专利名称：光纤母材的制造装置以及制造方法
技术领域：
本发明涉及利用所谓的外装法的光纤母材的制造装置以及制造方法。本申请基于于2010年5月27日在日本申请的日本特愿2010-121902号主张优先权，并在此援用其内容。
背景技术：
一般，在基于被称作外装法的制造方法的光纤母材的制造装置中，在玻璃车床等上保持棒状的目标部件的两端而使目标部件旋转，并使在玻璃微粒子生成用燃烧嘴的火焰中生成的玻璃微粒子堆积在目标部件的周围。该目标部件之后被除去，或者该目标部件之后成为制作光纤后作为芯部的石英系的玻璃棒。·通过与燃烧气体以及助燃气体一起向烧嘴的火焰中导入玻璃原料气体，能够在火焰中产生火焰水解反应等而生成SiO2等玻璃微粒子。在如上述那样使该玻璃微粒子堆积在旋转的目标部件的周围。一边使玻璃微粒子生成用燃烧嘴沿目标部件的轴向横动，一边进行该堆积工序，由此在目标部件的周围形成玻璃微粒子堆积层，当该堆积层成为规定的重量后，结束堆积工序。作为像这样形成的目标部件与玻璃微粒子堆积层的复合体的玻璃微粒子堆积体，之后在高温的炉中被加热处理，将玻璃微粒子堆积层的部分进行烧结而使之成为透明玻璃，从而得到光纤母材。该光纤母材的制造装置中，有依次单向地使多个玻璃微粒子生成用燃烧嘴横动而进行玻璃微粒子堆积的情况。该情况下，一个烧嘴仅在从堆积开始点至结束点的期间内进行玻璃微粒子生成 堆积，之后通过从横动路线偏离的路线而返回至堆积开始点，以不妨碍其它的一边横动一边进行玻璃微粒子堆积的烧嘴。在该返回的期间内，需要极力缩小烧嘴的火焰，所以以往，尽量降低燃烧气体以及助燃气体的流量，或者，极力降低燃烧气体的流量，并且关闭助燃气体的阀。然而，如上述那样，在从堆积结束点至堆积开始点的返回期间内，尽量降低燃烧气体以及助燃气体的流量的该情况下，在玻璃微粒子生成用燃烧嘴的喷嘴附近火焰燃烧，喷嘴前端红热，从而有烧嘴的寿命变得极短的问题。对于这样的问题，例如，提出了在返回的期间内停止氧的导入的方法(例如，参照专利文献I)、或者在返回的期间内在氧喷嘴中流动净化气体的方法(例如，参照专利文献2)等。另外，作为针对氧喷嘴前端的劣化的对策，例如，提出了如下的方法，S卩、使用氢混合有惰性气体、氮的气体的方法(例如，参照专利文献3)、使喷嘴的厚度变薄至Imm以下并提高气体的流速的方法(例如，参照专利文献4)、在氧气用喷嘴的周围设置密封层的方法(例如，参照专利文献5)等。此外，上述的文献中，氧相当于“助燃气体”，氢相当于“燃烧气体”，惰性气体、氮相当于“净化气体”。然而，上述的专利文献I、专利文献2所记载的方法中，当气体的流量变化、即气体的流速降低的瞬间，喷嘴会暂时变得高温，若反复变得高温，喷嘴会出现变形。另外，专利文献3所记载的方法中，根据制造条件的不同而对堆积效率有很大影响，从而有不推荐的情况。专利文献4所记载的方法中，由于在点火、熄灭、火种等状况下，气体的流速降低，从而喷嘴红热。另外，若将喷嘴的厚度设为Imm以下，则由上述红热引起的变形显著，结果，喷嘴的寿命变短。此外，在专利文献5所记载的方法中，虽然避免了喷嘴的变形，但由于设置密封层，而使烧嘴大型化、复杂化，从而不推荐使用。另外，会使烧嘴的制作精度降低，或者烧嘴过大而会使堆积效率降低。专利文献I :日本特开平4-170336号公报专利文献2 日本特开平4-175239号公报专利文献3 :日本特开平11-79774号公报专利文献4 :日本特开平6-247722号公报专利文献5 日本特开昭59-232933号公报
发明内容
本发明是鉴于上述的实际情况而产生的，其第一个目的在于提供如下光纤母材的制造方法，即，在使用了玻璃微粒子生成用燃烧嘴的光纤母材的制造方法中，能够不降低堆积效率地抑制由喷嘴前端部的红热引起的劣化，尤其在以高的频率反复进行堆积模式与非 堆积模式(火种状态)之间的转换的情况下，能够更加有效地抑制喷嘴前端部的劣化。另外，本发明的第二个目的在于提供如下光纤母材的制造装置，即，在具有玻璃微粒子生成用燃烧嘴的光纤母材的制造装置中，能够以简单的构成，来抑制由喷嘴前端部的红热引起的劣化，即使在以高的频率反复进行堆积模式与非堆积模式(火种状态)之间的转换的情况下，也能够实现燃烧嘴的长寿命化。本发明的第一个方式的光纤母材的制造方法，该光纤母材的制造方法为使用如下的燃烧嘴来燃烧如下的混合气体，从而在目标部件的周围堆积玻璃微粒子，所述燃烧嘴具有玻璃原料气体喷嘴和配置于所述玻璃原料气体喷嘴的附近的至少两个以上相互邻接的燃烧气体喷口，所述燃烧气体喷口具有至少一个燃烧气体喷口 A和至少一个燃烧气体喷口B，所述燃烧气体喷口 A具有与所述玻璃原料气体喷嘴挨近地配置的多个小口径的助燃气体喷嘴，所述燃烧气体喷口 B不含有所述助燃气体喷嘴，所述混合气体是由来自所述玻璃原料气体喷嘴的玻璃原料气体、来自所述各燃烧气体喷口的燃烧气体以及来自所述助燃气体喷嘴的助燃气体组成的混合气体，所述光纤母材的制造方法的特征在于，其至少具有如下工序中的一个工序工序α，该工序中，当从在所述目标部件的周围堆积所述玻璃微粒子的堆积模式转换至不在所述目标部件的周围堆积玻璃微粒子的非堆积模式时，利用来自所述燃烧气体喷口 B的燃烧气体来维持所述燃烧嘴的火种，并将从所述燃烧气体喷口 A的所述助燃气体喷嘴喷出的助燃气体的流速维持在不使所述喷嘴前端红热的程度的流速以上，在该状态下，将从所述燃烧气体喷口 A喷出的气体从所述燃烧气体切换为净化气体；以及工序β，该工序中，当从不在所述目标部件的周围堆积玻璃微粒子的非堆积模式转换至在所述目标部件的周围堆积所述玻璃微粒子的堆积模式时，利用来自所述燃烧气体喷口 B的燃烧气体来维持所述燃烧嘴的火种，并将从所述燃烧气体喷口 A的所述助燃气体喷嘴喷出的助燃气体的流速维持在不使所述喷嘴前端红热的程度的流速以上，在该状态下，将从所述燃烧气体喷口 A喷出的气体从所述净化气体切换为燃烧气体。