专利名称：一种石英晶片腐蚀机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及石英晶片腐蚀领域，尤其涉及一种石英晶片腐蚀机。
背景技术：
石英晶体的研究开发和生产活动中，对晶片的生产加工需要一个腐蚀过 程。现有技术的腐蚀工艺为在晶片腐蚀机的机械臂上悬挂腐蚀架，该腐蚀架具 有若干蜂窝状空格，每个空格中装载一个被腐蚀的晶片，装载晶片的空格既要 使腐蚀液充分进入，又不能让晶片掉出来，因此这种腐蚀架结构比较复杂。悬 挂完毕之后晶片腐蚀机的机械臂带动腐蚀架在腐蚀液内上下往复运动，对晶片 表面进行腐蚀作业。腐蚀完成后需要将腐蚀架内的晶片连同腐蚀架一起清洗干 净，再将腐蚀架拆开，把晶片取出。
因此，大量的生产实践表明现有的石英晶片腐蚀机具有以下缺点
1、 生产投入大，成本高，主要表现为人力成本较高，尤其对于大规模生 产，需要安排大量员工，进行装入晶片和组合、装卸腐蚀架。
2、 工人劳动强度大，生产效率低，现有的工艺过程过多的依靠工人手动 操作，自动化程度低。
3、 晶片易碎易裂导致在装卸腐蚀架过程中，晶片损失大，产品成本增加。 综上可知，所述现有技术的石英晶片腐蚀机在实际使用上显然存在不便与
缺陷，所以有必要加以改进。
实用新型内容
针对上述的缺陷，本实用新型的目的在于提供一种石英晶片腐蚀机，以提 高石英晶片腐蚀的工作效率，降低操作者的劳动强度以及生产成本。
为了实现上述目的，本实用新型提供一种石英晶片腐蚀机，包括控制系统、 若干组驱动系统、腐蚀系统以及清洗系统，其中，每一组驱动系统对应所述腐 蚀系统和清洗系统中的一对腐蚀槽和清洗槽，所述每一组驱动系统包括
权利要求1、一种石英晶片腐蚀机，包括控制系统、若干组驱动系统、腐蚀系统以及清洗系统，其中，每一组驱动系统对应所述腐蚀系统和清洗系统中的一对腐蚀槽和清洗槽，其特征在于，所述每一组驱动系统包括摆动机构，具有机械手，其上端设置有从动齿轮，下端设置有挂钩，该挂钩钩挂一腐蚀篮，该腐蚀篮内任意容装若干待腐蚀石英晶片；该机械手的中部设置连杆，通过该连杆与机械臂的下端连接；机械臂，其上端设置有旋转气缸，其下端通过所述连杆与所述机械手连接；副机械臂，其上端通过一曲柄摇杆机构与减速电机输出轴连接；其下端设置有主动齿轮，当所述腐蚀篮置于所述腐蚀槽中进行腐蚀时，该主动齿轮与所述从动齿轮啮合；滑动机构，具有平行滑道，该平行滑道由两组直线轴承、两组直线轴以及轴固定架组装而成；滑动板，该滑动板安装于所述平行滑道上，并且所述摆动机构安装于该滑动板上；双向气缸，该双向气缸安装于所述滑动机构上，其作用点对应于所述滑动板，并且该双向气缸上设置若干磁性开关，以控制所述滑动板上下往复运动。
2、 根据权利要求1所述的石英晶片腐蚀机，其特征在于，所述副机械臂 上端设置第二摇臂，该第二摇臂通过一摆杆连接到所述减速电机输出轴上设置 的与所述第二摇臂长度不等的第一摇臂；其中，所述减速电机转动带动所述第 一摇臂作周转运动，通过摆杆的带动所述第二摇臂作正反往复运动，由该第二 摇臂带动所述副机械臂作正反往复旋转运动；所述机械手通过其上端设置的从动齿轮与所述副机械臂下端设置的主动 齿轮的啮合，作正反往复旋转运动；所述双向气缸的上、中、下部分别设置一个磁性开关，通过所述双向气缸的中部和下部的两个磁性开关感应双向气缸活塞的磁环信号，以控制所述滑动 板上下往复运动；以及所述双向气缸上部的磁性开关感应该双向气缸活塞的磁环信号，控制所述 滑动板沿所述平行滑道向上滑动至所述机械手钩挂的腐蚀篮的水平位置高度， 高于所述腐蚀槽与清洗槽之间的槽壁的高度;以及，所述机械臂上端的旋转气 缸转动带动与所述机械臂连接的机械手产生转动，以控制所述机械手转换于腐 蚀槽与清洗槽的工位。
