专利名称：光学系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及具有防反射膜的光学系统，该防反射膜形成于在照像、双筒镜、望远镜、显微镜等中所使用、在多个波长或者频带中使用的光学元件上。
背景技术：
防反射膜的目的是用于降低由于构成光学系统的光学元件和介质的折射率不同而产生的反射。这样的反射光照射到像面的话，会产生重影和晕斑，给光学性能带来明显得不良影响。近年来，光学系统所必需的光学性能提高，对于形成于该光学系统所配置的光学元件中的防反射膜，也要求其在比以往更大的入射角度范围中具有更好的低反射性能。
为了满足这样的要求，由各种材料或膜厚组合而成的多层膜设计技术或多层膜成膜技术也在逐渐进步(请参照例如特开2000-356704号公报)。
但是，在根据现有方法形成的防反射膜中，光线入射到形成有该防反射膜的光学面上的入射角度增加，并从斜向入射的话，防反射膜的特性发生变化，其作为防反射膜的作用急剧变弱，反射光增加这样的问题就会产生。这样的反射面在光学系统中仅有一面的话，由于该反射光回到物体侧，不会直接对光学系统的光学性能产生影响，但是如果这样的面有多面的话，反射光到达像侧，产生重影和晕斑的危险性会变高。近年，随着镜头大口径化的发展，入射到光学元件的光线的角度范围也有了扩大的倾向，因此很容易产生重影和晕斑。
发明内容
本发明鉴于所述问题而提出，其目的是提供一种光学系统，该光学系统具有在可见光区域中能够在大的角度范围内实现低反射率的防反射膜。
为了解决上述问题，本发明第一方案涉及的光学系统至少由透光的透光部件和光圈构成，所述透光部件具有呈凹面状的光学面，在向着光圈的呈凹面状的光学面的至少一面上形成有防反射膜，所述防反射膜是至少包括一层或以上利用溶胶-凝胶法形成的层的特殊防反射层。
另外，本发明第二方案涉及的光学系统，至少由透光的透光部件和光圈构成，所述透光部件具有呈凹面状的光学面，在向着光圈的呈凹面状的光学面的至少一面上形成有防反射膜，所述防反射膜是至少包括一层或以上折射率小于等于1.3的层(例如，实施方式中的第四层1d)的特殊防反射层。
该本发明第一方案和第二方案涉及的光学系统，当焦距设为f、具有特殊防反射膜的光学面的曲率半径设为rs时，优选的是满足下式0≤f/rs＜10.0其中，在凹面的形状向着光圈时rs的符号为正(rs＞0)。
此时，优选的是，形成有特殊防反射膜的光学面构成为对于入射到所述光学面的、波长区域大于等于400nm小于等于700nm的所述光线，当所述光线的入射角大于等于0度小于等于25度时，反射率小于等于0.5％，且当所述光线的入射角大于等于0度小于等于60度时，反射率小于等于3.5％。
另外，本发明第一方案和第二方案涉及的光学系统，优选的是，在折射率大约为1.52的透光部件上形成有特殊防反射膜，该特殊防反射膜由以下部分构成当基准光线的波长λ设为550nm时，第一层，形成于透光部件的光学面上，折射率大约为1.65，且光学膜厚大约为0.27λ；第二层，形成于所述第一层上，折射率大约为2.12，且光学膜厚大约为0.07λ；第三层，形成于所述第二层上，折射率大约为1.65，且光学膜厚大约为0.30λ；以及第四层，形成于所述第三层上，折射率大约为1.25，且光学膜厚大约为0.26λ。
此时，优选的是，第一层由氧化铝以真空蒸镀法形成；第二层由氧化钛和氧化锆的混合物以真空蒸镀法形成；第三层由氧化铝以真空蒸镀法形成；第四层由氟化镁以溶胶-凝胶法形成。
另外，本发明第一和第二方案涉及的光学系统，优选的是，用于波长区域大于等于400nm、小于等于700nm的光线。
另外，该光学系统优选的是用作成像光学系统或观察光学系统。
本发明第一和第二方案涉及的光学系统如上构成的话，通过在该光学系统中形成的特殊防反射膜，对于可见光区域(波长在400nm～700nm之间)的光线，即使该光线的入射角在很大角度范围内(0度～60度)也能实现低反射率。因此，能很有效地抑制重影和晕斑的产生。