上述光纤母材的制造方法也可以是具备上述工序α，在进行了从上述燃烧气体向净化气体的切换之后，维持上述助燃气体的流量而使之减少、或者停止从上述助燃气体喷嘴喷出助燃气体、又或者将从上述助燃气体喷嘴喷出的气体从上述助燃气体切换为净化气体。 上述光纤母材的制造方法也可以是具备上述工序β，且在上述工序β之前，维持上述助燃气体的流量而使之增加、或者开始从上述助燃气体喷嘴喷出助燃气体、又或者将从上述助燃气体喷嘴喷出的气体从上述净化气体切换为助燃气体。上述光纤母材的制造方法也可以具有上述工序α以及上述工序β。本发明的第二个方式的光纤母材的制造装置，其至少具有燃烧嘴，该燃烧嘴具有玻璃原料气体喷嘴和配置于所述玻璃原料气体喷嘴的附近的至少两个以上相互邻接的燃烧气体喷口，所述燃烧气体喷口具有至少一个燃烧气体喷口 A与至少一个燃烧气体喷口 B，所述燃烧气体喷口A具有与所述玻璃原料气体喷嘴挨近地配置的多个小口径的助燃气体喷嘴，所述燃烧气体喷口 B不包括所述助燃气体喷嘴，使用所述燃烧嘴来燃烧由来自所述玻璃原料气体喷嘴的玻璃原料气体、来自所述各燃烧气体喷口的燃烧气体以及来自所述助燃气体喷嘴的助燃气体组成的混合气体，从而来堆积玻璃微粒子；以及气体切换机构，其构成为，当从在所述目标部件的周围堆积所述玻璃微粒子的堆积模式以及不堆积所述玻璃微粒子的非堆积模式这两个模式间进行转换时，利用来自所述燃烧气体喷口 B的燃烧气体来维持所述燃烧嘴的火种，并将从所述燃烧气体喷口 A的所述助燃气体喷嘴喷出的助燃气体的流速维持在不使所述喷嘴前端红热的程度的流速以上，在该状态下，将从所述燃烧气体喷口 A喷出的气体从所述燃烧气体切换为净化气体、或者将从所述燃烧气体喷口 A喷出的气体从净化气体切换为所述燃烧气体。上述玻璃原料气体喷嘴配置于上述燃烧嘴的中心，上述燃烧气体喷口 A以及上述燃烧气体喷口 B相对于上述玻璃原料气体喷嘴同心圆状地配置在上述玻璃原料气体喷嘴的外侧。本发明的第一方式的光纤母材的制造方法至少具有如下工序中的一个工序α，该工序中，当从在目标部件的周围堆积玻璃微粒子的堆积模式转换至不堆积玻璃微粒子的非堆积模式时，利用来自上述燃烧气体喷口 B的燃烧气体来维持燃烧嘴的火种，并将从上述燃烧气体喷口 A的上述助燃气体喷嘴喷出的助燃气体的流速维持在不使上述喷嘴前端红热的程度的流速以上，在该状态下，将从上述燃烧气体喷口 A喷出的气体从燃烧气体切换为净化气体；以及工序β，该工序中，当从不在上述目标部件的周围堆积玻璃微粒子的非堆积模式转换至在上述目标部件的周围堆积玻璃微粒子的堆积模式时，利用来自上述燃烧气体喷口 B的燃烧嘴的燃烧气体来维持火种，并将从上述燃烧气体喷口 A的上述助燃气体喷嘴喷出的助燃气体维持在不使上述喷嘴前端红热的程度的流速以上，在该状态下，将从上述燃烧气体喷口 A喷出的气体从净化气体切换为燃烧气体。
在上述光纤母材的制造方法具备工序α的情况下，当从堆积模式转换至非堆积模式时，通过将从上述燃烧气体喷口 A的助燃气体喷嘴喷出的助燃气体的流速维持在不使上述喷嘴前端红热的程度的流速以上，即使来自燃烧气体喷口 A的燃烧气体的流速某种程度上变慢，喷嘴前端也不会红热。在将从上述燃烧气体喷口 A喷出的气体从燃烧气体切换为净化气体的状态下，不会引起燃烧，因此喷嘴前端也不会变成高温。即，能够防止喷嘴前端变成高温。若在将从上述燃烧气体喷口 A喷出的气体从燃烧气体切换为净化气体后，维持助燃气体的流量而使之减少、或者停止从助燃气体喷嘴喷出助燃气体、又或者将从助燃气体喷嘴喷出的气体从助燃气体切换为净化气体，则能够更加可靠地防止喷嘴前端变成高温。另外，由于在燃烧气体喷口B维持燃烧嘴的火种，所以之后当从非堆积模式转换至堆积模式时，能够可靠地并且迅速地着火。因此，能够抑制堆积效率的降低。如上所述，本发明的上述方式中，能够提供如下光纤母材的制造方法，S卩，能够不降低堆积效率地抑制由喷嘴前端部的红热引起的劣化，尤其在以高的频率反复进行从堆积 模式向非堆积模式(火种状态)的转换的情况下，能够更加有效地抑制喷嘴前端部的劣化。此外，也可以在上述的工序α之后设置“熄灭状态”。即，也可以从工序α的“火种状态”转换至“熄灭状态”。在上述光纤母材的制造方法具备工序β的情况下，在将从上述燃烧口 A喷出的气体从燃烧气体切换为净化气体的状态下，不会产生燃烧，所以喷嘴前端也不会成为高温状态。当从非堆积模式转换至堆积模式时，通过将从上述燃烧喷口 A的助燃气体喷嘴喷出的助燃气体的流速维持在不使上述喷嘴前端红热的程度的流速以上，即使来自燃烧气体喷口A的燃烧气体的流速某种程度上变慢，也不会产生红热。即，能够防止喷嘴前端变成高温。若在上述工序β之前，维持助燃气体的流量而使之增加、或者开始从助燃气体喷嘴喷出助燃气体、又或者将从助燃气体喷嘴喷出的气体从净化气体切换为助燃气体，则能够更加可靠地防止喷嘴前端变成高温。