3、 根据权利要求2所述的石英晶片腐蚀机，其特征在于，所述双向气缸 的两端设置有限流器，该限流器调节滑动板上下往复运动的频率；和/或所述旋转气缸上设置有两个磁性开关，通过所述两个磁性开关以及一电磁 阀组控制所述旋转气缸转动带动所述机械臂正反往复旋转运动。
4、 根据权利要求3所述的石英晶片腐蚀机，其特征在于，所述滑动板上下往复运动的行程由所述双向气缸的中部和下部的两个磁性开关的距离决定； 所述机械手钩挂的腐蚀篮在转换腐蚀槽与清洗槽工位时的水平位置高度， 由所述双向气缸的上部磁性开关控制。
5、 根据权利要求2或3所述的石英晶片腐蚀机，其特征在于，所述副机 械臂带动所述机械手在腐蚀槽中作正反往复旋转运动的旋转弧度为90 115弧 度；所述机械臂带动所述机械手在腐蚀槽或清洗槽中工作以转换工位的旋转 弧度为180弧度。
6、 根据权利要求2所述的石英晶片腐蚀机，其特征在于，所述机械手包 括轴、轴承套、轴承、挂钩接头、挂钩、固定块和从动齿轮；所述轴安装于所 述轴承上，所述轴承套将所述轴和轴承套装于其内；所述轴的上端与所述从动 齿轮连接，所述轴的下端与所述挂钩接头连接；所述挂钩接头下端设置一固定 块，该固定块通过一紧固装置与所述挂钩连接；所述机械臂的上端与一旋转气缸连接，该旋转气缸通过一连轴节与所述机 械臂的轴接头连接；所述副机械臂的轴安装于轴承套内。
7、 根据权利要求6所述的石英晶片腐蚀机，其特征在于，所述主动齿轮 的齿数和模数与所述从动齿轮的齿数和模数相等；和/或，所述主动齿轮与从动齿轮为尼龙齿轮。
8、 根据权利要求1或2所述的石英晶片腐蚀机，其特征在于，所述摆杆 的两端分别通过一关节轴承与所述第一摇臂和第二摇臂连接。
9、 根据权利要求2所述的石英晶片腐蚀机，其特征在于，所述腐蚀系统 包括通过防腐管道依次顺序连接的腐蚀箱、防腐泵，以及腐蚀槽、溢流槽；所述清洗系统包括清洗槽以及安装在进水口的一电磁阀；当清洗液进入 清洗槽，通过溢流隔板排出的所述清洗槽。
10、 根据权利要求9所述的石英晶片腐蚀机，其特征在于，所述清洗槽内 安装有腐蚀加热管；和/或，所述石英晶片腐蚀机内的清洗液的温度通过温度控制器与温度传感器控 制；和/或，所述控制系统是一可编程逻辑控制器。
专利摘要本实用新型公开了一种石英晶片腐蚀机，包括控制系统、若干组驱动系统、腐蚀系统以及清洗系统，其中，每一组驱动系统对应所述腐蚀系统和清洗系统中的一对腐蚀槽和清洗槽，所述每一组驱动系统包括摆动机构，具有机械手、机械臂以及副机械臂；滑动机构，具有平行滑道和滑动板，通过两机构的配合，实现驱动系统钩挂的腐蚀篮同时作上下往复运动和正反旋转运动，使腐蚀篮中的微型晶片充分浸泡在腐蚀液中，提高了石英晶片腐蚀机的工作效率，降低了石英晶片腐蚀的成本。
文档编号C03C15/00GK201272743SQ200820094090
公开日2009年7月15日 申请日期2008年5月28日 优先权日2008年5月28日
发明者叶竹之 申请人:深圳泰美克晶体技术有限公司