。
前述里板构件36是带状并大致呈平板状。另外，里板构件36的厚度与外壁部27、28相同，为1mm左右。
长形开关片26的端面壁30、31，如图7(c)所示成砝码形。即端面壁30、31，其周面与外壁部27、28的端面相接合，具有与外壁部27、28同一曲率的凸状圆弧面40。而且在相当于外壁部27、28的缺口部32、33的部位挖成凹状圆弧面41。
凹状圆弧面41的曲率比外壁部27、28的曲率稍大些。其理由是用于确保长形开关片26相互间动作上间隙。
出于同样的理由，凹状圆弧面41的长度比外壁部27、28的缺口部32、33的假想圆弧42的长度L也稍长。
但两者的差异是微小的，大概凹状圆弧面41的角度α等于前述缺口部32、33的角度θ。
另外，在长形开关片26的端面壁30、31的中心设置轴43。
在本实施例的物品热处理装置1中，开关部25具有8根上述的长形开关片26，将其任何一个都水平配置、成在高度方向层叠起来的构造。这里，长形开关片26的间隔(中心间距离)都比长形开关片26的直径短。即在本实施例的物品热处理装置1中，相邻接的长形开关片26，外周部的圆弧相互间有一部分重叠。
相邻接的长形开关片26的轴间距离，是在使一方的长形开关片26的缺口部32、33向着内外方向时，另一方的长形开关片26的端面壁30、31的凹状圆弧面41与前述一方的端面壁30、31的凸状圆弧面40大致相吻合的距离。且在实际上，为确保动作上的间隙，在使一方长形开关片26的缺口部32、33向着内外方向时，另一方长形开关片26的端面壁30、31的凹状圆弧面41，与上述一方的端面壁30、31的凸状圆弧面40间设有几毫米左右的间隙。
另外该轴间距离，也是使各长形开关片26的缺口部32、33向着位于上下方向时，相邻接的长形开关片26的缺口部32、33的开口端相互大致相接的距离。
上述8个长形开关片26的任何1个两端的轴43都由轴承45可旋转地支承。
如图1、8、9所示，在位于物品热处理装置1右侧的轴43上设有曲柄46。在各长形开关片26的各自的曲柄上安装着气缸47。从而，在本实施例的物品热处理装置1中，通过使气缸47伸缩，即可使长形开关片26以长度方向的轴43为中心旋转。
下边来说明本实施例的物品热处理装置1的作用。
在本实施例的物品热处理装置1的物品热处理室11中配置工件并对工件热处理的情况下，关闭上述的开关部25。
具体而言即是，使气缸47伸缩、使各长形开关片26旋转，如图7(a)所示，在全部各长形开关片26的外壁部27、28大致成垂直位置停止。换句话说，使长形开关片26的圆筒面(外壁部27、28)向着面对物品热处理室11的内外方向的方向。
其结果，缺口部32、33位于上下方向，该缺口部32、33由相邻接的长形开关片26掩盖。因此，在物品热处理装置的正面侧，如图1、5和图7(a)那样，各长形开关片26的圆弧状一方的外壁部27并列成壁状。
即各长形开关片26，如前述那样，朝向使各长形开关片26的缺口部32、33位于上下方向时，由于相邻接的长形开关片26的缺口部32、33的开口端相互大致连接地配列，使长形开关片26的外壁部27、28成大致垂直位置，在物品热处理装置1的正面侧各长形开关片26的圆弧状一方外壁部27上下一列地并列。
因此，通过一方的外壁部27物品热处理室11的内外被遮蔽。
在本实施例中，由于长形开关片26的断面形状为对称形，在物品热处理室11中另一方的外壁部28也并列成壁状。因此，由该一方的外壁部28也可遮蔽物品热处理室11的内外。另外，在本实施例的物品热处理装置1中，通过内外的外壁部27、28物品热处理室11的内外被遮蔽，通过安装于外壁部27、28的绝热材料35使内外绝热。再就是，在本实施例中，在长形开关片26内部形成空气层，由该空气层也可绝热。即在本实施例中，在长形开关片26内部，在里板构件36相互间设有空气层。因此，本实施例中采用的长形开关片26，其绝热性能较高。