图1是表示本发明涉及的防反射膜结构的说明图。
图2是表示本发明涉及的防反射膜的分光特性的图表。
图3是具有形成了第一实施例涉及的防反射膜的光学元件的成像光学系统的透镜结构图。
图4是具有形成了第二实施例涉及的防反射膜的光学元件的成像光学系统的透镜结构图。
图5是具有形成了第三实施例涉及的防反射膜的光学元件的成像光学系统的透镜结构图，入射光线在第一重影产生面和第二重影产生面上反射的情形。
图6是具有形成了第三实施例涉及的防反射膜的光学元件的成像光学系统的透镜结构图，入射光线在第三重影产生面和第二重影产生面上反射的情形。
具体实施例方式
以下参照附图对本发明的优选实施方式进行说明。首先，参照图1对本实施方式中所用的特殊防反射膜(以下称为“防反射膜1”)进行说明。该防反射膜1由4层构成，形成于透光的透光部件(光学部件2)的光学面上。第一层1a由氧化铝以真空蒸镀法蒸镀形成。另外，在该第一层1a上还形成有由氧化钛和氧化锆的混合物以真空蒸镀法蒸镀形成的第二层1b；还有，在该第二层1b上形成有由氧化铝以真空蒸镀法蒸镀形成的第三层1c；并且，在如此形成的第三层1c上形成有由氟化镁以溶胶-凝胶法形成的第四层1d，从而形成第一实施例涉及的防反射膜1。此处，所谓溶胶-凝胶法是指，将光学薄膜材料溶胶涂布在光学部件的光学面上，堆积成凝胶膜后，浸渍于液体中，将该液体的温度及压力升高到临界状态以上后，通过将该液体气化、干燥制成膜的制造方法。
这样，通过电子束蒸镀这一干式工艺制成该防反射膜1的第一层1a至第三层1c，最上层即第四层1d是利用由氟酸/乙酸镁法调制而成的溶胶液，通过湿式工艺，经过以下顺序制成首先，事先利用真空蒸镀设备在透镜成膜面(上述光学部件2的光学面)上按顺序形成作为第一层1a的氧化铝层、作为第二层1b的氧化钛和氧化锆混合层、作为第三层的氧化铝层。接着，从蒸镀设备中取出光学部件2后，将用氟酸/乙酸镁法调制而成的溶胶液通过旋涂法进行涂布，形成作为第四层1d的氟化镁层。此时氟酸/乙酸镁法的反应式如下式(1)所示。
(1)
用于该成膜的溶胶液是在原料进行混合后，在蒸压器中以140℃进行高温加压熟化处理24小时后，再用于成膜。该光学部件2在第四层1d的成膜结束后，在大气中以150℃进行1小时的加热处理后完成。通过利用这样的溶胶-凝胶法，原子或分子以从数个到数十个的程度聚集，能够得到大小从数nm到数十nm的粒子，然后，数个这样的粒子聚集，形成二次粒子，通过将这些二次粒子进行堆积形成第4层1d。
下面参照图2所表示的分光特性对如此形成的防反射膜1的光学性能进行说明。另外，该图2表示基准波长λ为550nm时，光学部件2的折射率为1.52，即第一层1a的折射率为1.65，其光学膜厚为0.27λ；第二层1b的折射率为2.12，其光学膜厚为0.07λ；第三层1c的折射率为1.65，其光学膜厚为0.30λ；第四层1d的折射率为1.25，其光学膜厚为0.26λ时的分光特性。从图2可以看出，对于可见光区域(波长在400nm～700nm)的光线，即使入射角为60度，其反射率也在3.5％以下，实现了非常低的反射率。并且，入射角在0或25度的情况下，其反射率在0.5％以下，实现了非常低的反射率。另外，这些反射率对于基准波长，即使在短波长侧(400nm附近)和长波长侧(700nm附近)也没有恶化，该防反射膜对于400nm～700nm的波长区域能够维持同等的效果。
另外，该防反射膜1如后述实施例所示，用于设置在面向光圈呈凹面状的透镜的光学面上。另外，此处所谓凹面状也包括平面。优选的是，该凹面状具有曲率。
另外，当把具有这样的光学面的光学系统的焦距设为f，将具有防反射膜1的光学面的曲率半径设为rs时，满足以下条件式(2)。另外，在条件式(2)中，当面向光圈呈凹面状时，曲率半径rs的符号为正(rs＞0)。
0≤f/rs＜10.0 (2)