另外，由于在燃烧气体喷口B维持燃烧嘴的火种，所以当从非堆积模式转换至堆积模式时，能够可靠地并且迅速地着火。因此，不会降低堆积效率。如上所述，本发明的上述方式中，能够提供如下光纤母材的制造方法，S卩，能够不降低堆积效率地抑制由喷嘴前端部的红热引起的劣化，尤其在以高的频率反复进行从非堆积模式(火种状态)向堆积模式的转换的情况下，能够更加有效地抑制喷嘴前端部的劣化。此外，也可以在上述的工序β之前设置“熄灭状态”。即，也可以从“熄灭状态”转换至工序β的“火种状态”。本发明的第二个方式的光纤母材的制造装置中具有气体切换机构，该气体切换机构构成为，当在堆积模式以及非堆积模式两个模式间转换时，利用来自燃烧气体喷口 B的燃烧气体来维持上述燃烧嘴的火种，并将从燃烧气体喷口 A的助燃气体喷嘴喷出的助燃气体的流速维持在不使喷嘴前端红热的程度的流速以上，在该状态下，将从上述燃烧气体喷口 A喷出的气体从燃烧气体切换为净化气体、或者将从上述燃烧气体喷口 A喷出的气体从净化气体切换为燃烧气体。例如，当从堆积模式转换至非堆积模式时，通过将从上述燃烧气体喷口 A的助燃气体喷嘴喷出的助燃气体的流速维持在不使上述喷嘴前端红热的程度的流速以上，即使来自燃烧气体喷口 A的燃烧气体的流速某种程度上变慢，也不会产生红热。在将从上述燃烧气体喷口 A喷出的气体从燃烧气体切换至净化气体的状态下，不会引起燃烧，因此喷嘴前端也不会变成高温。之后，通过停止助燃气体的喷出、或者从助燃气体切换至净化气体，能够防止喷嘴前端变成高温。因而，本发明的实施方式的光纤母材的制造装置中，能够防止燃烧嘴的喷嘴前端的红热。另外，当从非堆积模式转换至堆积模式时，也能得到与上述相同的作用、效果。如上所述，根据本发明上述方式，能够提供如下光纤母材的制造装置，在具有玻璃微粒子生成用燃烧嘴的光纤母材的制造装置的基础上，能够以简单的构成，来抑制由喷嘴前端部的红热引起的劣化，并能够实现燃烧嘴的长寿命化。此外，本发明的“净化气体”指的是，代替特定的气体而使用的气体、是相对反应性低的气体。具体而言，例如可以举出氮气气体、以及氦或氖、氩等惰性气体来作为净化气体。
图I是表示用于光纤母材的制造方法的制造装置系统的一个例子的简要说明图。图2是表示用于光纤母材的制造方法的制造装置系统的一个例子的简要说明图。图3是燃烧嘴的喷嘴部分的一个例子，是从其前端侧观察的图。图4是表示在燃烧嘴的横动的循环中、供给至燃烧嘴的各种气体的流量的图。图5是表示目视确认使燃烧气体与助燃气体的平均流速分别变化而进行燃烧时的喷嘴前端的红热状态的结果的图。图6是燃烧嘴的喷嘴部分的另一个例子，是从其前端侧观察的图。图7是燃烧嘴的喷嘴部分的另一个例子，是从其前端侧观察的图。图8是表示用于光纤母材的制造方法的制造装置系统的一个例子的简要说明图。图9是以往的燃烧嘴的喷嘴部分的一个例子，是从其前端侧观察的图。
具体实施例方式以下，对本发明的优选的实施方式进行说明。图I以及图2是分别表示用于本发明的一个实施方式的光纤母材的制造方法的制造装置系统的一个例子的简要说明图。图I以及图2中，I是目标部件，其收纳于燃烧室2内，且其两端被玻璃车床等可旋转地支承。此外，该目标部件I由在之后的工序中被除去或者作为光纤母材的芯的棒状部件或芯与作为其周围的金属包层的一部分的棒状部件构成。上述燃烧室2是进行火焰以及玻璃微粒子流的整流、并且保护玻璃微粒子堆积层的部件。在燃烧室2的一个侧壁(图I中、右下侧)沿内部的目标部件I的轴向设有开口部2a，另外，在其相反的一侧的侧壁(图I中、左上侧)设有将燃烧气体等排出的排气部2b。在该燃烧室2的开口部2a，配置有玻璃微粒子合成用的燃烧嘴3。利用设于外部的横动机构(图示省略)，使该燃烧嘴3在图中的区间(X1X2X3X4X1)内横动并循环。以下，对具有多管构造的燃烧嘴3 (例如，图3)进行详细说明，但本发明的光纤母材的制造方法不限定于图3所例示的构成(玻璃原料气体喷嘴、惰性气体喷嘴等同心圆状地配置的构成)。对于构成具有多管构造的燃烧嘴3的各喷嘴(玻璃原料气体喷嘴、惰性气体喷嘴等)而言，根据管的壁厚等级，相互以“近旁”或者“挨近”的方式配置。除图3所示的多管构造以外，例如举出如下构造，S卩、在玻璃原料气体喷嘴的“近旁”相独立地配置至少两个以上邻接的燃烧气体喷口玻璃原料气体喷嘴与惰性气体喷嘴。该构造中，燃烧气体喷口中的至少一个也可以具有以与玻璃原料气体喷嘴“挨近”的方式配置的助燃气体喷嘴。此处，“近旁”或者“挨近”指的是，在“火种状态”下，在能够使燃烧嘴的喷嘴前端产生红热的程度的距离内配置。图3是从前端侧观察在这样的制造装置中使用的上述燃烧嘴3的喷嘴部分的一个例子的图。该燃烧嘴3A (3)具有配置于中心的玻璃原料气体喷嘴31 ;配置于上述玻璃原料气体喷嘴31的外侧的惰性气体喷嘴32 ;以及同心状地配置于惰性气体喷嘴32的外侧的至少两个以上邻接的燃烧气体喷口 33。