另外，在本实施例的物品热处理装置1的物品热处理室11中插入工件的情况下，打开相当于物品载置架20的希望高度的架层22的位置的长形开关片26。
具体说，伸缩气缸47，使特定的长形开关片26旋转。如按图7(b)，使从上边数第二层的长形开关片26b转90°。
在本实施例的物品热处理装置1中，由于长形开关片26相互间中心间的间隔，比长形开关片26的直径短，如使长形开关片26b转90°，大致呈圆弧状的凸状外壁部27、28进入相邻接的长形开关片26a、26c的圆筒轨迹内。但是，在本实施例的物品热处理装置1中，在开关部25关闭状态，如前所述，缺口部32、33位于上下方向。从而，开关部25要从关闭状态打开，使长形开关片26b转90°时，相邻接的长形开关片26a、26c任一个的缺口部32、33都会向着要旋转的长形开关片26b侧开口。如用以前例说明，在使第二个长形开关片26b转90°时，第一个长形开关片26a的一方的缺口部33向下，第三个长形开关片26c的一方的缺口部32向上。
长形开关片26的直径都一样大小，由于长形开关片26相互的轴间距离，是使各长形开关片26的缺口部32、33向着位于上下方向位置时，相邻接长形开关片26的缺口部32、33的开口端相互间大致相接的距离，如使长形开关片26b旋转，外壁部27、28即进入相邻接的长形开关片26a、26c的缺口部32、33内。
即在本实施例中，长形开关片26在和相邻接的长形开关片26的外壁部27、28的曲面所描绘的旋转轨迹相干扰的部位具有缺口部32、33，即与旋转轨迹相干扰的部位被挖掉了。在本实施例中，长形开关片26的旋转轨迹与相邻接的长形开关片26的旋转轨迹相重叠，外壁部27、28膨出为凸状的部分进入了相邻接的长形开关片26的缺口部32、33。
在本实施例的物品热处理装置1中，对于设在端部的端面壁30、31也同样处置。即，长形开关片26的端面壁30、31成砝码形，在相当于外壁部27、28的缺口部32、33的部分成凹状圆弧面41，被挖去。
从而，在本实施例的物品热处理装置1中，对于设在端部的端面壁30、31在与旋转轨迹相干扰部位设有凹状圆弧面41，与旋转轨迹相干扰的部位被挖去。
从而，在本实施例的物品热处理装置1中，即使使长形开关片26b旋转，在相邻接的长形开关片26a、26c也不会引起冲突。
如使长形开关片26b转90°，外壁部27、28在大致呈水平姿势的位置停下来。换句话说，长形开关片26b的圆筒面(外壁部27、28)成面对上下方向。其结果，缺口部32、33位于正面侧及物品热处理室11侧，物品热处理室11内外连通。即，缺口部32、33位于正面侧，物品热处理室11内外连通。
在本实施例的物品热处理装置1中，配置于物品热处理室11内的物品载置架20，架层22每5层为一组配列，各组处于相当于长形开关片26的高度。因此，使用图中未示的输送装置将工件插入缺口部32、33，如水平移动工件，工件即放置于所希望的架层22上。
因此，本实施例的物品热处理装置1，物品的收容及取出是很容易的。
在本实施例的物品热处理装置中，将长形开关片26做成相对旋转轴对称形状的旋转型，在从横向轴向看旋转体的情况下，通过使上下的长形开关片26的旋转轨迹与上下其他长形开关片26的旋转轨迹的重叠，可实现固定于物品热处理室11内部的载置架的层的基板间距的效率化.最适化。
再有，由于使上下长形开关片26旋转轨迹重叠，且避开了干扰，在旋转轨迹重叠部分设凹形挖去部分，可实现长形开关片26相互间距缩小。
即在旋转长形开关片26开关部25打开时，长形开关片26的厚壁部分(由外壁部27、28与里板构件36形成的弓形部分)完全吻合地收纳于相邻接的长形开关片26的内部。因此，从实质上消除了开关构件的厚度损失，可使开关部25的大致整个范围开关。