上述条件式(2)规定了具有防反射膜1的光学面的曲率半径rs对于光学系统的焦距的最佳范围。如果超过下限值的话，上述光学面就成为面向光圈的凸面状，很难成为重影产生面，因而不能发挥防反射效果。如果超过上限值的话，曲率半径过小，很难成为重影产生面，因而不能发挥防反射效果。另外，为了确保本发明的效果，条件式(2)的上限值优选的是6.0。上限值再优选的是5.0。另外，上限值更优选的是3.5。另外，条件式(2)的下限优选的是不含0。
第一实施例其次，参照图3，作为第一实施例，作为具有形成有上述防反射膜1的光学元件的光学系统，对成像光学系统10进行说明。该成像光学系统10用作焦距从18mm至35mm连续变化的摄像机用变焦镜头，从物体侧依次由用作保护玻璃的平行平面板F、凸面向着物体侧的负弯月形透镜L1、将凸面向着物体侧的负弯月形透镜L2与凸面向着物体侧的负弯月形透镜L3贴在一起的结合透镜、双凹透镜L4、双凸透镜L5、将凸面向着物体侧的负弯月形透镜L6与双凸透镜L7贴在一起的结合透镜、孔径光圈P，将双凸透镜L8与双凹透镜L9贴在一起的结合透镜、将凸面向着物体侧的负弯月形透镜L10与双凸透镜L11贴在一起的结合透镜、以及双凸透镜L12构成，把物体的像成像在像面I上。另外，在该成像光学系统10中，负弯月形透镜L2的物体侧的面(面号3)是非球面形。
当与光轴垂直的方向上的高度设为y，沿着从非球面的顶点的切面到高度为y的非球面上的位置的光轴的距离设为x(y)，r设为近轴曲率半径(基准球面的曲率半径)，κ设为圆锥曲线常数，Cn设为n次非球面系数，此处的非球面形可以表示为下式(3)。
x(y)＝(y2/r2)/(1+(1-κ(y2/r2))1/2)+C4y4+C6y6+C8y8+C10y10(3)下表1表示该第一实施例中涉及的成像光学系统10的各个透镜的参数。该表1中的面号1～23是成像光学系统10涉及的内容，分别对应于图3中的符号1～23。另外，在表1中，r表示透镜面的曲率半径，d表示透镜面的间隔，vd表示对于d线的阿贝数，nd表示对于d线的折射率，f表示焦距，Bf表示后焦距。并且，下述参数一览表中公开的焦距f、曲率半径r、面间隔d以及其他长度单位，在没有特别说明的情况下一般使用“mm”，但由于光学系统中无论比例扩大或者比例缩小都能得到同等的光学性能，因此不用将单位限定为“mm”，用其他适当的单位也可以。另外，在非球面系数Cn(n＝4，6，8，10)中，例如，“E-09”表示“×10-09”。在下表1中，对于非球面，面号的右侧带有*号。这些说明同样适用于后面的实施例。
(表1)f＝18.500Bf＝38.272面号r dvd nd1 ∞ 3.00064.11.51680 F2 ∞ 2.5001.000003 50.76 2.50045.31.79500L14 19.41 7.0001.000005*44.27 0.10055.61.50625L26 28.81 2.00045.31.79500L37 22.20 8.2001.000008 -121.571.70044.81.74400L49 49.85 6.8001.0000010 58.05 4.50028.61.79504L511 -149.1728.422 1.0000012 51.03 1.00047.41.78800L613 23.03 3.80056.41.50137L714 -54.97 5.1661.0000015 ∞ 1.5008.6 1.00000P16 17.65 14.200 59.51.53996L817 -27.28 1.30045.31.79500L9
