专利名称：电极闭合机构移动装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于电弧坩埚制造机中的电极闭合 机构移动装置。
背景技术：
石英坩埚是用高纯石英砂经过高温融化形成的一种玻璃 态器皿，在生产单晶硅的过程中是不可替代的容器。坩埚制 造机用于制造石英坩埚，坩埚制造机是由加热电源、升降机、 往复倾动台三大机构组成。升降机由升降机构和电极闭合机 构组成，电极闭合机构是坩埚熔融的热源载体。升降机构由 电动液压推杆、升降箱、升降导轨、升降机架构成。升降导 轨和电动液压推杆分别固定在升降机架上，升降箱分别与电 动液压推杆、电极闭合机构连接并且两端套在升降导轨上。 工作时电动液压推杆通过往复运动来提升或降低升降箱的位 置，电极闭合机构便与升降箱同时上下运动。其存在的问题
是电极闭合机构只能垂直调整，它的热源的位置始终停留 在坩埚的中心位置，热源点距离坩埚熔融点较远，化料慢、 熔炼时间长，影响坩埚熔融的速度和质量，不能适应大直径 坩埚生产要求。 发明内容本实用新型的目的是要解决现有技术存在的上述问题， 提供一种使石英砂受热均匀，熔炼时间短，生产效率高，产 品质量好，能满足大直径坩埚生产要求的电极闭合机构移动 装置。
本实用新型是这样实现的它有一个升降机架和电极闭 合机构，在升降机架上安装有电动液压推杆和升降导轨，在 电动液压推杆上端连接有升降箱，所述的升降箱套装在升降 导轨上，其特殊之处是在升降箱上设有平移机构，所述的 电极闭合机构与平移机构连接实现横向水平移动。
上述的电极闭合机构移动装置，所述的平移机构是由固
定在升降箱上的两条水平导轨和伺服电机、设置在水平导轨
上的横向溜板、与伺服电机连接的滚珠丝杠和丝母构成，所 述的丝母与横向溜板连接。
本实用新型的优点是在坩埚熔融时电极闭合机构在平 移机构的带动下能够横向移动，不断调整热源的中心点使石 英砂熔融时受热均匀，省时省力，无需停机，熔炼时间短， 生产效率高，产品质量好，能够满足大直径石英坩埚的生产 要求。
图1为本实用新型的结构示意图
图2是图1的俯视图。
图中升降机架l，电动液压推杆2，升降导轨3，滑块4，升降箱5，轴座6，横向溜板7，水平导轨8，电极闭合机构 9，伺服电机IO，滚珠丝杠ll，丝母12，支承座13。
具体实施方式
如图所示，本实用新型有一个升降机架1和电极闭合机 构9，在升降机架1上通过轴座6固定有两个升降导轨3，在 升降机架1下部中间位置安装有电动液压推杆2，在电动液 压推杆2的推杆上端连接有升降箱5，在升降箱5前、后端 面上分别设有两个滑块4，滑块4分别通过直线轴承套装在 升降导轨3上。在升降箱5上设有平移机构，所述的平移机 构是由分别固定在升降箱5上表面和外侧面的两根水平导轨 8、固定在升降箱5上的伺服电机10、卡装在两个水平导轨8 上的横向溜板7、与伺服电机10输出轴固接的滚珠丝杠11 和丝母12构成，所述的滚珠丝杠11插入横向溜板7内，丝 母12通过螺栓固定在横向溜板7上。在横向溜板7外侧通过 螺栓固定有支承座13，所述的电极闭合机构9安装在支承座 13前端。
工作时，通过伺服电机10带动滚珠丝杠11旋转来改变横 向溜板7的位置，电极闭合机构9也同步移动，达到随时改变 热源中心点的目的。
权利要求1、一种电极闭合机构移动装置，包括升降机架和电极闭合机构，在升降机架上安装有电动液压推杆和升降导轨，在电动液压推杆上端连接有升降箱，所述的升降箱套装在升降导轨上，其特征是在升降箱上设有平移机构，所述的电极闭合机构与平移机构连接实现横向水平移动。
2、 根据权利要求1所述的电极闭合机构移动装置，其特征是所述的平移机构是由固定在升降箱上的两条水平导 轨和伺服电机、设置在水平导轨上的横向溜板、与伺服电机 连接的滚珠丝杠和丝母构成，所述的丝母与横向溜板连接。
专利摘要一种电极闭合机构移动装置，解决了电极闭合机构只能垂直调整、热源点距离坩埚熔融点较远，影响坩埚熔融的速度和质量，不能适应大直径坩埚生产要求的问题。它包括升降机架和电极闭合机构，在升降机架上安装有电动液压推杆和升降导轨，在电动液压推杆上端连接有升降箱，所述的升降箱套装在升降导轨上，其特殊之处是在升降箱上设有平移机构，所述的电极闭合机构与平移机构连接实现横向水平移动。优点是电极闭合机构能够横向移动，使石英砂熔融时受热均匀，省时省力，无需停机，熔炼时间短，生产效率高，产品质量好，能够满足大直径石英坩埚的生产要求。
文档编号C03B20/00GK201347403SQ200920014430
公开日2009年11月18日 申请日期2009年6月5日 优先权日2009年6月5日
发明者建 侯, 赵青山 申请人:锦州佑鑫电子材料有限公司