另外，该长形开关片26旋转体全部是由厚度t1.0mm左右的薄板板金材料构成。同时长形开关片26的支承也很简单。
而且，由于长形开关片26完全成对称形状，由于和上下相邻接的长形开关片26间没有特别的尺寸限制，故可构成任何层数的任意的闸门。
在以上说明的实施例中，使各长形开关片26的缺口部32、33位于上下方向相向时，相邻接的长形开关片26的缺口部32、33的开口端相互间大致连接地配列，确保了物品热处理室11的绝热性。于是，由于在以这种方法不能保证充分绝热性的情况下，或因制作上的尺寸精度关系，有时也不得不设计成比长形开关片26的缺口部32、33的开口端相互间大的间隙。
在这种情况下，推荐图10那样的构成。在以下所示的实施例中，与前述实施例的构成零件相同的构成零件给予相同符号而省去重复说明。
图10表示本发明其它的第二实施例的物品热处理装置，(a)是开关部关闭状态的物品热处理装置开关部剖面图；(b)是开关部打开状态的物品热处理装置开关部剖面图；(c)是表示长形开关片的端面的说明图。图11是图10所示物品热处理装置中采用的密封构件的立体图。
在本实施例中所采用的开关部60中，在长形开关片26内部，在其上部侧的缺口部32的开口端设有密封构件61。密封构件61是具有如橡胶一样弹性的柔软的材料。
密封构件61的形状，为图11所示带状。密封构件61，由图中未示的粘结剂、铆接或螺纹等安装于上部侧的缺口部32的开口端，其一半从该长形开关片露出，进入相邻接的长形开关片26内部。
在本实施例中所采用的开关部中，在长形开关片26内部，密封构件61位于相邻接的长形开关片26的接缝部分，堵塞了长形开关片26相互之间的间隙。因此，本实施例中所采用的长形开关片26，可以提高物品热处理室11的气密性。
在图10所示实施例中，虽然将密封构件61设于长形开关片26的内面侧，也可以设在外周面侧成开口端。
在上述的实施例中，展示出了具有2个缺口部32、33的长形开关片26。即在上述构成中，以圆筒形为基本构造，设置2个缺口部32、33，使得长形开关片26在直径方向贯穿。
另外，将长形开关片26的端面壁30、31做成砝码形。
上述构成，仅在与相邻长形开关片26的外壁部27、28的曲面所描绘的旋转轨迹相干扰的部位设有缺口部32、33，仅使与旋转轨迹相干扰的部位成挖去形状。
另外，在上述实施例中，将设在端部的端面壁30、31做成砝码形，就端面壁30、31来说，也仅在和旋转轨迹相干扰的部位成挖去形状。
但是，旋转轨迹与挖去部位的形状未必要一致，只要是与旋转轨迹相干扰部位成欠缺形状足矣。
比如也可采用图12、图13所示那样的长形开关片63。
即，图12是本发明第三实施例的物品热处理装置中所采用的开关部放大立体图，表示的是开关部的关闭状态。图13(a)是开关部关闭状态的图12的物品热处理装置的开关部的剖面图；(b)是开关部打开状态的图12物品热处理装置的开关部的剖面图；(c)是表示长形开关片端面的说明图。
即图12、13所示的长形开关片63，仅是单面具有圆弧面状的凸面。对于本实施例的构成，长形开关片，可以说是与相邻接的长形开关片的曲面所描绘的旋转轨迹相干扰的部位是缺口形状。
在前述实施例中所采用的长形开关片26，任一外壁部27、28都是圆弧面，但未必全是圆弧面。外壁部也可以是如图14、15所示那样的具有圆弧面与平面部的结构。
即，图14是本发明第三实施例物品热处理装置所采用的开关部放大立体图，表示了开关部的关闭状态。图15(a)是开关部关闭状态的图14的物品热处理装置的开关部的剖面图；(b)是开关部打开状态的图14的物品热处理装置的开关部的剖面图；(c)是表示长形开关片的端面说明图。
在图14、15所示的开关部放大立体图中，外壁部66、67在中心部具有平面部69。如更具体说明，外壁部66由圆弧面部68、平面部69、和圆弧面部70构成凸状的面。