18 32.29 0.7001.0000019 110.45 1.30037.41.83400 L1020 14.03 5.30082.51.49782 L1121 -23.36 0.1001.0000022 138.28 1.60059.51.53996L1223 -138.28 1.00000(非球面数据)第5面κ＝5.435C4＝7.1876E-06 C6＝-3.6412E-09C8＝3.9918E-11 C10＝-3.3225E-14如图3所示，从物体侧入射的光线R以与光轴A成45度的角度(入射角度)入射到成像光学系统10中的话，在负弯月形透镜L2的物体侧的面(即第一重影产生面，其面号为3)上反射，其反射光在负弯月形透镜L1的像侧的面(即第二重影产生面，其面号为4)再次反射，到达像面I，产生重影。另外，在第一实施例中，记载了将孔径光圈P换算成表示透镜的亮度的F数，缩小到22的情形。发明人发现，从透光的透光部件(即透镜)中的光学系统的光圈(瞳孔)看，向着凹面的面即是重影产生面。第一重影产生面5和第二重影产生面4从孔径光圈P看都是向着凹面的。因此，在这样的面上形成用于对应大的波长范围中大的入射角的防反射膜1，具有成像光学系统10的重影降低效果。
第二实施例图4表示作为本发明第二实施例的成像光学系统20。该成像光学系统20是焦距为14mm的摄像机用镜头，从物体侧依次由凸面向着物体侧的负弯月形透镜L1、凸面向着物体侧的正弯月形透镜L2、凸面向着物体侧的负弯月形透镜L3、将凸面向着物体侧的负弯月形透镜L4与凸面向着物体侧的负弯月形透镜L5贴在一起的结合透镜、凸面向着物体侧的负弯月形透镜L6、双凸透镜L7、将凸面向着物体侧的负弯月形透镜L8与双凸透镜L9贴在一起的结合透镜、双凹透镜L10、孔径光圈P，将双凸透镜L11与凹面向着物体侧的弯月形透镜L12贴在一起的结合透镜、将凹面向着物体侧的正弯月形透镜L13与双凹透镜L14贴在一起的结合透镜、凹面向着物体侧的正弯月形透镜L15、以及凹面向着物体侧的正弯月形透镜L16构成，把物体的像成像在像面I上。另外，在该成像光学系统20中，负弯月形透镜L4的物体侧的面(面号7)和弯月形透镜L12的像侧的面(面号22)是非球面形。
下表2表示该第二实施例中涉及的成像光学系统20的各个透镜的参数。该表2中的面号1～29是成像光学系统20涉及的内容，分别对应于图4中的符号1～29。
(表2)f＝14.286Bf＝40.856面号r dvd nd1 50.00 3.00037.21.83400L12 34.00 9.2001.000003 51.90 8.00050.21.72000L24 141.600.1501.000005 37.70 1.20049.61.77250L36 17.70 7.5001.000007*70.00 0.20041.21.53610L48 40.00 1.00050.21.72000L59 16.10 5.6001.0000010 150.001.00055.31.67790L611 20.32 3.0001.0000012 24.63 8.00035.31.59270L713 -64.304.7641.0000014 31.80 1.00049.61.77250L815 9.94 8.00040.81.58144L9
16 -19.66 1.0001.0000017 -26.20 1.00046.61.80400L1018 98.00 1.5001.0000019 ∞ 2.0001.00000P20 37.00 7.00047.21.54072L1121 -37.00 0.20041.21.53610L1222*-37.00 0.5001.0000023 -57.52 2.80064.11.51633L1324 -21.60 1.50025.41.80518L1425 84.37 1.2501.0000026 -79.70 4.50081.61.49700L1527 -15.18 0.1501.0000028 -108.303.50065.51.60300L1629 -27.30 1.00000(非球面数据)第7面κ＝1.000C4＝2.2907E-05 C6＝-3.6930E-08C8＝7.7131E-11 C10＝6.4108E-14第22面κ＝1.000C4＝4.6227E-05 C6＝3.1878E-10C8＝-2.7411E-09 C10＝1.9713E-11如图4所示，从物体侧入射的光线R以与光轴A成22度的角度(入射角度)入射到成像光学系统20中的话，在负弯月形透镜L3的物体侧的面(即第一重影产生面，其面号为5)上反射，其反射光在负弯月形透镜L1的像侧的面(即第二重影产生面，其面号为2)再次反射，到达像面I，产生重影。