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而且，上述燃烧气体喷口 33至少具有一个燃烧气体喷口 33A，该燃烧气体喷口 33A相对于上述玻璃原料气体喷嘴31而配置于同心圆周上，且包括多个小口径的助燃气体喷嘴34。另外，上述燃烧气体喷口 33也具有至少一个燃烧气体喷口 33B，该燃烧气体喷口33B不包括助燃气体喷嘴34。从各种气体供给源(图示省略)经由各种气体供给配管而向具有这样的喷嘴构造的燃烧嘴3供给燃烧气体(此处为H2气体)、助燃气体(O2气体)、玻璃原料气体(SiCl4)、惰性气体(Ar气体等)以及净化气体(N2气体)。具体而言，向玻璃原料气体喷嘴31供给玻璃原料气体(SiCl4)。此外，也可以与玻璃原料气体一起、向玻璃原料气体喷嘴31供给助燃气体以及/或者燃烧气体。由此，能够防止火种被吹灭。向惰性气体喷嘴32供给惰性气体(Ar气体等)。此处使用的惰性气体也被称作密封气体。此外，为了防止原料的反应生成物堆积在玻璃原料气体喷嘴31的前端，设置惰性气体喷嘴32，但本发明中，惰性气体喷嘴32不是必须存在的。如图2的左侧所示，向燃烧嘴3适当地导入上述的各气体。例如，在图3所示的燃烧嘴3中，向燃烧气体喷口 33A分别供给燃烧气体(H2气体)或者净化气体(N2气体)。另外，向燃烧气体喷口 33B供给燃烧气体(H2气体)。在与燃烧气体喷口 33A连接的燃烧气体供给配管上，并行连接有例如燃烧气体用的配管与净化气体用的配管。利用分别配置于燃烧气体用的配管以及净化气体用的配管的阀的开闭，来切换燃烧气体与净化气体，从而控制其流量。配管构造不限定于上述构造，具有切换燃烧气体与净化气体的功能即可。例如，也可以采用利用三通阀等的构造。向助燃气体喷嘴34供给助燃气体(O2气体)。详细如后所述，本实施方式的光纤母材的制造装置具有如下气体切换机构，S卩，当从在上述目标部件的周围堆积玻璃微粒子的堆积模式转换至不堆积玻璃微粒子的非堆积模式时，利用来自上述燃烧气体喷口 33B的燃烧气体来维持燃烧嘴3的火种，并将从上述燃烧气体喷口 33A的上述助燃气体喷嘴34喷出的助燃气体的流速维持在不会使上述喷嘴前端红热的程度的流速以上，在该状态下，将从燃烧气体喷口 33A喷出的气体从上述燃烧气体切换为净化气体。该切换后，气体切换机构能够维持上述助燃气体的流量，使助燃气体的喷出减少、或使之停止、或者将从上述助燃气体喷嘴34喷出的气体从助燃气体切换为净化气体。当从非堆积模式转换至堆积模式时，该气体切换机构也发挥功能，用于进行助燃气体喷嘴、各燃烧气体喷口的喷出气体的切换。使用这样的装置系统，在旋转的目标部件的轴向上从一个方向开始多次横动，能够在该目标部件I的周围形成玻璃微粒子堆积层5，而得到玻璃微粒子堆积体。
具体而言，首先，使目标部件I旋转，并且，一边使与该目标部件I的外周对峙的上述燃烧嘴3燃烧，一边使之从图I所示的Xl的地点(堆积开始位置)横动至X2的地点(堆积结束位置)。在与燃烧嘴3的堆积工序(堆积模式)相当的Xl — X2的区间内，通过对附设于烧嘴的阀6、阀7进行操作，来供给燃烧气体、助燃气体、玻璃原料气体、惰性气体，并通过火焰水解反应来在火焰4中生成玻璃微粒子。在火焰4中所产生的玻璃微粒子附着于目标部件I的外周，接着进行堆积而形成玻璃微粒子堆积层5。若燃烧嘴3到达堆积结束位置X2并结束堆积工序，则由于上述外部的横动机构的驱动，燃烧嘴3在从X2的地点经由X3、X4而直至堆积开始位置Xl的区间内移动。该区间内，燃烧嘴3进入返回工序(非堆积模式)。燃烧嘴3从X2的地点后退。即，燃烧嘴3从目标部件I以及燃烧室2的开口部2a退避而下降到位置X3。之后，燃烧嘴3向图I中左侧、即从X3的地点向X4的地点移动，以不与其它的烧嘴接触。若燃烧嘴3到达图I中左端的X4的地点，则燃烧嘴3向Xl的方向上升而进入燃烧室5内，再次进行Xl — X2的移动。通过进行多次该横动的循环，玻璃微粒子逐渐堆积、生长而得到玻璃微粒子堆积层5，其结果，得到所希望直径的玻璃微粒子堆积体。此外，本发明不限定于上述的“循环方式”，也可以构成为“往复方式”。作为“往复方式”的一个例子，举出如下方式，即，与上述循环方式相同地在XI —X2的区间内横动，并在到达X2后，使燃烧嘴3成为火种状态而保持原样地朝向Xl横动，并在到达Xl后，将燃烧嘴3的火种变更为与堆积模式对应的火焰，而再次进行Xl — X2的动作。此外，使目标部件与烧嘴相对移动即可。即，可以使任意一方固定而使另一方移动，也可以使两方移动。另外，作为“往复方式”的其它例子，可以举出如下例子，S卩，在与堆积模式相当的横动区间X1-X2的两侧，分别设有与非堆积模式相当的横动区间X2-X3以及X4-X1。该构成中，例如以“XI — X2 — X3 — X2 — Xl — X4 — Xl — X2 — X3 — X2…”的顺序使烧嘴移动。该构成尤其在两个以上的烧嘴构成一个单元、且以该单元为单位来驱动烧嘴的情况下有效。即，根据该构成，能够以个别的时机使单元中的烧嘴转换至非堆积模式。本申请说明书中将反复进行这样的动作的方式定义为“往复方式”。若从燃烧室2中将由像这样形成的多孔质体构成的玻璃微粒子堆积体取出，之后，在高温的加热炉中进行热处理，则玻璃微粒子堆积体成为透明玻璃，而得到目标光纤母材。尤其，对于本实施方式的光纤母材的制造方法而言，在上述那样的燃烧嘴3的横动的循环中，具有工序α，该工序α中，当从在上述目标部件的周围堆积玻璃微粒子的堆积模式(XI —X2的区间)、转换至不堆积玻璃微粒子的非堆积模式(返回模式，X2 — X3 — X4 — Xl的区间)时，利用来自上述燃烧气体喷口 33B的燃烧气体来维持上述燃烧嘴3的火种，并将从上述燃烧气体喷口 33A的上述助燃气体喷嘴喷出的助燃气体的流速维持在不会使上述喷嘴前端红热的程度的流速以上，在该状态下，将从上述燃烧气体喷口 A喷出的气体从上述燃烧气体切换为净化气体 。