长形开关片的形状，可以如图14、15所示的那样具有平面部分，但从确保气密性和旋转的圆滑性的观点出发，在缺口部32、33的近旁部分最好是圆弧面。
作为本发明的主要构成的长形开关片，虽然以用于物品热处理装置为目的被开发出来，但也可以广泛应用于内部具有物品收纳部，并具有向收纳部搬入或搬出物品的开关部的装置。
如上述说明，本发明的物品热处理装置，开关部中采用了多个长形开关片层叠起来构成面的结构。
在本发明的物品热处理装置中，通过使长形开关片旋转，可使长形开关片一一开关。
因此本发明的物品热处理装置具有可以有效的间距在热处理室内配置工件，可高效地热处理大量工件的效果。
权利要求
1.一种物品热处理装置，这种物品热处理装置在内部具有热处理室，并具有用于向该热处理室搬入或搬出物品的开关部；其特征在于，前述开关部是多个长形开关片层叠构成面的结构，各长形开关片在表面具有大致呈圆弧状的曲面的同时，可以长度方向的轴为中心旋转，而且，长形开关片，与相邻接的长形开关片的前述曲面所描绘的旋转轨迹相干扰部位为缺口形状。
2.一种物品热处理装置，这种物品热处理装置在内部具有热处理室，并具有用于向该热处理室搬入或搬出物品的开关部；其特征在于，前述开关部是由多个长形开关片层叠构成面的结构，各长形开关片在表面具有凸状的面的同时，可以长度方向的轴为中心旋转；长形开关片的旋转轨迹与邻接的长形开关片的旋转轨迹重复；而且，长形开关片，与邻接的长形开关片前述凸状面所描绘的旋转轨迹相干扰部位欠缺；当使长形开关片转至特定的角度时，前述凸状面侵入邻接的长形开关片的旋转轨迹内。
3.一种物品热处理装置，这种物品热处理装置在内部具有热处理室，并具有用于向该热处理室搬入或搬出物品的开关部；其特征在于，前述开关部是由多个长形开关片层叠构成面的结构，各长形开关片具有面对配置的一对遮蔽壁，同时可以与相邻接的长形开关片不相干扰地以长度方向的轴为中心旋转。
4.如权利要求1～3中任一项所述的物品热处理装置，其特征在于，长形开关片为中空圆筒状，面对的二面欠缺，当使长形开关片的前述欠缺的二面向着热处理室的内外方向时通过该二面连通热处理室内外，当使长形开关片的圆筒面向着热处理室的内外方向时，热处理室的内外被遮蔽。
5.如权利要求1～3中任一项所述的物品热处理装置，其特征在于，在热处理室内部设有物品载置架，该物品载置架有多层，其高度对应于长形开关片的位置。
6.如权利要求1～3中任一项所述的物品热处理装置，其特征在于，为长形开关片的一部分，该密封构件设在通过长形开关片热处理室内外被遮蔽的状态时，在与相邻接的长形开关片接近的部位上设置具有弹性的密封构件。
7.一种具有收纳部的装置，在内部具有收纳物品的收纳部，并具有用于向该收纳部搬入或搬出物品的开关部；其特征在于，前述开关部是由多个长形开关片层叠构成面状的结构，各长形开关片成中空圆筒状，面对二面欠缺，而且，各长形开关片可以长度方向的轴为中心旋转，当使长形开关片的前述欠缺的二面向着收纳部内外方向时，通过该二面连通收纳部内外；当使长形开关片的圆筒面向着收纳部的内外方向时，收纳部内外被遮蔽。
全文摘要
为开发可以有效的间距将工件配置于热处理室内，并可高效地热处理大量工件的热处理装置，物品热处理装置1具有热处理槽2，在其内部具有物品热处理室11。在物品热处理室11的正面侧设有用于将物品搬入或搬出的开关部25。开关部25是由多个长形开关片26纵向层叠构成面的结构。长形开关片26成中空圆筒状，面对的二面欠缺。使长形开关片26旋转可打开开关部25。
文档编号C03B27/00GK1450346SQ0212786
公开日2003年10月22日 申请日期2002年8月13日 优先权日2002年3月29日
发明者田中秀树 申请人:爱斯佩克株式会社