另外，在第二实施例中，记载了将孔径光圈P换算成表示透镜的亮度的F数，缩小到8的情形。这样，第一重影产生面5和第二重影产生面2从孔径光圈P看都是向着凹面的。因此，通过在这些面上形成防反射膜1，能够有效抑制重影。
第三实施例其次，参照图5和图6，作为第三实施例，作为具有形成有上述防反射膜1的光学元件的光学系统，对成像光学系统30进行说明。该成像光学系统30用作焦距为293.798mm的摄像机用镜头，从物体侧依次由用作保护玻璃的平行平面板F1、双凸透镜L1、将双凸透镜L2与双凹透镜L3贴在一起的结合透镜、将凸面向着物体侧的负弯月形透镜L4与双凸透镜L5贴在一起的结合透镜、双凹透镜L6、将凹面向着物体侧的正弯月形透镜L7与双凹透镜L8贴在一起的结合透镜、孔径光圈P，双凸透镜L9、凹面向着物体侧的负弯月形透镜L10、凹面向着物体侧的正弯月形透镜L11、以及用作保护玻璃的平行平面板F2构成，把物体的像成像在像面I上。下表3表示该第三实施例中涉及的成像光学系统30的各个透镜的参数。该表3中的面号1～24是成像光学系统30涉及的内容，分别对应于图5和图6中的符号1～24。
(表3)f＝293.798Bf＝75.053面号r d vd nd1 ∞ 4.000 64.11.51680F2 ∞ 0.600 1.000003 173.87 12.00082.51.49782L14 -978.06 0.200 1.000005 134.20 15.00082.51.49782L26 -460.58 5.000 46.61.80400L37 332.91 46.3001.000008 99.36 3.500 44.81.74400L49 55.69 15.90082.51.49782L510 -1333.1829.7071.00000
11-169.972.70064.11.51680L61267.28 4.5101.0000013-192.937.00033.91.80384L714-43.08 2.80061.31.58913L81583.89 20.103 1.0000016∞ 1.7001.00000P17203.13 5.10069.91.51860L918-99.77 3.0571.0000019-43.00 2.50028.51.79504L1020-61.85 9.1001.0000021-176.544.70069.91.51860L1122-53.37 30.600 1.0000023∞ 2.00064.11.51680F224∞ 75.053 1.00000如图5所示，从物体侧入射的光线R以与光轴A成2度的角度(入射角度)入射到成像光学系统30中的话，在双凸透镜L9的像侧的面(即第一重影产生面，其面号为18)上反射，其反射光在负弯月形透镜L4的物体侧的面(即第二重影产生面，其面号为8)再次反射，到达像面I，产生重影。这样，第一重影产生面18和第二重影产生面8从孔径光圈P看都是向着凹面的。因此，在这些面中的第一重影形成面上形成防反射膜1，就能够有效抑制重影。
另外，如图6所示，从物体侧入射的光线R以与光轴A成2度的角度(入射角度)入射到成像光学系统30中的话，在负弯月形透镜L10的像侧的面(即第三重影产生面，其面号为20)上反射，其反射光在负弯月形透镜L4的物体侧的面(即与上述相同，第二重影产生面，其面号为8)再次反射，到达像面I，产生重影。这样，第三重影产生面20和第二重影产生面8从孔径光圈P看都是向着凹面的。在这些面中的第三重影形成面上形成防反射膜1，就能够有效抑制重影。另外，在第三实施例(图5和图6)中，记载了将孔径光圈P换算成表示透镜的亮度的F数，缩小到5.6的情形。