当从上述燃烧气体切换为净化气体后，维持上述助燃气体的流量，使之减少、或停止上述助燃气体的喷出、或者将从上述助燃气体喷嘴34喷出的气体从上述助燃气体切换为净化气体也可以。本实施方式中，图4示意地总结表示当燃烧嘴3进行横动的循环时供给至燃烧嘴3的各种气体的流量。图4 (a) 图4 (e)的横轴是共同的时间轴。时刻Tl与时刻T2之间表不第一堆积模式(图中记载为“堆积中”)，时刻T2与时刻T3之间表不非堆积模式(图中记载为“非堆积中”)，时刻T3与时刻T4之间表示第二堆积模式(图中记载为“堆积中”)。此处，时刻T2与图I中X2的位置相当，时刻T3与图I中Xl的位置相当。另外，对于图4所示的各图的纵轴而言，图4 (a)的情况表示供给至燃烧气体喷口33A的燃烧气体(H2气体)的流量，图4 (b)的情况表示供给至燃烧气体喷口 33B的燃烧气体(H2气体)的流量，图4 (c)的情况表示供给至助燃气体喷嘴34的助燃气体(O2气体)的流量，图4 (d)的情况表示供给至玻璃原料气体喷嘴31的玻璃原料气体(SiCl4)的流量，图4 Ce)的情况表示供给至惰性气体喷嘴32的惰性气体(Ar气体等)的流量。图4 (a)中，符号al表示在时刻T2遮挡气体的流动的情况，符号a2表示气体流量达到零的情况，符号a3表示使气体的流动恢复的情况，符号a4表示在时刻T3气体的流动复原的情况。如图4 (b)所示，将非堆积中的、供给至燃烧气体喷口 33B的燃烧气体的流量控制为比堆积中的等级Yl低的等级Y2 (blb2b3b4)。该控制不是必须的，但使非堆积中的燃烧气体的流量减少能够抑制火力，从而优选。尤其，图4 Ca)的“ala2”的变化指的是，停止向燃烧气体喷口 33A供给燃烧气体，取而代之在“a2”的时刻开始向燃烧气体喷口 33A流入净化气体。在几乎相同的时机，如图4 (b)所示，供给至燃烧气体喷口 33B的燃烧气体的流量减少(Y1Y2)为能够维持燃烧的等级。图4 (C)所示的助燃气体喷口 34的“Cl”是与图4 (a)的“a2”几乎相同的时刻。并且，即使引起图4 (c)所示的“clc2”的变化，即，即使助燃气体的流量减少，也由于净化气体的效果而喷嘴34的前端不会产生红热。另一方面，助燃气体的流量控制中应该注意的方面在于，从“Cl”开始减少流量、或者停止助燃气体的供给、又或者从助燃气体向净化气体的切换开始的时机被设定为“a2”的时机以后。即，在进行上述的助燃气体的流量控制的时刻向喷口 33A流入净化气体是重要的。喷口 33B的流量为Yl或是Y2不会成为问题。S卩，如图4 (C)所示，将非堆积中的、供给至助燃气体喷嘴34的助燃气体的流量控制为与堆积中的等级Zl同等，或者控制为比等级Zl低的等级Z2。另外，也可以完全停止助燃气体的供给、或者从助燃气体切换为净化气体，但对此未图示。如图4 (d)所示，供给至玻璃原料气体喷嘴31的玻璃原料气体的流量以横跨时刻T2的方式减少(dl —d2)，并以横跨时刻T3的方式增加(d3 —d4)。在图4 (d)所示的例中，在时刻T2、T3，玻璃原料气体的流量成为堆积中的流量的一半。该图4所示的增减曲线表示了有意地将堆积模式与非堆积模式的切换的时机、与燃烧气体的切换的时机“错开”的例子。在该两个时机同时的情况下，不同的两种气体瞬间混在一起，而容易成为三维混乱的不稳定的状况。即，火焰的控制容易陷入困难的状况。与此相对，如图4 (d)所示，在有意地错开上述两个时机的情况下，燃烧气体的切换以恒定的时间间隔而进行，从而容易确保火焰状态的稳定，以及提高控制性。即，燃烧气体的高温部稳定，而能够维持在远离喷嘴前端的位置上产生的状态，所以喷嘴前端也不会变成高温。即，不会给予喷嘴前端变成高温的机会，从而更加优选。如图4 Ce)所示，供给至惰性气体喷嘴32的惰性气体的流量在堆积中、非堆积中的划分(el、e2)中，维持恒定量即可。本发明中，利用以下的原理。
(I)燃烧气体喷口 33A中，助燃气体喷嘴的前端红热是当燃烧气体以及助燃气体的流速过低时产生。若燃烧气体以及助燃气体的流速低，则燃烧气体与助燃气体在喷嘴前端附近燃烧，从而喷嘴前端变成高温。因而，为了避免助燃气体喷嘴的前端的红热，加快燃烧气体或者助燃气体的流速即可。为了使用具有图3所示的喷嘴构造的多喷嘴式烧嘴，来调查燃烧气体(H2气体)以及助燃气体(O2气体)的平均流速、与助燃气体喷嘴前端的红热状态的关系，使燃烧气体(H2气体)以及助燃气体(O2气体)的流速分别变化地进行燃烧。图5是表示目视观察确认此时的助燃气体喷嘴前端的红热状态的结果的图。从图5可知，在使O2气体的流速恒定的情况下，若H2气体的流速慢，则会产生红热状态。另外，亦可知，在O2气体的流速快的情况下，即使H2气体的流速在某种程度上变慢，也不会产生红热。其结果，在多喷嘴式烧嘴中，若氧流速例如在6 [m/sec]以上，则不会观察到红热，从而可知消除烧嘴的寿命变短的问题。此外，该实验结果始终是一个例子，本发明不限定于该数值。(2)并且，在将助燃气体或者燃烧气体置换为净化气体的状态下，不会引起燃烧，从而助燃气体喷嘴前端也不会变成高温。助燃气体的净化气体是助燃性低的气体,燃烧气体的净化气体是燃烧性低的气体即可。例如，从操作容易性的方面考虑，优选惰性气体或氮气气体等。在图3所示的喷嘴构造的燃烧嘴3中，向燃烧气体喷口 33B流入燃烧气体而成为火种的状态。