另外，下面表示条件式(2)对于实施例1～3的对应值。
(条件式(2)的对应值)实施例1 rs＝19.41(第4面) f/rs＝0.953rs＝44.27(第5面) f/rs＝0.418实施例2 rs＝34.00(第2面) f/rs＝0.420rs＝37.70(第5面) f/rs＝0.379实施例3 rs＝99.77(第18面) f/rs＝2.944rs＝61.85(第20面) f/rs＝4.750另外，即使在上述成像光学系统10、20、30的像面侧设置目镜，用作观察光学系统，防反射膜1也能发挥同样的效果，能够观察到抑制了重影和晕斑的像。
如上所述，利用本实施例涉及的防反射膜1，可以提供能实现在可见光区域(400nm～700nm)内，在大角度范围中的低反射率的光学元件，再将该光学元件用于光学系统，就能够提供重影和晕斑少的、高光学性能的光学系统。特别是，在凹面向着孔径光圈P的透光元件(透镜)的面上形成防反射膜1，就能够比现在更有效地抑制光学系统的重影和晕斑，提供更高光学性能的光学系统。
权利要求
1.一种光学系统，其特征在于，至少由透光的透光部件和光圈构成；所述透光部件具有光学面，该光学面呈凹面状且向着所述光圈，在所述光学面的至少一面上形成有防反射膜，所述防反射膜是至少包括一层或以上利用溶胶-凝胶法制成的层的特殊防反射层。
2.根据权利要求1所述的光学系统，其特征在于，焦距设为f、具有所述特殊防反射膜的光学面的曲率半径设为rs时，满足下式0≤f/rs＜10.0其中，在凹面的形状向着光圈时rs的符号为正(rs＞0)。
3.根据权利要求2所述的光学系统，其特征在于，形成有所述特殊防反射膜的所述光学面，对于入射到所述光学面的、波长区域大于等于400nm小于等于700nm的所述光线，当所述光线的入射角大于等于0度小于等于25度时，反射率小于等于0.5％，且当所述光线的入射角大于等于0度小于等于60度时，反射率小于等于3.5％。
4.根据权利要求2所述的光学系统，其特征在于，在折射率大约为1.52的所述透光部件上形成有所述特殊防反射膜，该特殊防反射膜由以下部分构成当所述光线的基准波长λ设为550nm时，第一层，形成于所述透光部件的所述光学面上，折射率大约为1.65，且光学膜厚大约为0.27λ；第二层，形成于所述第一层上，折射率大约为2.12，且光学膜厚大约为0.07λ；第三层，形成于所述第二层上，折射率大约为1.65，且光学膜厚大约为0.30λ；第四层，形成于所述第三层上，折射率大约为1.25，且光学膜厚大约为0.26λ。
5.根据权利要求1所述的光学系统，其特征在于，形成有所述特殊防反射膜的所述光学面，对于入射到所述光学面的、波长区域大于等于400nm小于等于700nm的所述光线，当所述光线的入射角大于等于0度小于等于25度时，反射率小于等于0.5％，且当所述光线的入射角大于等于0度小于等于60度时，反射率小于等于3.5％。
6.根据权利要求1所述的光学系统，其特征在于，在折射率大约为1.52的所述透光部件上形成有所述特殊防反射膜，该特殊防反射膜由以下部分构成当所述光线的基准波长λ设为550nm时，第一层，形成于所述透光部件的所述光学面上，折射率大约为1.65，且光学膜厚大约为0.27λ；第二层，形成于所述第一层上，折射率大约为2.12，且光学膜厚大约为0.07λ；第三层，形成于所述第二层上，折射率大约为1.65，且光学膜厚大约为0.30λ；第四层，形成于所述第三层上，折射率大约为1.25，且光学膜厚大约为0.26λ。
7.根据权利要求6所述的光学系统，其特征在于，所述第一层由氧化铝以真空蒸镀法形成；所述第二层由氧化钛和氧化锆的混合物以真空蒸镀法形成；所述第三层由氧化铝以真空蒸镀法形成；所述第四层由氟化镁以溶胶-凝胶法形成。