另一方面，对于燃烧气体喷口 33A而言，在向助燃气体喷嘴周围的燃烧气体喷口 33A流入氮气的状态下，以流速(T8m/sec来改变助燃气体并使之向助燃气体喷嘴流入，在对氧喷嘴前端的红热状态目视观察时，不会确认到喷嘴的红热。另外，以流速(TSm/sec来改变氮气而使之向助燃气体喷嘴流入时，不会看到喷嘴的红热。(3)虽然仅燃烧气体的火焰容易被吹灭，但燃烧气体伴随助燃气体的火焰难以被吹灭。在本实施方式中，在维持上述(I)的状态下，转换为(2)的状态，之后，降低助燃气体的流速，从而不会给予喷嘴前端变成高温的机会。(I)的状态下，由于(2)的燃烧气体流速的降低、之后的助燃气体流速的降低中任一个，都不会引起喷嘴前端变成高温。S卩，在本实施方式中，当从堆积模式转换至非堆积模式时，将从上述燃烧气体喷口33A的助燃气体喷嘴喷出的助燃气体的流速维持在不会使上述喷嘴前端红热的程度的流速以上，所以即使燃烧气体的流速在某种程度上变慢，喷嘴前端也不会红热。当将从上述燃烧气体喷口 A喷出的气体从上述燃烧气体切换为净化气体的状态下，不会引起燃烧，所以喷嘴前端也不会变成高温。之后，通过停止助燃气体的供给、或者将从助燃气体喷嘴喷出的气体从助燃气体切换为净化气体，不给予喷嘴前端变成高温的机会。即使使燃烧气体的流速降低，并在之后，使助燃气体的流速降低，喷嘴前端也不会变成高温。另外，由于在燃烧气体喷口33B维持燃烧嘴3的火种，所以之后，当从非堆积模式转换至堆积模式时(工序β)，能够可靠地并且迅速地着火。因此，能够抑制堆积效率的降低。如上所述，在本实施方式中，能够不降低堆积效率地抑制由喷嘴前端部的红热引·起的劣化，尤其在以高的频率来反复进行从堆积模式向非堆积模式(火种状态)的转换的情况下，能够更加有效地抑制喷嘴前端部的劣化。此外，在上述工序α后，也可以具有停止上述燃烧气体喷口 33Β的燃烧气体、而使燃烧嘴3的火焰熄灭的工序。该情况下，通过停止燃烧气体喷口 33Β的燃烧气体，能够迅速并且自然地熄灭燃烧嘴3的火焰。当燃烧嘴3返回至堆积开始位置XI，而从非堆积模式转换至堆积模式时，在向上述燃烧气体喷口 33Β供给上述燃烧气体而着火后，以不会使上述喷嘴前端红热的程度的流速以上，从上述燃烧气体喷口 33Α的上述助燃气体喷嘴34流出助燃气体，并且，开始上述燃烧气体的供给而开始燃烧(工序β )。S卩，在向燃烧气体喷口 33Α流入净化气体的状态下，使从燃烧气体喷口 33Β流出的燃烧气体着火。更具体而言，向燃烧气体喷口 33Α流入净化气体、向燃烧气体喷口 33Β流入燃烧气体，并且，使燃烧气体着火。此时，使助燃气体增加为一定流量以上，之后将燃烧气体喷口 33Α的净化气体切换为燃烧气体。在本实施方式中，在燃烧嘴3以相互邻接的方式配置两个燃烧气体喷口 33 (燃烧气体喷口 33Α、燃烧气体喷口 33Β)。在两个燃烧气体喷口 33邻接的情况下，如果以来自任一个燃烧口的燃烧气体来维持火种，则通过开始向邻接的其它的燃烧气体喷口 33流入燃烧气体，能够可靠地且自然着火(引火)。即，为了降低着火失败的可能性，优选燃烧气体喷口 33相互邻接的方式。在图I所示的喷嘴构造的燃烧嘴3中，在中心侧的燃烧气体喷口 33Β，使燃烧气体为火种的状态，并以6 [m/sec]向燃烧气体喷口 33A的助燃气体喷嘴流入助燃气体(02气体)，向燃烧气体喷口 33A流入惰性气体(N2气体)，在该状态下，当进行从惰性气体向燃烧气体(H2气体)的切换时，能够没有问题地着火。当使用具有未相互邻接的两个燃烧气体喷口的燃烧嘴来尝试相同的方法时，有着火失败的情况。以上，如上所述，根据本实施方式，当从堆积模式转换至非堆积模式(熄灭)时，SP使使烧嘴的火力减小，喷嘴也不会变成高温并变形，所以能够防止由烧嘴的喷嘴红热引起的劣化，其结果，能够实现烧嘴的长寿命化。堆积模式中，由于能够排除阻碍燃烧反应的惰性气体等，所以能够防止堆积率的降低。另外，由于利用火种来维持火焰，从而当从非堆积模式转换至堆积模式(着火)时，不需要用于再次着火的另外的机构，并且，能够可靠地并且迅速地着火。因此，能够防止堆积效率的降低。
另外，上述的烧嘴的构造不需要氧喷嘴周围的密封层等，仅针对气体系统追加与净化气体的切换功能即可，所以烧嘴、气体系统的构造不会变得复杂。因而，能够防止由烧嘴品质(精度)的降低等引起的从使用开始时开始的初始的故障的产生。另外，除了构造简单之外，还不会使堆积效率降低。如上所述，在本实施方式中，能够不使堆积效率降低，而能够抑制由喷嘴前端部的红热引起的劣化，尤其在以高的频率反复进行从堆积模式转换至非堆积模式(火种状态)、接着再转换至堆积模式的情况下，能够更加有效地抑制喷嘴前端部的劣化。而且，本实施方式的光纤母材的制造装置中，具有上述的构造的燃烧嘴3与气体切换机构，该气体切换机构构成为，当从堆积模式切换至非堆积模式时，利用来自上述燃烧气体喷口 33B的燃烧气体来维持上述燃烧嘴3的火种，并将从上述燃烧气体喷口 33A的上述助燃气体喷嘴34喷出的助燃气体的流速维持在不会使上述喷嘴前端红热的程度的流速以上，该状态下，将从上述燃烧气体喷口 A喷出的气体从上述燃烧气体切换为净化气体。该切换后，气体切换机构可以停止上述助燃气体的喷出，或者将从上述助燃气体喷嘴34喷出的气体切换为净化气体。因此，根据这样的光纤母材的制造装置，能够以简单的构成，抑制由喷嘴前端部的红热引起的劣化，并能够实现燃烧嘴3的长寿命化。此外，上述实施方式中，以具有燃烧气体喷口 33B配置于燃烧气体喷口 33A的内侧的喷嘴构造的燃烧嘴3A为例进行了说明，但本发明不限定于此。例如也可以如图6所示的燃烧嘴3B (3)那样，燃烧气体喷口 33A配置于燃烧气体喷口 33B的内侧。另外，上述实施方式中，以分别具有一个燃烧气体喷口 33A与燃烧气体喷口 33B的燃烧嘴为例进行了说明，但本发明不限定于此。燃烧嘴3也可以分别具有两个以上的燃烧气体喷口 33A以及/或者燃烧气体喷口 33B。例如也可以如图7所示的燃烧嘴3C (3)那样，具有两个燃烧气体喷口 33A (33Aa，33Ab)。另外，上述实施方式中，对配置有一个玻璃微粒子合成用的燃烧嘴3的例子进行了说明，但本发明不限定于此。例如也可以如图8所示，配置多个玻璃微粒子合成用的燃烧嘴 3a、3b、3c…(3)。另外，上述实施方式中，对具有用于配置燃烧嘴3而使之横动的开口部2a的燃烧室2进行了说明，但燃烧室2的构造不限定于此。也可以不具有上述的大的开口部2a，而是仅具有能够供燃烧嘴3出入的狭缝(间隙)的燃烧室等。实施例以下，对本发明的实施例以及比较例进行说明。<实施例I >使用具有图3所示的喷嘴构造的燃烧嘴，在旋转的目标部件的轴向上使燃烧嘴从一个方向开始横动数次，而在该目标部件的周围形成玻璃微粒子堆积层，从而得到玻璃微粒子堆积体。从该玻璃微粒子堆积体制造光纤母材。交替进行数次工序α与工序β，工序α为，当从在上述目标部件的周围堆积玻璃微粒子的堆积模式转换至不堆积玻璃微粒子的非堆积模式时，利用来自上述燃烧气体喷口B的燃烧气体来维持上述燃烧嘴的火种，并且，将从上述燃烧气体喷口 A的上述助燃气体喷嘴喷出的助燃气体的流速维持在不会使上述喷嘴前端红热的程度的流速以上，该状态下，将从上述燃烧气体喷口A喷出的气体从上述燃烧气体切换为净化气体；工序β为，当从非堆积模式转换至堆积模式时，利用来自上述燃烧气体喷口 B的燃烧气体来维持上述燃烧嘴的火种，并将从上述燃烧气体喷口 A的上述助燃气体喷嘴喷出的助燃气体的流速维持在不会使上述喷嘴前端红热的程度的流速以上，该状态下，将从上述燃烧气体喷口A喷出的气体从净化气体切换为燃烧气体。上述非堆积模式中，在向上述燃烧气体喷口 A流入净化气体的期间，停止上述助燃气体。利用该方法制造了 100根光纤母材。上述的工序α或者工序β期间，目视观察喷嘴前端的状态。 其结果，任一个工序中，均没有观察到喷嘴的红热，也没有观察到喷嘴的变形。此夕卜，火种时的燃烧气体(Η2气体)的流量是lOslm。<实施例2>除了将火种状态时的燃烧气体(H2气体)量设为7slm之外，其余与实施例I相同地制造100根光纤母材。其结果，在第三根母材的制造中火种消失。之后，火种状态中，当使助燃气体(02气体)流量为4slm时，即使制造100根光纤母材，火种也不会消失。<实施例3>除了通过停止燃烧气体喷口 B的燃烧气体来进行熄灭，其余与实施例I相同地制造光纤母材。该制造期间，目视观察喷嘴前端的状态的结果是，没有观察到喷嘴的红热。<实施例4>当从非堆积模式转换至堆积模式时，向燃烧气体喷口B供给上述燃烧气体而着火后，在燃烧气体喷口 A，以不使上述喷嘴前端红热的程度的流速以上的流速来使上述助燃气体流动，并且，利用通过开始上述燃烧气体的供给而开始燃烧的方法，进行着火，除此以外，与实施例I相同地制造光纤母材。该制造期间，目视观察喷嘴前端的状态的结果是，没有观察到喷嘴的红热。<比较例1>使用图9所示的喷嘴构造的燃烧嘴，来制造光纤母材。当从堆积模式转换至非堆积模式时，将从助燃气体喷嘴喷出的气体从助燃气体(O2气体)切换为净化气体。利用该方法来制造100根光纤母材。工序中，目视观察喷嘴前端的状态。其结果，在对燃烧嘴3的火焰从与堆积模式对应的火焰开始变为火种时、在从火种返回至与堆积模式对应的火焰中任意时刻，均观察到喷嘴前端的红热。另外，在制造100根光纤母材的过程中，喷嘴变形，且堆积效率降低20%。<比较例2>
除了按照助燃气体(O2气体)、燃烧气体(H2气体)的顺序熄灭之外，其余与比较例I相同地制造光纤母材。该制造期间，目视观察喷嘴前端的状态的结果是，观察到喷嘴的红热。<比较例3>当从非堆积模式转换至堆积模式时，按照燃烧气体(H2气体)、助燃气体(O2气体)的顺序着火，除此之外与比较例I相同地制造光纤母材。该制造期间，目视观察喷嘴前端的状态的结果是，观察到喷嘴的红热。根据以上的结果，能够确认以下情况。即，根据实施例I与比较例I的比较，确认如下情况，即，当从堆积模式转换至非堆积模式时、或者当从非堆积模式转换至堆积模式时，通过使用上述实施方式的方法，不给予喷嘴前端变成高温的机会，从而能够抑制由喷嘴前端部的红热引起的劣化。
另外，从实施例3与比较例2的比较可知，通过在熄灭时停止燃烧气体喷口 B的燃烧气体，能够抑制由喷嘴前端部的红热引起的劣化，并且能够迅速并且自然地熄灭。另外，从实施例4与比较例3可知，若在一个燃烧气体喷口维持火种，则通过向邻接的另一个燃烧气体喷口开始流入燃烧气体，能够抑制由喷嘴前端部的红热引起的劣化，并且能够可靠地自然地着火(引火)。以上，对本发明的实施方式的光纤母材的制造装置以及制造方法进行了说明，但本发明不限定于上述的例子，在不脱离发明的主旨的范围内能够适当地变更。工业上的应用可行性本发明能够广泛用于利用所谓的外装法的光纤母材的制造装置以及制造方法。此夕卜，本发明尤其在高频率地反复火种状态的堆积方法中有效，且在需要反复进行一般的着火、熄灭的多孔质体的制造中也有效。附图标记的说明I…目标部件；2…燃烧室；3…燃烧嘴；4…火焰；5…玻璃微粒子堆积层；31···玻璃原料气体喷嘴；32…惰性气体喷嘴；33A、33B…燃烧气体喷口 ；34…助燃气体喷嘴。