8.根据权利要求1所述的光学系统，其特征在于，用于波长区域大于等于400nm、小于等于700nm的光线。
9.根据权利要求1所述的光学系统，其特征在于，用作成像光学系统。
10.根据权利要求1所述的光学系统，其特征在于，用作观察光学系统。
11.一种光学系统，其特征在于，至少由透光的透光部件和光圈构成，所述透光部件具有光学面，该光学面呈凹面状且向着所述光圈，在所述光学面的至少一面上形成有防反射膜，所述防反射膜是至少包括一层或以上折射率小于等于1.3的层的特殊防反射层。
12.根据权利要求11所述的光学系统，其特征在于，焦距设为f、具有所述特殊防反射膜的光学面的曲率半径设为rs时，满足下式0≤f/rs＜10.0其中，在凹面的形状向着光圈时rs的符号为正(rs＞0)。
13.根据权利要求12所述的光学系统，其特征在于，形成有所述特殊防反射膜的所述光学面，对于入射到所述光学面的、波长区域大于等于400nm小于等于700nm的所述光线，当所述光线的入射角大于等于0度小于等于25度时，反射率小于等于0.5％，且当所述光线的入射角大于等于0度小于等于60度时，反射率小于等于3.5％。
14.根据权利要求12所述的光学系统，其特征在于，在折射率大约为1.52的所述透光部件上形成有所述特殊防反射膜，该特殊防反射膜由以下部分构成当所述光线的基准波长λ设为550nm时，第一层，形成于所述透光部件的所述光学面上，折射率大约为1.65，且光学膜厚大约为0.27λ；第二层，形成于所述第一层上，折射率大约为2.12，且光学膜厚大约为0.07λ；第三层，形成于所述第二层上，折射率大约为1.65，且光学膜厚大约为0.30λ；第四层，形成于所述第三层上，折射率大约为1.25，且光学膜厚大约为0.26λ。
15.根据权利要求11所述的光学系统，其特征在于，形成有所述特殊防反射膜的所述光学面，对于入射到所述光学面的、波长区域大于等于400nm小于等于700nm的所述光线，当所述光线的入射角大于等于0度小于等于25度时，反射率小于等于0.5％，且当所述光线的入射角大于等于0度小于等于60度时，反射率小于等于3.5％。
16.根据权利要求11所述的光学系统，其特征在于，在折射率大约为1.52的所述透光部件上形成有所述特殊防反射膜，该特殊防反射膜由以下部分构成当所述光线的基准波长λ设为550nm时，第一层，形成于所述透光部件的所述光学面上，折射率大约为1.65，且光学膜厚大约为0.27λ；第二层，形成于所述第一层上，折射率大约为2.12，且光学膜厚大约为0.07λ；第三层，形成于所述第二层上，折射率大约为1.65，且光学膜厚大约为0.30λ；第四层，形成于所述第三层上，折射率大约为1.25，且光学膜厚大约为0.26λ。
17.根据权利要求16所述的光学系统，其特征在于，所述第一层由氧化铝以真空蒸镀法形成；所述第二层由氧化钛和氧化锆的混合物以真空蒸镀法形成；所述第三层由氧化铝以真空蒸镀法形成；所述第四层由氟化镁以溶胶-凝胶法形成。
18.根据权利要求11所述的光学系统，其特征在于，用于波长区域大于等于400nm、小于等于700nm的光线。
19.根据权利要求11所述的光学系统，其特征在于，用作成像光学系统。
20.根据权利要求11所述的光学系统，其特征在于，用作观察光学系统。
全文摘要
本发明公开了一种光学系统。在由多个光学部件(F、L1～L12)和孔径光圈(P)构成的成像光学系统(10)中，在这些光学部件中的凹面向着孔径光圈P的透光部件(例如，负弯月形透镜(L1、L2))的该凹面(2、3)上形成有防反射膜1，该防反射膜1至少包括一层或以上利用溶胶－凝胶法制成的层。
文档编号C03C17/34GK1677131SQ20051006250
公开日2005年10月5日 申请日期2005年3月30日 优先权日2004年3月30日
发明者田中一政 申请人:株式会社尼康