权利要求
1.一种光纤母材的制造方法，该光纤母材的制造方法为使用如下的燃烧嘴来燃烧如下的混合气体，从而在目标部件的周围堆积玻璃微粒子，所述燃烧嘴具有玻璃原料气体喷嘴和配置于所述玻璃原料气体喷嘴的附近的至少两个以上相互邻接的燃烧气体喷口，所述燃烧气体喷口具有至少一个燃烧气体喷口 A和至少一个燃烧气体喷口 B，所述燃烧气体喷口 A具有与所述玻璃原料气体喷嘴挨近地配置的多个小口径的助燃气体喷嘴，所述燃烧气体喷口 B不含有所述助燃气体喷嘴，所述混合气体是由来自所述玻璃原料气体喷嘴的玻璃原料气体、来自所述各燃烧气体喷口的燃烧气体以及来自所述助燃气体喷嘴的助燃气体组成的混合气体，所述光纤母材的制造方法的特征在于，其至少具有如下工序中的一个工序 工序α，该工序中，当从在所述目标部件的周围堆积所述玻璃微粒子的堆积模式转换至不在所述目标部件的周围堆积玻璃微粒子的非堆积模式时，利用来自所述燃烧气体喷口B的燃烧气体来维持所述燃烧嘴的火种，并将从所述燃烧气体喷口 A的所述助燃气体喷嘴喷出的助燃气体的流速维持在不使所述喷嘴前端红热的程度的流速以上，在该状态下，将从所述燃烧气体喷口 A喷出的气体从所述燃烧气体切换为净化气体；以及 工序β，该工序中，当从不在所述目标部件的周围堆积玻璃微粒子的非堆积模式转换至在所述目标部件的周围堆积所述玻璃微粒子的堆积模式时，利用来自所述燃烧气体喷口B的燃烧气体来维持所述燃烧嘴的火种，并将从所述燃烧气体喷口 A的所述助燃气体喷嘴喷出的助燃气体的流速维持在不使所述喷嘴前端红热的程度的流速以上，在该状态下，将从所述燃烧气体喷口 A喷出的气体从所述净化气体切换为燃烧气体。
2.根据权利要求I所述的光纤母材的制造方法，其特征在于， 具备所述工序α， 在进行了从所述燃烧气体向净化气体的切换之后，维持所述助燃气体的流量而使之减少、或者停止从所述助燃气体喷嘴喷出助燃气体、又或者将从所述助燃气体喷嘴喷出的气体从所述助燃气体切换为净化气体。
3.根据权利要求I所述的光纤母材的制造方法，其特征在于， 具备所述工序β， 在所述工序β之前，维持所述助燃气体的流量而使之增加、或者开始从所述助燃气体喷嘴喷出助燃气体、又或者将从所述助燃气体喷嘴喷出的气体从所述净化气体切换为助燃气体。
4.根据权利要求I所述的光纤母材的制造方法，其特征在于， 具备所述工序α以及所述工序β。
5.一种光纤母材的制造装置，其特征在于，至少具有 燃烧嘴，其具有玻璃原料气体喷嘴和配置于所述玻璃原料气体喷嘴的附近的至少两个以上相互邻接的燃烧气体喷口，所述燃烧气体喷口具有至少一个燃烧气体喷口 A与至少一个燃烧气体喷口 B，所述燃烧气体喷口 A具有与所述玻璃原料气体喷嘴挨近地配置的多个小口径的助燃气体喷嘴，所述燃烧气体喷口 B不包括所述助燃气体喷嘴，使用所述燃烧嘴来燃烧由来自所述玻璃原料气体喷嘴的玻璃原料气体、来自所述各燃烧气体喷口的燃烧气体以及来自所述助燃气体喷嘴的助燃气体组成的混合气体，从而来堆积玻璃微粒子；以及 气体切换机构，其构成为，当从在所述目标部件的周围堆积所述玻璃微粒子的堆积模式以及不堆积所述玻璃微粒子的非堆积模式这两个模式间进行转换时，利用来自所述燃烧气体喷口 B的燃烧气体来维持所述燃烧嘴的火种，并将从所述燃烧气体喷口 A的所述助燃气体喷嘴喷出的助燃气体的流速维持在不使所述喷嘴前端红热的程度的流速以上，在该状态下，将从所述燃烧气体喷口 A喷出的气体从所述燃烧气体切换为净化气体、或者将从所述燃烧气体喷口 A喷出的气体从净化气体切换为所述燃烧气体。
6.根据权利要求5所述的光纤母材的制造装置，其特征在于， 所述玻璃原料气体喷嘴配置于所述燃烧嘴的中心， 所述燃烧气体喷口 A以及所述燃烧气体喷口 B相对于所述玻璃原料气体喷嘴同心圆状地配置在所述玻璃原料气体喷嘴的外侧。
全文摘要
本发明提供使用燃烧嘴的光纤母材的制造方法，该燃烧嘴具有玻璃原料气体喷嘴、配置在其附近的具有多个助燃气体喷嘴的燃烧气体喷口(A)、以及不包括上述助燃气体喷嘴的燃烧气体喷口(B)，该光纤母材的制造方法至少包括如下工序中的一个工序(α)，该工序中，当从在目标部件的周围进行玻璃微粒子堆积的堆积模式转换至不进行上述堆积的非堆积模式时，利用来自上述燃烧气体喷口(B)的燃烧气体维持火种，并将来自上述助燃气体喷嘴的助燃气体的流速维持在一定以上，该状态下将从上述燃烧气体喷口(A)喷出的气体从上述燃烧气体切换为净化气体；以及工序(β)，该工序中，当从上述非堆积模式转换至上述堆积模式时，利用来自上述燃烧气体喷口(B)的燃烧气体维持上述燃烧嘴的火种，并将来自上述助燃气体喷嘴的助燃气体的流速维持在一定以上，该状态下，将从上述燃烧气体喷口(A)喷出的气体从上述净化气体切换为燃烧气体。
文档编号C03B8/04GK102906039SQ201180025290
公开日2013年1月30日 申请日期2011年5月27日 优先权日2010年5月27日
发明者山田成敏, 加藤优一 申请人:株式会社藤仓